7拍攝由吸嘴611吸附保持的元件P，包括吸附狀態(tài)地確認(rèn)元件P是良好元件還是不良元件。
[0045].元件安裝
[0046]當(dāng)確認(rèn)為元件P是良好時(shí)，使頭單元6移動(dòng)至安裝該元件P的元件安裝位置的上方位置。并且，使安裝頭61沿Z軸方向下降而使由該安裝頭61吸附保持的元件P移動(dòng)到安裝點(diǎn)。如圖5所示，在到達(dá)安裝點(diǎn)的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)，將賦予給負(fù)壓/正壓切換閥32的切換信號(hào)切換成“正壓”等級(jí)。由此，解除吸嘴611對(duì)元件P的吸附保持，并且以“第二正壓”向吸嘴611供給空氣。其結(jié)果是，如該圖所示，吸嘴611的前端壓力從時(shí)刻Tl開(kāi)始逐漸上升而在時(shí)刻T2以“第二正壓”向元件P的上表面噴出空氣。通過(guò)該空氣噴出而元件P瞬間離開(kāi)吸嘴611，并安裝于基板S。接著，使元件安裝后的安裝頭61沿著Z軸方向上升之后，將賦予給負(fù)壓/正壓切換閥32的切換信號(hào)切換成“負(fù)壓”等級(jí)(時(shí)刻T3)。
[0047]然而，在反復(fù)進(jìn)行上述基本動(dòng)作的期間，在吸嘴611的前端部有時(shí)會(huì)附著塵埃、雜質(zhì)等，需要在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)對(duì)吸嘴611進(jìn)行清掃。另外，有時(shí)在應(yīng)安裝的元件P的種類變更的時(shí)刻也需要變更吸嘴611。在上述情況下，對(duì)吸嘴611供給比較高的壓力而進(jìn)行吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理。因此，在本實(shí)施方式中，在吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理中，如圖6所示，將賦予給負(fù)壓/正壓切換閥32及壓力切換閥34的切換信號(hào)分別切換成“正壓”等級(jí)及“高壓”等級(jí)而向吸嘴611供給“第一正壓”。由此，從吸嘴611以較高的壓力噴出空氣而迅速并且可靠地進(jìn)行吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理。另外，吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理完成后，將賦予給負(fù)壓/正壓切換閥32及壓力切換閥34的切換信號(hào)分別切換成“負(fù)壓”等級(jí)及“低壓”等級(jí)而向吸嘴611供給負(fù)壓。
[0048]另外，在表面安裝機(jī)I中，與專利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明相同，能夠清掃吸附前的元件P、進(jìn)行所謂的元件清掃處理，能夠通過(guò)來(lái)自使用者的指定而選擇性地執(zhí)行元件清掃處理。當(dāng)然，也可以構(gòu)成為每次吸附元件都進(jìn)行元件清掃處理。但是，在此應(yīng)留意的是元件清掃處理中使用的空氣的壓力。即，當(dāng)將吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理時(shí)使用的“第一正壓”的空氣向元件P噴出時(shí)，元件P有可能被吹飛。反之，將元件安裝處理時(shí)使用的“第二正壓”的空氣向元件P噴出的話，有可能無(wú)法得到充分的元件清掃效果。因此，在本實(shí)施方式中，將“第一正壓”與“第二正壓”的中間的壓力、即中間壓的空氣供給到吸嘴611而噴出適合于元件清掃處理的中間壓的空氣。以下，參照?qǐng)D7對(duì)本實(shí)施方式的元件清掃處理進(jìn)行說(shuō)明。
