剝離裝置及剝離方法
【專利說明】剝離裝置及剝離方法
[0001]技術(shù)區(qū)域
[0002]本發(fā)明涉及一種剝離裝置及剝離方法，將相互緊貼的兩片板狀體剝離以使其分離。
【背景技術(shù)】
[0003]作為在玻璃基板或者半導(dǎo)體基板等的板狀體上形成規(guī)定的圖案或者薄膜的技術(shù)，將在其他的板狀體上擔(dān)載的圖案或者薄膜(以下稱為“圖案等”)轉(zhuǎn)印至基板上。在該技術(shù)中，使兩片板狀體緊貼后將圖案等從一個板狀體轉(zhuǎn)印至另一個板狀體后，需要在圖案等不受損傷的情況下將兩片板狀體剝離。
[0004]為了達到上述目的，作為可利用的技術(shù)，例如JP特開2008-287949號公報公開了一種裝置，該裝置用于使隔著有機層相互緊貼的元件形成用基板和轉(zhuǎn)印用基板剝離。該技術(shù)中，通過基板保持部將貼合的兩片基板保持為水平姿勢，使在分別真空吸附上下基板的狀態(tài)下使上下基板分別向分離方向移動。上下基板通過分散配置的多個吸附墊分別吸附保持。
[0005]該JP特開2008-287949號公報上記載的裝置，將吸附頭沿著基板的長度方向以規(guī)定的間隔設(shè)置，該吸附頭的多個吸附墊設(shè)置成列狀。另外，使全部的吸附頭朝向基板的上表面移動，在全部的吸附墊與基板的上表面接觸的狀態(tài)下，對各吸附墊進行真空吸引，來通過多個吸附墊吸附上側(cè)的基板。之后，剝離進展方向的最上游側(cè)的吸附頭與基板保持部相分離，來剝離基板的一部分，進一步使最上游側(cè)起的第2個、第3個、第4個及第5個吸附頭依次與基板保持部分離，來剝離基板。因此，不僅在進行最開始的基板剝離時，即通過最上游側(cè)的吸附頭移動來剝離基板時，在以后的吸附頭與基板保持部分離來剝離基板時，有時不能適當(dāng)?shù)墓芾淼那闆r下進行剝離，例如不能在吸附部位使局部的基板間剝離等。特別是，第2、第3、第4個吸附頭的吸附墊，大多在形成有圖案等的區(qū)域進行抵接，擔(dān)心在該區(qū)域集中作用大的剝離力會對圖案等造成損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供能夠?qū)⑾嗷ゾo貼的兩片板狀體良好且穩(wěn)定地剝離分離的技術(shù)。
[0007]本發(fā)明的一個方式為一種剝離裝置，用于剝離相互緊貼的第I板狀體和第2板狀體，其特征在于，具有:保持裝置，保持所述第I板狀體，上游側(cè)剝離裝置，具有對所述第2板狀體的反緊貼面的一部分進行吸附保持的上游側(cè)吸附部，該反緊貼面是所述第2板狀體的表面中的與所述第I板狀體相緊貼的面的相反側(cè)的面，一邊通過所述上游側(cè)吸附部吸附所述第2板狀體一邊使所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置相分離，來使所述第2板狀體的被所述上游側(cè)吸附部吸附的被吸附部位從所述第I板狀體剝離，來向剝離進展方向剝離所述第2板狀體，下游側(cè)剝離裝置，具有在所述剝離進展方向上的所述被吸附部位的下游側(cè)與所述第2板狀體的所述反緊貼相面對地設(shè)置的下游側(cè)吸附部，在使所述下游側(cè)吸附部移動至所述第2板狀體中的被所述上游側(cè)剝離裝置剝離的剝離部位來吸附所述剝離部位處的所述反緊貼面后，使所述下游側(cè)吸附部以吸附所述第2板狀體的狀態(tài)與所述保持裝置分離，來向所述剝離進展方向剝離所述第2板狀體，監(jiān)控裝置，監(jiān)控所述下游側(cè)吸附部與所述第2板狀體的所述反緊貼面間的相對位置，控制裝置，基于與由所述監(jiān)控裝置獲得的所述相對位置相關(guān)的位置信息，控制所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體。
