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MEMS聲換能器的制作方法

文檔序號:12881411閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種MEMS聲換能器,在由所述第一可動梳齒與第一固定梳齒構(gòu)成,以及由第二可動梳齒與第二固定梳齒構(gòu)成的兩組梳齒結(jié)構(gòu)中,其中一組梳齒結(jié)構(gòu)的可動梳齒高于固定梳齒,另一組梳齒結(jié)構(gòu)中的可動梳齒低于固定梳齒;本實(shí)用新型的MEMS聲換能器,振膜組件本身可以輸出高頻的音頻訊號,梳齒結(jié)構(gòu)可以作為換能器的低頻結(jié)構(gòu),且二者的驅(qū)動接口可以獨(dú)立規(guī)劃,并整合于一單體中可同時(shí)輸出高低頻訊號,從而提供準(zhǔn)確的聲音訊號。另外,本實(shí)用新型的聲換能器,振膜組件在接受音頻信號輸出聲音的同時(shí),還可以形成麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)從而為聲音源的修正提供外界的噪音信號參數(shù),提高了聲換能器的抗噪能力。

技術(shù)研發(fā)人員:詹竣凱;蔡孟錦
受保護(hù)的技術(shù)使用者:歌爾股份有限公司
文檔號碼:201720227788
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.09
技術(shù)公布日:2017.11.07

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