1.一種MEMS麥克風(fēng)中的振膜，其特征在于：包括振膜本體以及在振膜本體上由縫隙制成的泄壓裝置；所述縫隙包括多個(gè)從圓心位置向外輻射的輻射段，以及位于輻射段端頭并分別迂回彎向輻射段兩側(cè)的圓弧段；所述泄壓裝置包括由相鄰兩個(gè)輻射段以及該兩個(gè)輻射段端頭相鄰兩個(gè)圓弧段圍成的閥瓣，以及位于該兩個(gè)圓弧段之間的呈束縛狀的頸部，所述閥瓣與振膜本體通過(guò)頸部連接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于：所述輻射段至少設(shè)置有三個(gè)，均勻分布在圓周方向上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于：所述頸部的兩側(cè)沿其軸線(xiàn)對(duì)稱(chēng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜，其特征在于：所述輻射段呈直線(xiàn)狀或者曲線(xiàn)狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的振膜，其特征在于：所述泄壓裝置設(shè)置有一個(gè)，分布在振膜本體的中心區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的振膜，其特征在于：所述泄壓裝置設(shè)置有多個(gè)，該多個(gè)泄壓裝置均勻分布在振膜本體的圓周方向上。
7.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：包括如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的振膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述縫隙在沉積形成振膜本體時(shí)，通過(guò)刻蝕的方式形成。