提高散熱性的方面，優(yōu)選為表面處理纖 維膜的厚度較薄的膜。尤其是本發(fā)明的纖維膜具有可撓性，機(jī)械強(qiáng)度也較高，即便為薄膜也 能保持絕緣性，因此作為高散熱基板而較為有用。
[0118] 作為在表面處理纖維膜上配置金屬箔或金屬板的方法，可以使用通常使用的方 法，并無特別限制?？梢岳e例如，在表面處理纖維膜的至少一面上貼合金屬箔或金屬板的 方法。作為貼合的方法，可以例舉施壓法、層壓法等。施壓法和層壓法的條件可以根據(jù)表面 處理纖維膜的特性適當(dāng)選擇。貼合之后，根據(jù)常用方法，經(jīng)過圖案形成和電鍍步驟，獲得印 刷配線板基板。
[0119] 并且在本發(fā)明中，也可以根據(jù)需要在表面處理纖維膜與金屬層之間、表面處理纖 維膜彼此之間、或此兩者上，具有由粘著性樹脂組合物所構(gòu)成的粘著層，作為此粘著性樹脂 組合物，優(yōu)選為使用熱固化性樹脂。如果使用這種覆金屬表面處理纖維基板，由于使用熱固 化性樹脂作為粘著層，因此獲得一種耐熱性、耐變色性優(yōu)良、機(jī)械強(qiáng)度較高的基板。
[0120] 作為熱固化性粘著性樹脂組合物，只要是公知的熱固化性樹脂組合物，且具有粘 著性，則任一種即可，可以例舉例如硅酮樹脂、環(huán)氧樹脂及酚樹脂等，尤其優(yōu)選為硅酮樹脂、 環(huán)氧樹脂。
[0121] 熱固化性粘著性樹脂組合物中也可以根據(jù)需要含有填充材料。填充材料可以1種 單獨(dú)使用，也可以2種以上組合使用。為了降低線性膨脹率，且提高該覆金屬表面處理纖維 基板的導(dǎo)熱率和強(qiáng)度，可以添加填充材料。作為填充材料，如果是公知的填充材料，則任一 種即可，優(yōu)選為表面處理纖維膜中所述的填充材料。
[0122] 并且在本發(fā)明中，為了提高表面處理纖維膜與粘著層的粘著性，也可以在纖維膜、 粘著層中的至少一者上實(shí)施粘著改良處理。作為粘著改良處理，可以例舉：常壓等離子體處 理、電暈放電處理及低溫等離子處理等放電處理；由堿所實(shí)施的表面溶脹處理；由高錳酸 所實(shí)施的除污處理；及，由硅烷偶合劑所實(shí)施的底涂（primer)處理。
[0123] 可以使用以下方法在表面處理纖維膜上形成粘著層，例如層壓法、含浸法、噴涂法 及棒涂法（Bar code)中的至少一種，尤其優(yōu)選為層壓法和含浸法。
[0124] 對本發(fā)明的覆金屬表面處理纖維基板的制造方法的一方案進(jìn)行說明，但本發(fā)明不 僅限于以下說明。
[0125] 首先，利用有機(jī)硅化合物對玻璃纖維進(jìn)行表面處理，并進(jìn)行加熱固化，獲得表面處 理纖維膜。在1片表面處理纖維膜、或多片重疊而成的表面處理纖維膜的雙面上，重疊金屬 箔，并根據(jù)需要在它們之間配置粘著層，通過加熱加壓成型，獲得覆金屬箔表面處理纖維基 板。另外，也可以省略最初的加熱固化步驟。
[0126] 如果是這種覆金屬表面處理纖維基板，則絕緣層中不會纖維產(chǎn)生網(wǎng)眼和扭曲，均 勻、均質(zhì)，且歪斜得以被抑制，并且由于耐熱性、尺寸穩(wěn)定性優(yōu)良，因此可以獲得一種受熱時 的翹曲得以被抑制的高可靠性的基板。并且，除此之外，由于耐變色性優(yōu)良，因此較少產(chǎn)生 因加熱而劣化、變色、反射率下降。
[0127] 上述的覆金屬表面處理纖維基板，能夠例如通過在基板上載置半導(dǎo)體元件，而成 為半導(dǎo)體裝置。如上所述，覆金屬表面處理纖維基板由于不會產(chǎn)生玻璃纖維的網(wǎng)眼和扭曲， 因此可以獲得一種高強(qiáng)度且其玻璃纖維被固定化的基板，所述基板的耐熱性、耐變色性及 尺寸穩(wěn)定性優(yōu)良、表面均勻性較高，因此可以應(yīng)用于一種應(yīng)用了無鉛焊錫等的要求高耐熱 性的半導(dǎo)體裝置或高性能半導(dǎo)體裝置。除此之外，由于表面處理纖維膜具有可撓性，因此基 板的機(jī)械強(qiáng)度提高，也可以適用作為可撓性基板。
[0128] 并且，本發(fā)明的基板能夠作成復(fù)合積層基板，所述復(fù)合積層基板含有1片使用了 表面處理玻璃纖維膜的預(yù)浸料或積層多片的預(yù)浸料；進(jìn)一步，能夠作成覆金屬箔復(fù)合積層 基板，所述覆金屬復(fù)合積層基板在前述預(yù)浸料或在它的積層體的單面或雙面具有金屬層。
