技術總結
本實用新型公開了一種消除微球表面靜電的裝置，解決現(xiàn)有消除微球表面靜電的裝置在大氣下進行，會引入雜質以導致微球表面氧化的問題，采用的技術方案是：消除微球表面靜電的裝置，包括石英諧振腔以及盤繞于石英諧振腔外側的天線，天線為盤香型且與射頻匹配網絡連接；石英諧振腔外側安裝真空測量的電阻單元和電離單元，以及真空抽氣口和進氣口，石英諧振腔上還配置接地位。消除微球表面靜電的方法，先配置微球于托盤中，托盤置于石英諧振腔內；其次對石英諧振腔進行抽真空，再通入放電氣體；再次，開啟射頻電源，射頻匹配網絡向天線提供射頻信號，以產生等離子體，等離子體中的離子、電子分別與微球表面負電荷、正電荷中和，達到消除靜電的目的。

技術研發(fā)人員：張玲;陳果;何小珊;何智兵;王濤;劉艷松;李俊
受保護的技術使用者：中國工程物理研究院激光聚變研究中心
文檔號碼：201621454944
技術研發(fā)日：2016.12.28
技術公布日：2017.07.07