的用途上使用。例如，能夠應用于將擔載在擔載體上的薄膜轉印到基板上時的剝離過程。
[0053]該剝離裝置I具有如下結構，S卩，在框體上安裝的主支架11上分別固定有載置臺模塊3及上部吸附模塊5。圖1中為了表示內部構造，因此省略了框體的圖示。另外，這些各模塊以外，該剝離裝置I具有后述的控制單元70(圖4)。
[0054]載置臺模塊3具有載置臺30，所述載置臺30用于載置版或者基板和橡皮布緊貼而形成的緊貼體(以下稱之為“工件”)。載置臺30具有:水平載置臺部31，上表面為大致水平的平面；傾斜載置臺32，上表面為相對于水平面傾斜幾度(例如2度程度)的平面。在載置臺30的傾斜載置臺32 —側，即-Y側的端部附近設置有初始剝離單元33。另外，以橫跨水平載置臺31的方式設置有輥單元34。
[0055]另外，上部吸附模塊5具有:支撐架50，從主支架11立起設置，并且，覆蓋載置臺模塊3的上部；安裝在所述支撐架50上的第I吸附單元51、第2吸附單元52、第3吸附單元53及第4吸附單元54。這些吸附單元51?54向+Y方向依次排列。
[0056]圖2是表示該剝離裝置的主要結構的立體圖。更為具體地，圖2表示剝離裝置I的各結構中的載置臺30、輥單元34及第2吸附單元52的結構。載置臺30具有:水平載置臺部31，上表面310為大致水平面；傾斜載置臺32，上表面320為傾斜面。水平載置臺部31的上表面310具有比要載置的工件的平面尺寸大的平面尺寸。
[0057]傾斜載置臺部32緊貼者水平載置臺部31的-Y側的端部設置，平坦的上表面320的與水平載置臺31接觸的部分位于與水平載置臺31的上表面310相同的高度(Z方向位置)，另一方面，從水平載置臺31越向-Y方向越向下方下降，即越向-Z方向后退。因此，載置臺30整體，水平載置臺31的上表面310的水平面和傾斜載置臺部32的上表面320的傾斜面連續(xù)，上表面310的水平面和傾斜載置臺部32的上表面320相連接的棱線部E形成為沿X方向延伸的直線狀。
[0058]另外，在水平載置臺31的上表面310上刻設有格子狀的槽。更為具體地，在水平載置臺31的上表面310的中央部設置有格子狀的槽311，并且，以包圍形成該槽311的區(qū)域，且形成為除去矩形中的靠傾斜載置臺部32 —側的一條邊的大致“3”字形的方式，在水平載置臺部31的上表面310的周邊部設置有槽312。這些槽311、312經由控制閥連接到后述的負壓產生部704 (參照圖4)，通過供給負壓，發(fā)揮吸附保持在載置臺30上所載置的工件的吸附槽的功能。兩種槽311、312在載置臺上不連接，另外，經由彼此獨立的控制閥連接到負壓產生部704，因此，除了使用兩種槽進行吸附以外，還可以僅使用一種槽進行吸附。本實施例中，載置臺30作為本發(fā)明的“保持裝置”發(fā)揮作用。
[0059]以橫跨如上那樣形成的載置臺30的方式設置輥單元34。具體地，沿著水平載置臺31的X方向兩端部，沿著Y方向設置有一對導軌351、352，這些導軌351、352固定在主支架11上。另外，在導軌351、352上滑動自由地安裝有輥單元34。
[0060]輥單元34具有能夠自由滑動地分別與導軌351、352卡合的滑塊341、342。以連接滑塊341、342的方式設置有下部角343，且下部角343橫跨載置臺30的上部地沿著X方向延伸。在下部角343的兩側經由一對適合的升降機構344升降自由地安裝有上部角345。并且，在上部角345上能夠自由旋轉地安裝有沿著X方向延伸的圓柱狀的剝離輥345。