[0049]圖7是表示元件清掃處理中的裝置各部的動(dòng)作的時(shí)間圖。在使吸嘴611與元件P抵接而進(jìn)行元件吸附之前，如圖7所示，將賦予給負(fù)壓/正壓切換閥32的切換信號(hào)切換成“正壓”等級(jí)而向吸嘴611供給“第二正壓”。在該時(shí)刻，從吸嘴611供給至元件P的空氣的壓力被抑制成與元件安裝階段相同的值。并且，當(dāng)向正壓的切換完成時(shí)，將賦予給壓力切換閥34的切換信號(hào)以“高壓”等級(jí)及“低壓”等級(jí)交替地切換多次。于是，交替地重復(fù)對(duì)吸嘴611的“第一正壓”的空氣供給與對(duì)吸嘴611的“第二正壓”的空氣供給。其結(jié)果是，成為向吸嘴611的前端施加的壓力在“第一正壓”與“第二正壓”之間呈脈動(dòng)電流狀地變化但是其中心壓力比第一正壓低并且比第二正壓高。如圖7所示，在將等級(jí)的切換周期設(shè)定得比較短的情況下，以中間壓為中心的壓力變動(dòng)幅度比較窄，實(shí)質(zhì)上從吸嘴611向元件P供給的空氣的噴出壓穩(wěn)定為中間壓。因此，不會(huì)將元件P吹飛，能夠有效地去除附著于元件P的塵埃、雜質(zhì)等。
[0050]在此，通過(guò)控制將賦予給壓力切換閥34的切換信號(hào)維持成“高壓”等級(jí)而設(shè)為“第一連接狀態(tài)”的時(shí)間與將賦予給壓力切換閥34的切換信號(hào)維持成“低壓”等級(jí)而設(shè)為“第二連接狀態(tài)”的時(shí)間的比例，能夠調(diào)整中間壓的值。因此，可以根據(jù)元件P的種類控制上述比例。例如對(duì)于比較大型的元件P可以提高設(shè)為“第一連接狀態(tài)”的時(shí)間的比例而使中間壓接近“第一正壓”。反之，在小型元件P的情況下，可以提高設(shè)為“第二連接狀態(tài)”的時(shí)間的比例而使中間壓接近“第二正壓”。這樣，能夠?qū)τ诿總€(gè)元件P使用適當(dāng)?shù)膲毫Φ目諝膺M(jìn)行元件清掃處理。
[0051]另外，有時(shí)塵埃、雜質(zhì)等會(huì)附著于基板S的元件安裝面。因此，在本實(shí)施方式中，能夠使用從吸嘴611噴出的空氣進(jìn)行基板清掃，能夠通過(guò)來(lái)自使用者的指定而選擇性地執(zhí)行基板清掃處理。但是，在此也需要留意空氣的正壓值。這是因?yàn)樵谠惭b前的基板S上印刷有焊料。當(dāng)將吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理時(shí)使用的“第一正壓”的空氣向基板S噴出時(shí)，有可能會(huì)對(duì)焊料的印刷圖案造成不良影響。反之，將元件安裝處理時(shí)使用的“第二正壓”的空氣向元件P噴出的話，有可能無(wú)法得到充分的基板清掃效果。因此，在本實(shí)施方式中，與元件清掃處理相同，如圖7所示將賦予給壓力切換閥34的切換信號(hào)以“高壓”等級(jí)及“低壓”等級(jí)交替地切換多次而從吸嘴611噴出中間壓的空氣。由此，從吸嘴611向基板S供給的空氣的噴出壓穩(wěn)定為中間壓，不會(huì)對(duì)印刷圖案造成不良影響，能夠有效地去除附著于基板S的塵埃、雜質(zhì)等。另外，形成于基板S的焊料的印刷圖案對(duì)于每個(gè)基板而不同，因此與元件清掃處理相同，可以根據(jù)基板S的種類來(lái)控制上述比例。這樣能夠?qū)τ诿總€(gè)基板S使用適當(dāng)?shù)膲毫Φ目諝膺M(jìn)行基板清掃處理。
[0052]此外，在本實(shí)施方式中，在由吸嘴611吸附的元件P為不良元件的情況下，使頭單元6移動(dòng)至不良元件的廢棄部(省略圖示)的上方。并且，停止了向吸嘴611供給負(fù)壓之后，向吸嘴611供給正壓而將不良元件廢棄至廢棄部。此時(shí)，也與元件清掃處理、基板清掃處理相同，優(yōu)選將從吸嘴611噴出的空氣的壓力調(diào)整為中間壓。因此，在本實(shí)施方式中，如圖7所示，將賦予給壓力切換閥34的切換信號(hào)以“高壓”等級(jí)及“低壓”等級(jí)交替地切換多次而從吸嘴611噴出中間壓的空氣。由此，從吸嘴611向基板S供給的空氣的噴出壓穩(wěn)定為中間壓，能夠?qū)⒉涣荚從吸嘴611可靠地廢棄至廢棄部。