[0129] 本發(fā)明的覆金屬復(fù)合積層基板將使用了表面處理玻璃纖維膜的預(yù)浸料作為絕緣 層使用。作為用于此預(yù)浸料的表面處理玻璃纖維膜，優(yōu)選為對由玻璃纖維所構(gòu)成的玻璃布 進(jìn)行表面處理并薄膜化的膜。具體能夠例舉玻璃布中的部分或全部玻璃纖維利用有機(jī)硅化 合物的固化物而被捆束和表面處理而成的表面處理玻璃纖維膜。
[0130] 在本發(fā)明中，當(dāng)制作預(yù)浸料時，作為涂敷于表面處理玻璃纖維膜的熱固化性樹脂 組合物，只要為公知的熱固化性樹脂組合物即可，可以例舉例如硅酮樹脂組合物、環(huán)氧樹脂 組合物及酚樹脂組合物等，優(yōu)選為硅酮樹脂組合物或環(huán)氧樹脂組合物，進(jìn)一步優(yōu)選為硅酮 樹脂組合物。如果使用硅酮樹脂組合物，則獲得一種耐熱性、耐變色性優(yōu)良的高耐熱基板。
[0131] 作為在此方案下所使用的硅酮樹脂組合物，優(yōu)選為含有下述（A)~（C)成分：
[0132] (A)由下述平均組成式所表示的有機(jī)聚硅氧烷，
[0133] (SiO2) a (R11 _ fflR2fflSiOL 5) b (R12 _ nR2nSiO) c (R13 _ LR2LSiO〇. 5) d
[0134] (式中，R1是碳數(shù)I~10的I價飽和烴基或碳數(shù)6~12的I價芳香族烴基，R2是 碳數(shù)2~8的1價不飽和徑基，111 = 0~1，11 = 0~2，1^ = 0~3，且1<111+11+1^<6，&、13、 c及d是分別滿足0彡a彡1、0彡b彡1、0彡c彡0· 9、0彡d彡0· 9、a+b > 0且a+b+c+d =1的數(shù)）；
[0135] (B)含有1個以上的氫硅烷基的氫聚硅氧烷；及，
[0136] (C)固化有效量的鉑系催化劑。
[0137] 上述的硅酮樹脂組合物如果具有SiO2單元或R \ IR2mSiOh5單元，則獲得一種無易 碎性、牢固的未固化狀態(tài)的預(yù)浸料和覆金屬復(fù)合積層基板。
[0138] 并且優(yōu)選為，上述的硅酮樹脂組合物在室溫下為固體狀或半固體狀。本發(fā)明中所 謂"室溫"，是表示15~30°C的范圍，并且所謂"半固體"，是指具有可塑性，成型為特定的形 狀時保持至少1小時，優(yōu)選為可以將其形狀保持8小時以上的物質(zhì)的狀態(tài)。因此，例如，在 常溫下具有非常高的粘度的流動性物質(zhì)本質(zhì)上具有流動性，但由于具有非常高的粘度，在 至少1小時的短時間內(nèi)，所賦予的形狀變化（即，變形）無法用肉眼確認(rèn)時，此物質(zhì)處于半 固體的狀態(tài)。
[0139] 這樣一來，由于硅酮樹脂組合物在室溫下為固體狀，涂敷于表面處理玻璃纖維膜， 進(jìn)行干燥后，即便在A階段狀態(tài)下也為固體，因此具有以下優(yōu)點(diǎn)：未固化狀態(tài)的預(yù)浸料的保 管更加容易，可以更容易地利用熱壓機(jī)進(jìn)行成型，進(jìn)一步，可以使覆金屬復(fù)合積層基板的形 狀更自由地成型。
[0140] 此處，對硅酮樹脂組合物所包含的（A)成分的有機(jī)聚硅氧烷進(jìn)行說明。
[0141] ⑷成分中，R1是碳數(shù)1~10的1價飽和烴基、或碳數(shù)6~12的1價芳香族烴基， 作為具體例，可以例舉：甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基及環(huán)己基等烷基；或苯基、 甲苯基、二甲苯基及萘基等芳基等。其中，尤其優(yōu)選為甲基、苯基。
[0142] 并且，R2是碳數(shù)2~8的1價不飽和烴基，作為具體例，可以例舉乙烯基、烯丙基、 丙條基及異丙條基等條基。尤其優(yōu)選為乙條基。
[0143] 作為㈧成分的具體例，如下所述的具有R11 IR2mSiOh5單元、R 1^nR2nSiO單元及 R13IR2mSiOa5單元的有機(jī)聚硅氧烷：
[0144] (PhSiO1.5) el (Me2SiO) f (Me2ViSiO0.5) G1
[0145] (PhSiO1.5) el (Me2SiO) f (MeVi2SiO0.5) G1
