技術總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板載臺和基板加工裝置。所述基板載臺，用于承載基板，包括：用以支撐基板的支撐條，所述支撐條的支撐面設置有多個第一出氣孔，所述支撐條的內(nèi)部設置有與所述多個第一出氣孔連通的出氣管，用以向所述多個第一出氣孔輸送氣體以支撐基板；用于向基板輸送離子風的離子風輸送結(jié)構(gòu)；用于向所述離子風輸送結(jié)構(gòu)提供離子風的離子風提供結(jié)構(gòu)。所述基板加工裝置，包括本發(fā)明任意一項實施例所提供的基板載臺。本發(fā)明所提供的基板載臺和基板加工裝置，能夠減少基板在加工過程中產(chǎn)生的靜電。

技術研發(fā)人員：張繼山
受保護的技術使用者：京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
文檔號碼：201610931813
技術研發(fā)日：2016.10.31
技術公布日：2017.03.15