[0053]另外，元件P向吸嘴611的附著性根據(jù)該元件的重量、表面性狀(粘著性、硬度等)而不同。因此，也可以構(gòu)成為主控制部85根據(jù)不良元件P的種類來(lái)控制上述比例。例如在廢棄容易附著于吸嘴611的元件P的情況下，優(yōu)選的是提高設(shè)為“第一連接狀態(tài)”的時(shí)間的比例而使中間壓接近“第一正壓”。反之，在廢棄難以附著于吸嘴611的元件P的情況下，優(yōu)選的是提高設(shè)為“第二連接狀態(tài)”的時(shí)間的比例而使中間壓接近“第二正壓”。通過(guò)這樣對(duì)于每個(gè)元件P調(diào)整中間壓，能夠順暢地進(jìn)行元件廢棄處理。
[0054]另外，在廢棄元件P的情況下，與如上所述那樣縮窄壓力變動(dòng)幅度而連續(xù)地向元件P噴吹大致恒定的中間壓相比，有時(shí)優(yōu)選使吸嘴前端壓力呈脈沖狀地變化。因此，在本實(shí)施方式中，可以通過(guò)對(duì)上述比例進(jìn)行控制而例如如圖8所示地將切換信號(hào)的等級(jí)切換周期設(shè)定得比較長(zhǎng)，由此以連續(xù)的例如犬牙狀或三角波形的脈沖狀的壓力波形噴出空氣。這樣吸嘴前端壓力變動(dòng)的狀態(tài)能夠容易地分離不良元件P與吸嘴611之間的緊貼，能夠進(jìn)行高效的元件廢棄。
[0055]如以上那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，將由正壓發(fā)生裝置35產(chǎn)生的高壓(第一正壓)的空氣經(jīng)由配管31d、壓力切換閥34、配管31c、負(fù)壓/正壓切換閥32及配管31a直接供給至吸嘴611而進(jìn)行吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理(高壓模式)。另外，將由調(diào)壓閥36調(diào)壓成低壓(第二正壓)的空氣經(jīng)由配管31e、壓力切換閥34、配管31c、負(fù)壓/正壓切換閥32及配管31a直接供給到吸嘴611而進(jìn)行元件安裝處理(低壓模式)。此外，具有上述兩種壓力的空氣通過(guò)壓力切換閥34而交替地向吸嘴611供給，使吸嘴前端壓力成為中間壓(中間壓模式)。這樣僅通過(guò)壓力切換閥34的連接狀態(tài)的控制，就能夠在從高壓(第一正壓)到低壓(第二正壓)的大范圍內(nèi)穩(wěn)定地控制向吸嘴611供給的空氣的壓力。另外，能夠以低成本提供能夠以較少的構(gòu)成元件進(jìn)行這樣大范圍的壓力控制的壓力控制裝置，這非常有助于降低表面安裝機(jī)I的裝置成本。
[0056]另外，在高壓模式中，壓力切換閥34維持連接配管31d、31c的狀態(tài)(第一連接狀態(tài))而將第一正壓的空氣供給到吸嘴611，能夠在維持高壓的狀態(tài)下進(jìn)行吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理。其結(jié)果是，能夠高效率地進(jìn)行吸嘴清掃處理、吸嘴更換處理。
[0057]另外，在低壓模式中，壓力切換閥34維持連接配管31e、31c的狀態(tài)(第二連接狀態(tài))而將第二正壓的空氣供給到吸嘴611，因此在元件安裝處理中抑制了供給到吸嘴611的空氣的壓力變動(dòng)，并進(jìn)行高精度的元件安裝處理。
[0058]此外，在中間壓模式中，對(duì)上述兩種連接狀態(tài)進(jìn)行多次切換，由此能夠以比第一正壓低并且比所述第二正壓高的任意的正壓(第三正壓)供給空氣，能夠以適當(dāng)?shù)膲毫Ψ謩e執(zhí)行元件清掃處理、基板清掃處理及元件廢棄處理。
[0059]這樣在本實(shí)施方式中，表面安裝機(jī)I相當(dāng)于本發(fā)明的“處理機(jī)”的一例，元件P相當(dāng)于本發(fā)明的“被處理部件”的一例。另外，壓力切換閥34相當(dāng)于本發(fā)明的“切換閥”的一例。調(diào)壓閥36相當(dāng)于本發(fā)明的“調(diào)壓部”的一例。
[0060]另外，本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，只要不脫離其主旨就能夠?qū)ι鲜鼋Y(jié)構(gòu)施加各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，在元件清掃處理、基板清掃處理及元件廢棄