1.消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：包括石英諧振腔(1)以及盤繞于所述石英諧振腔(1)外側(cè)的天線(10)，所述天線(10)為盤香型且與射頻匹配網(wǎng)絡(luò)(11)連接；所述石英諧振腔(1)外側(cè)安裝真空測量的電阻單元(3)和電離單元(4)，以及真空抽氣口(12)和進(jìn)氣口(6)，石英諧振腔(1)上還配置接地位(7)。
2.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述石英諧振腔(1)包括圓柱狀的腔壁以及連接于腔壁兩端的上密封蓋(2)和下密封蓋(5)，電阻單元(3)、電離單元(4)和進(jìn)氣口(6)安裝于上密封蓋(2)，接地位(7)和真空抽氣口(12)設(shè)置于下密封蓋(5)。
3.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述真空抽氣口(12)上還設(shè)置插板閥(13)。
4.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述天線(10)的中心位于石英諧振腔(1)的軸線上。
5.如權(quán)利要求1所述的消除微球表面靜電的裝置，其特征在于：所述石英諧振腔(1)內(nèi)還設(shè)置樣品支架(8)，樣品支架(8)上設(shè)置托盤(9)。