[0146] (PhSiO1.5) e2 (Me2SiO) H (MeViSiO) i (Me2ViSiOtl. 5) G2
[0147] (式中，el、e2、f、Gl、G2、H 及 i 是分別滿足 0· 24 彡（el 和 e2)彡 0· 9、 0· 09 彡 f 彡 0· 75、0· 01 彡（Gl 和 G2)彡 0· 5、0· 01 彡 H 彡 0· 74、0· 01 彡 i 彡 0· 74、而且 el+f+Gl = 1或e2+H+i+G2 = 1的數(shù)，由于至少部分或全部上述Me2SiO單元連續(xù)重復(fù)，將會 賦予樹脂的柔軟性，因而特別優(yōu)選）。
[0148] 或，只具有R11 IR2mSiO1.5單元的有機(jī)聚硅氧烷：
[0149] (PhSiO1.5) j (ViSiO1.5)k
[0150] (MeSiO15)j(ViSiO15) k
[0151] (式中，j和k是分別滿足0.5彡j彡0·95、(λ05彡k彡0.5、而且j+k = 1的數(shù)。）
[0152] 或，可例舉具有SiO2單元和元的有機(jī)聚硅氧烷等，但并非限定于此 等。
[0153] (SiO2) s (Me3SiO0.5) tl (MePhViSiO0.5) t2
[0154] (式中，s、tl及t2是分別滿足0· 25彡s彡0· 77、0· 02彡tl彡0· 12、 0· 18 彡 t2 彡 0· 73 且 s+tl+t2 = 1 的數(shù)）
[0155] 另外，在上述各式中，Me表示甲基，Ph表示苯基，Vi表示乙烯基。并且，上述的有 機(jī)聚硅氧烷可以使用1種或2種以上。
[0156] 并且優(yōu)選為，以此㈧成分的聚苯乙烯換算的重量平均分子量在1，000~ 1，000, 000的范圍，如果是此重量平均分子量，則在室溫下呈固體狀或半固體狀，從作業(yè)性、 固化性等來看較為優(yōu)選。
[0157] 這種樹脂結(jié)構(gòu)的（A)成分是將成為各單元的原料的化合物在生成聚合物中，以各 硅氧烷單元所需的摩爾比的方式組合，例如，可以在酸的存在下，通過進(jìn)行共水解縮合而合 成。
[0158] 此處，作為各硅氧烷單元的原料，能夠例示相當(dāng)于各硅氧烷單元的氯硅烷類、分別 相當(dāng)于這些氯硅烷類的甲氧基硅烷類等烷氧基硅烷類等。
[0159] 并且，對硅酮樹脂組合物所包含的（B)成分的氫聚硅氧烷進(jìn)行說明。
[0160] 優(yōu)選為，（B)成分含有1個以上的氫硅烷基。
[0161] 作為⑶成分的具體例，可以例舉以下所例示的氫聚硅氧燒，但并非限定于這些 氫聚硅氧烷。并且，此氫聚硅氧烷可以使用1種或2種以上。
[0162] (PhSiO1.5) ul (Me2SiO) v (Me2HSiO0.5) wl
[0163] (PhSiO1.5) ^ (Me2SiO) x (MeHSiO) y (Me2HSiO0.5) w2
[0164] (PhSiO15)u3(MeHSiO)v
[0165] (MeSiO15)u4(MeHSiO)v
[0166] (Me2HSiOl72)2(Ph 2SiO272)z
[0167] (式中，ul、u2、u3、u4、v、wl、w2、x、y 及 z 是分別滿足 0· 24 < (ul、u2、u3 及 u4)<0.9、0.09<v<0.75、0.01<(wl*w2)<0.5、0.0Kx<0.74、0.0Ky<0.74、 z = I ~10 的整數(shù)，而且，ul+v+wl = 1，u2+x+y+w2 = 1，u3+x = 1，或 u4+y = 1。）
[0168] 較為理想的是，（B)成分的調(diào)配量為以下的量，（B)成分的鍵結(jié)于硅原子上的氫原 子（SiH基）相對于前述的（A)成分的1價不飽和烴基的合計(jì)，摩爾比為0. 1~4. 0,尤其優(yōu) 選為0. 5~3. 0的量，進(jìn)一步優(yōu)選為0. 8~2. 0的量。如果是0. 1以上，則可以順利地進(jìn)行 固化反應(yīng)，容易獲得硅酮固化物；而如果是4.0以下，則可以使固化物中的未反應(yīng)的SiH基 的余量變少，可以抑制固化物的特性隨時間變化，因而較為優(yōu)選。
[0169] 在本發(fā)明中，為了賦予粘著性，優(yōu)選為，（A)成分和（B)成分中的一者或兩者含有 硅醇基。在（A)成分和（B)成分中，相對于全部硅氧烷單元，具有硅