[0061]當上部角345通過升降機構344向下方，即-Z方向下降時，剝離輥340的下表面與載置臺30上所載置的工件的上表面相抵接。另外，在上部角345通過升降機構344被定位在上方，即+Z方向的位置的狀態(tài)下，剝離輥340成為向上方與工件的上面相分離的狀態(tài)。在上部角345上以能自由旋轉的方式安裝有用于抑制剝離輥340彎曲的支撐輥346，并且適當?shù)卦O置有用于防止上部角345自身彎曲的肋。剝離輥340以及支撐輥346不具有驅動源，這些輥自由旋轉。
[0062]輥單元34能夠通過安裝在主支架11上的馬達353沿著Y方向移動。具體地，下部角343與作為將馬達353的旋轉運動變換為直線運動的變換機構的滾珠螺桿機構354連接。當馬達353旋轉時，下部角343沿著導軌351、352在Y方向上移動，因此，輥單元34沿著Y方向移動。剝離棍340伴隨著棍單元34的移動的可動范圍是，從在-Y方向上到達水平載置臺部31的-Y側端部的附近的位置起，到在+Y方向上到達水平載置臺部31的+Y側端部的外側的位置即進一步靠+Y方向的位置的范圍。
[0063]下面，對第2吸附單元52的結構進行說明。另外，第I至第4吸附單元51?54都是相同的結構，在這里代表性地說明第2吸附單元52的結構。第2吸附單元52具有梁部521，所述梁部521沿X方向延伸設置，固定于支撐架50上。該梁部521上的X方向的彼此不同位置安裝有朝向鉛垂下方，即-Z方向延伸的一對柱部522、523。在柱部522、523上經由圖中隱藏的導軌升降自由地安裝有板部524。板部524被由馬達及變換機構(如滾珠螺桿機構)形成的升降機構52驅動來進行升降。
[0064]在板部524的下部安裝有沿X方向延伸的棒狀墊支撐部526，在該墊支撐部526的下表面沿X方向等間隔地排列有多個吸附墊527。圖2中表示第2吸附單元52移動至實際位置的上方的狀態(tài)，但是，板部524通過升降機構525向下方移動時，能夠下降至吸附墊527非常接近水平載置臺部31的上表面310的位置，在載置臺30上載置有工件的狀態(tài)下，與該工件的上表面抵接。經由后述的負壓供給部528 (圖5A、5C)向各吸附墊527供給來自負壓產生部704的負壓，從而吸附保持工件的上表面。
[0065]圖3是表示初始剝離單元的結構及各部分的位置關系的側視圖。首先，參考圖1以及圖3說明初始剝離單元33的結構。初始剝離單元33具有在傾斜載置臺部32的上方沿X方向延伸的棒狀的按壓部331，按壓部331通過支持臂332支持。支持臂332經由沿著鉛垂方向延伸的導軌333升降自由地安裝在柱部334上，通過升降機構335的動作，支持臂332相對柱部334上下運動。柱部334通過安裝在主支架11上的基部336支持，但是能夠通過位置調整機構337在規(guī)定的范圍內調整基部336上的柱部334的Y方向位置。
[0066]在由水平載置臺31以及傾斜載置臺32構成的載置臺30上載置有作為剝離對象物的工件WK。所述的圖案成形步驟中的工件是版與橡皮布隔著圖案形成材料的薄膜緊貼的緊貼體。另外，轉印步驟中的工件是基板與橡皮布隔著圖案成形的圖案緊貼的緊貼體。以下內容中，針對將轉印步驟中的基板SB和橡皮布BL的緊貼體作為工件WK的情況的剝離裝置I的剝離操作進行說明，但是，版和橡皮布的緊貼體作為工件的情況，也能夠以同樣的方法進行剝離。
[0067]在工件WK中，假設橡皮布BL的平面尺寸比基板SB大。基板SB緊貼于橡皮布BL的大致中央部。工件WK以橡皮布BL位于下方且基板SB位于上方的方式載置在載置臺30上。這時，如圖3所示，以工件WK中的基板SB的-Y側端部位于水平載置臺部31與傾斜載置臺部32之間的邊界處的棱線部E的大致上方，更具體地為稍偏向棱線部E的-Y側的位置的方式，工件WK載置在載置臺30上。因此，在-Y方向上，基板SB的外側的橡皮布BL突出到傾斜載置臺部32上，橡皮布BL的下表面和傾斜載置臺32的上表面320之間產生間隙。橡皮布BL的下表面與傾斜載置臺部32的上表面320之間形成的角Θ是與傾斜載置臺部32的傾斜角度相同的度數(shù)(該實施例中為2度)。
