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夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池及制備方法與流程

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夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池及制備方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池,包括:PIN單元和α放射源層,其特征在于:所述PIN單元,采用由上下兩個(gè)PIN結(jié)并聯(lián)構(gòu)成;上PIN結(jié)自上而下依次為,N型歐姆接觸電極(5)、N型高摻雜4H-SiC襯底(1’)、摻雜濃度為1x1015~3x1015cm-3的N型低摻雜SiC外延層(8)、摻雜濃度為1x1019~5.5x1019cm-3的P型高摻雜GaN外延層(9)和P型歐姆接觸電極(6);下PIN結(jié)自上而下依次為,P型歐姆接觸電極(6)、摻雜濃度為1x1019~5.5x1019cm-3的P型高摻雜GaN外延層(9)、摻雜濃度為1x1015~3x1015cm-3的N型低摻雜SiC外延層(8)、N型高摻雜4H-SiC襯底(1’)和N型歐姆接觸電極(5);所述α放射源層(7’),夾在上下兩個(gè)PIN結(jié)的P型歐姆接觸電極(6)之間,以實(shí)現(xiàn)對(duì)高能α粒子的充分利用;所述襯底(1’)采用摻雜濃度為lx1018cm-3的N型4H-SiC。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池,其特征在于α放射源層(7’)采用原子質(zhì)量為241的镅元素,即Am241。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池,其特征在于α放射源層(7’)采用原子質(zhì)量為238的钚元素,即Pu238。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的電池,其特征在于α放射源層(7’)的厚度h滿足h≤m,其中m為α放射源所釋放的高能α粒子在α放射源材料中的平均入射深度,對(duì)于α放射源為Am241的,其取值為:m=7.5μm,對(duì)于α放射源為Pu238的,其取值為:m=10μm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池,其特征在于P型高摻雜GaN外延層(9)的厚度為0.1~0.2μm。6.一種夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池的制備方法,包括以下步驟:(1)制作下PIN結(jié):1.1)清洗:對(duì)SiC樣片進(jìn)行清洗,以去除表面污染物;1.2)生長(zhǎng)N型低摻雜SiC外延層:利用化學(xué)氣相淀積CVD法在清洗后的SiC樣片表面外延生長(zhǎng)一層摻雜濃度為1x1015~3x1015cm-3,厚度為15~30μm的N型低摻雜SiC外延層;1.3)生長(zhǎng)P型高摻雜GaN外延層:將生長(zhǎng)N型低摻雜SiC外延層后的樣品放入化學(xué)氣相淀積CVD爐中,在H2氛圍下加熱到1100℃并保持10min以清潔表面;再向反應(yīng)室內(nèi)通入流量分別為52.3μmol·min-1、0.035mol·min-1的三甲基鋁和NH3,在低摻雜SiC外延層上生長(zhǎng)60nm厚的AlN;然后將反應(yīng)室降溫至1050℃,向反應(yīng)室內(nèi)通入流量分別為6.5μmol·min-1、8.93mmol·min-1、0.18μmol·min-1的三甲基鎵、NH3和CP2Mg,完成鎂摻雜濃度為1x1019~5.5x1019cm-3,厚度為0.1~0.2μm的P型高摻雜GaN外延層的生長(zhǎng);1.4)淀積歐姆接觸電極:在P型高摻雜GaN外延層表面利用電子束蒸發(fā)法淀積一層厚度為50nm/200nm的金屬Ti/Au,作為P型歐姆接觸電極;利用電子束蒸發(fā)法在SiC襯底未外延的背面淀積厚度為300nm的Ni金屬層,作為N型歐姆接觸電極;1100℃下氮?dú)鈿夥罩锌焖偻嘶?分鐘;(2)重復(fù)步驟1.1)到步驟1.4)制作上PIN結(jié);(3)利用分子鍍?cè)谙翽IN結(jié)的P型歐姆接觸電極或者上方PIN結(jié)的P型歐姆接觸電極上鍍一層厚度為3~6μm的α放射源;(4)利用鍵合法將上PIN結(jié)的P型歐姆接觸電極一面與下PIN結(jié)的P型歐姆接觸電極一面壓合在一起,完成夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池的制作。
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