[0008]本發(fā)明的另一個方式為一種剝離方法，一種剝離方法，用于將相互緊貼的第I板狀體和第2板狀體剝離，其特征在于，包括:保持步驟，通過保持裝置保持所述第I板狀體，第I剝離步驟，一邊通過上游吸側(cè)吸附部吸附所述第2板狀體的反緊貼面的一部分，一邊使將所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置分離，來使所述第2板狀體的被所述上游側(cè)吸附部吸附的被吸附部位從所述第I板狀體剝離，并向剝離進展方向剝離所述第2板狀體，其中，該反緊貼面是所述第2板狀體的表面中的與所述第I板狀體相緊貼的面的相反側(cè)的面，移動步驟，使下游側(cè)吸附部朝向所述第2板狀體中的剝離部位處的所述反緊貼面移動，該剝離部位指，在所述剝離進展方向上的所述被吸附部位的下游側(cè)，所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置分離從而所述第2板狀體被剝離的部位，監(jiān)控步驟，在所述下游側(cè)吸附部向所述剝離部位處的所述反緊貼面移動的過程中，監(jiān)控所述下游側(cè)吸附部與所述第2板狀體的所述反緊貼面間的相對位置，調(diào)整步驟，基于與所述相對位置相關(guān)的位置信息，調(diào)整通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體的時機，第2剝離步驟，在通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體的同時，或者在通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體之后，使所述下游側(cè)吸附部以吸附所述剝離部位處的所述反緊貼面的狀態(tài)與所述保持裝置分離，來向所述剝離進展方向剝離所述第2板狀體。
[0009]在這樣構(gòu)成的發(fā)明中，使第2板狀體的一部分(被吸附部位)從第I板狀體剝離，來向剝離進展方向剝離第2板狀體。在這里，伴隨著對所述被吸附部位進行吸附的上游側(cè)吸附部與保持裝置分離，來剝離第2板狀體，但是，伴隨著上游側(cè)吸附部與保持裝置分離，上游側(cè)剝離裝置的移動難以反映在剝離的進展上。在這里，本發(fā)明中，在剝離進展方向的下游側(cè)，通過下游側(cè)剝離裝置的下游側(cè)吸附部吸附剝離部位后，使該下游側(cè)吸附部與保持裝置分離來使剝離繼續(xù)向剝離進展方向進展。另外，僅通過上游側(cè)剝離裝置保持不能抑制剝離部位的彎曲，但是，通過下游側(cè)剝離裝置的下游側(cè)吸附部保持剝離部位，能夠控制第2板狀體的姿勢。由此，根據(jù)本發(fā)明，能夠使相互緊貼的第I板狀體和第2板狀體良好地剝離，能夠發(fā)揮良好的剝離性能。
[0010]另外，剝離部位的彎曲形狀不是一定的，根據(jù)第I板狀體和第2板狀體之間的緊貼力和/或第2板狀體的剛性等因素不同而變化。即，即便上游側(cè)吸附部與保持部的分離距離相同，例如在緊貼力比較大時，剝離進展得少，彎曲變小。因此，下游側(cè)吸附部到與剝離部位抵接為止需要移動比較長的距離。對此，在緊貼力比較小的情況下，與上述情況相反，到與剝離部位抵接為止的下游側(cè)吸附部的移動距離變短。由此，在采用根據(jù)上游側(cè)移吸附部的移動來通過下游側(cè)吸附部對從第I板狀體剝離的第2板狀體的剝離部位進行吸附的結(jié)構(gòu)的情況下，控制通過下游側(cè)吸附部對第2板狀體的反緊貼面進行吸附的吸附開始時機非常重要。對于這一點，本發(fā)明中，監(jiān)控下游側(cè)吸附部與第2板狀體的反緊貼面的相對位置，基于與該相對位置相關(guān)的位置信息，控制通過下游側(cè)吸附開始吸附第2板狀體的時機。因此，無論第I板狀體和第2板狀體之間的緊貼力和第2板狀體的剛性的差異如何，總是能夠在合適的時機使下游側(cè)吸附部將第2板狀體吸附來穩(wěn)定地進行剝離處理。
[0011]根據(jù)本發(fā)明，在下游側(cè)吸附部總是在適當(dāng)?shù)臅r機對被上游側(cè)剝離裝置剝離的第2板狀體的剝離部位進行吸附之后，使第2板狀體與保持裝置分離來剝離第2板狀體，從而能夠穩(wěn)定地且良好地進行剝離。
【附圖說明】
[0012]圖1是表示本發(fā)明的剝離裝置的第I實施例的立體圖。
[0013]圖2是表示剝離裝置的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0014]圖3是表示初始剝離單元的結(jié)構(gòu)及各部位的位置關(guān)系的側(cè)視圖。
