1.一種MEMS發(fā)聲裝置，其特征在于：包括具有中空內(nèi)腔的襯底(2)以及通過沉積的方式形成在襯底(2)上方的振膜(4)，所述振膜(4)包括至少一層經(jīng)過磁化的磁性材料層(41)；
包括與振膜(4)上磁性材料層(41)正對設(shè)置的第一線圈(3)；所述第一線圈(3)被配置為磁性材料層(41)提供方向與振膜(4)垂直的驅(qū)動力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述振膜(4)整體為經(jīng)過磁化的磁性材料層(41)，在所述磁性材料層(41)與襯底(2)之間還設(shè)置有絕緣層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述振膜(4)包括沉積在襯底(2)上的非磁性材料層(40)，所述磁性材料層(41)設(shè)置在非磁性材料層(40)的下方、上方或者內(nèi)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述振膜(4)包括位于邊緣用于連接襯底(2)的連接部，以及位于中部位置的振動部，所述磁性材料層(41)分布在振膜(4)的振動部上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述磁性材料層(41)通過沉積、印刷、噴涂、電鍍或者化學(xué)鍍的方式與非磁性材料層(40)結(jié)合在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：還包括基板(1)以及與基板(1)構(gòu)成封裝結(jié)構(gòu)的殼體(6)，所述襯底(2)位于封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)并安裝在基板(1)上，所述第一線圈(3)安裝在基板(1)上與磁性材料層(41)對應(yīng)的位置上；在所述殼體(6)上設(shè)置有音孔(5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：在所述殼體(6)上與基板(1)正對的位置還設(shè)置有與磁性材料層(41)配合在一起的第二線圈；所述第二線圈為磁性材料層(41)提供與第一線圈(3)相同方向的驅(qū)動力。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述基板(1)為電路板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的發(fā)聲裝置，其特征在于：所述發(fā)聲裝置為揚(yáng)聲器或者受話器。
10.一種電子設(shè)備，其特征在于：包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的發(fā)聲裝置。