[0068]在水平載置臺部31上設置有吸附槽311、312，吸附保持橡皮布BL的下表面。其中，吸附槽311吸附位于基板SB的下部的橡皮布BL的下表面，另外，吸附槽312吸附基板SB的外側的橡皮布BL的下表面。吸附槽311、312能夠相互獨立地進行吸附或者不進行吸附，能夠一起使用兩種吸附槽311、312來牢固地吸附吸附橡皮布BL。另外，可以僅使用外側的吸附槽312進行吸附，不吸附有效形成有圖案的橡皮布BL的中央部，從而能夠防止由于吸附導致橡皮布BL彎曲而引起的圖案損壞。這樣，通過獨立地控制向中央部的吸附槽311和周邊部的吸附槽312的負壓供給，能夠根據(jù)目的切換橡皮布BL的吸附保持方式。
[0069]在這樣被載置臺30吸附保持的工件WK上方配置有第I至第4吸附單元51?54和輥單元34的剝離輥340。如上所述，在第2吸附單元52的下部，沿X方向排列設置有多個吸附墊527。更為詳細地，吸附墊527具有例如由橡膠或者硅樹脂等具有柔軟性及彈性的材料一體形成的吸附部位527A和波紋管部位527B，所述吸附部位527A的下表面與工件WK的上表面(更加具體地，基板SB的上表面)抵接來吸附工件WK的上表面，所述波紋管部位527B具有上下方向(Z方向)上的伸縮性。其他的吸附單元51、53及54上設置的吸附墊也是相同的結構，但是，以下內容中，將這些各吸附單元51、53及54上設置的吸附墊分別標號為517、537及547，來進行區(qū)別。
[0070]第I吸附單元51設置在水平載置臺31的-Y側端部的上方，下降時吸附基板SB的-Y側端部的上表面。另外，第4吸附單元54設置在載置臺30上載置的基板SB的+Y側端部的上方，下降時吸附基板SB的+Y側端部的上表面。第2吸附單元52及第3吸附單元53是適當?shù)胤稚⑴渲迷诘贗吸附單元51和第4吸附單元54之間，例如使吸附墊517?547在Y方向上大致相等間隔地配置。這些吸附單元51?54之間，能夠相互獨立地實行向上下方向移動以及進行吸附或者不進行吸附。另外，關于用于控制各吸附單元51?54中的負壓供給的結構及操作，將后面講述。
[0071]剝離輥340沿著上下方向移動來與基板SB相接近或者分離，并且通過沿Y方向移動，來沿基板SB水平移動。在剝離輥340下降的狀態(tài)下，與基板SB的上表面抵接，并一邊轉動一邊水平移動。移動至最靠-Y側位置時的剝離輥340的位置，是與第I吸附單元51的吸附墊517的+Y側相接近的位置。為了能夠配置在這樣的接近位置，關于第I吸附單元51，與圖2表示的第2吸附單元52的結構相同，但是如圖1所示，與其他的第2至第4吸附單元52?54的朝向相反的朝向安裝在支撐架50上。
[0072]調整初始剝離單元33的Y方向位置，使得按壓部331位于突出到傾斜載置臺部32的上方的橡皮布BL的上方。并且，通過支持臂332下降，使得按壓部331的下端下降從而按壓橡皮布BL的上表面。按壓部311的頂端由彈性部件形成，以避免按壓部331對橡皮布BL造成損傷。
[0073]圖4是表示剝離裝置的電結構的框圖。裝置各部分由相當于本發(fā)明的“控制裝置”的一例的控制單元70控制?？刂茊卧?0具有:管理裝置整體的動作的CPU(CentralProcessing Unit:中央處理器)701 ;控制設置在各部