[0015]圖4是表示剝離裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。
[0016]圖5A?圖5C是示意性地示出吸附單元的結(jié)構(gòu)的圖。
[0017]圖6是示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0018]圖7是示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0019]圖8是示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0020]圖9是示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0021]圖10是示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0022]圖1lA?圖1lC是僅示意性地示出在處理中的各階段各部分的位置關(guān)系的圖。
[0023]圖12A?圖12D是表示本發(fā)明的剝離裝置的第2實施例的圖。
[0024]圖13A?圖13D是表示本發(fā)明的剝離裝置的第3實施例的圖。
[0025]圖14是示意性地示出在第3實施例中的處理中的各階段各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0026]圖15是示意性地示出在第3實施例中的處理中的各階段中各部分的位置關(guān)系和負壓供給部中的負壓供給狀態(tài)的圖。
[0027]附圖標(biāo)記說明:
[0028]I 剝離裝置
[0029]30載置臺(保持裝置)
[0030]51吸附單元(上游側(cè)剝離裝置)
[0031]52,53吸附單元(上游側(cè)剝離裝置、下游側(cè)剝離裝置)
[0032]54吸附單元(下游側(cè)剝離裝置)
[0033]70控制單元(控制裝置)
[0034]517、527、537、547 吸附墊
[0035]518、528、538、548 負壓供給部
[0036]527,527a ?527y、527zl、527z2、537、537zl、537z2、547、547zl、547z2 吸附墊
[0037]5286壓力計(監(jiān)控裝置、壓力測量部)
[0038]530激光位移計
[0039]701 CPU (控制裝置)
[0040]BL橡皮布
[0041]PR剝離部位
[0042]SB 基板
[0043]SR被吸附部位
[0044]V51控制閥(上游側(cè)切換部)
[0045]V52控制閥(下游側(cè)切換部)
[0046]V521控制閥(第I切換部)
[0047]V522控制閥(第2切換部)
[0048]Y 剝離進展方向
【具體實施方式】
[0049]A.第I實施例
[0050]圖1是表示本發(fā)明的剝離裝置的第I實施例的立體圖。為了統(tǒng)一每個圖的方向，設(shè)定如圖1右下方所示的XYZ直角坐標(biāo)軸。在這里XY平面為水平面，Z軸表示為鉛垂軸。更詳細地，+Z方向表示為鉛垂向上的方向。
[0051]該剝離裝置I是對以主面相互緊貼的狀態(tài)搬入的兩片板狀體進行剝離的裝置。例如，在玻璃基板或者半導(dǎo)體基板等的基板表面上形成規(guī)定圖案的圖案形成過程的一部分中使用。更為具體地，該圖案形成過程中，通過涂覆步驟、圖案成形步驟、轉(zhuǎn)印步驟，來最終將圖案從橡皮布轉(zhuǎn)印到基板上，其中，在涂覆步驟中，在作為擔(dān)載體的橡皮布表面上均勻地涂覆圖案形成材料，該擔(dān)載體用于暫時擔(dān)載要向作為被轉(zhuǎn)印體的基板上轉(zhuǎn)印的圖案，在圖案成形步驟中，將根據(jù)圖案形狀進行了表面加工的版按壓在橡皮布上的涂覆層上，從而對涂覆層進行圖案成形，在轉(zhuǎn)印步驟中，使這樣形成有圖案的橡皮布與基板緊貼。
[0052]這時，為了達到使在圖案成形步驟中緊貼的版和橡皮布之間分離，或者使轉(zhuǎn)印步驟中緊貼的基板和橡皮布之間分離的目的，能夠應(yīng)用本裝置。當(dāng)然，可以本裝置可以應(yīng)用于上述的兩個步驟中，也可以在除了這些以外