石英玻璃制砣機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種石英玻璃制砣機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃可采用氫氧焰或等離子體為熱源，原料可采用水晶粉在石英基底表面分布熔融制備而成；或采用含硅前驅(qū)體(通常為SiCl4)原料經(jīng)水解或氧化反應(yīng)產(chǎn)生的S1jfi米顆粒在石英基底表面沉積熔融制備而成。石英玻璃制砣機(jī)是制備上述石英玻璃的關(guān)鍵設(shè)備，其結(jié)構(gòu)直接影響石英玻璃產(chǎn)品的尺寸、性能和成品率。
[0003]石英玻璃具有特殊的光譜透過性能，熱膨脹系數(shù)低、耐高溫、耐激光損傷、耐射線輻照、耐化學(xué)腐蝕，在太陽能半導(dǎo)體工業(yè)、超大規(guī)模集成電路光刻、激光工程、航天工業(yè)等領(lǐng)域均具有不可替代的應(yīng)用優(yōu)勢。隨著各領(lǐng)域光學(xué)系統(tǒng)對石英玻璃尺寸要求的不斷提高，而且通過大尺寸產(chǎn)品取芯應(yīng)用，有助于提高石英玻璃光學(xué)均勻性，因此研制大尺寸石英玻璃的需求劇增。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中公開了一種合成石英玻璃制砣機(jī)，它由上至下依次設(shè)置有驅(qū)動電機(jī)、主軸箱、立柱及底座。在立柱內(nèi)垂設(shè)有滾珠絲杠，該滾珠絲杠的頂端與主軸箱連接，底端固定有軸承座。滾珠絲杠上套設(shè)有升降座，升降座上設(shè)置有主軸和主軸電機(jī)。主軸電機(jī)與主軸驅(qū)動連接，以驅(qū)動主軸轉(zhuǎn)動。主軸上設(shè)置有用于安裝外部沉積基底的連接部，合成石英玻璃的熔制過程在沉積基底上進(jìn)行。
[0005]在實現(xiàn)上述技術(shù)方案的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題:現(xiàn)有制坨機(jī)的立柱會對連接在主軸上的沉積基底的大小產(chǎn)生約束，由于沉積基底的大小受立柱的限制，使得沉積基底可熔制成形的玻璃直徑也受限，從而無法制備出大尺寸的石英玻璃。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明提供一種石英玻璃制砣機(jī)，主要目的在于使制砣機(jī)能夠制備出大尺寸的石英玻璃。
[0007]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明主要提供如下技術(shù)方案:
[0008]本發(fā)明的實施例提供一種石英玻璃制砣機(jī)，包括:
[0009]底座；
[0010]升降座；
[0011]升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述底座上，所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端與所述升降座連接，以驅(qū)動所述升降座升降；
[0012]主軸，可轉(zhuǎn)動地豎直設(shè)置在所述升降座上，所述主軸的頂端設(shè)有連接部，所述連接部用于安裝制備石英玻璃的沉積基底；
[0013]其中，所述連接部置于所述石英玻璃制砣機(jī)的頂端。
[0014]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
[0015]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，所述升降機(jī)構(gòu)包括:
[0016]升降絲杠，可升降地豎直設(shè)置在所述底座上，所述升降絲杠作為所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端；
[0017]絲杠螺母，套設(shè)在所述升降絲杠上，且與所述升降絲杠的外壁螺紋連接，所述絲杠螺母可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述底座上，所述絲杠螺母包括旋轉(zhuǎn)動力輸入端；
[0018]升降動力裝置，其輸出端與所述旋轉(zhuǎn)動力輸入端驅(qū)動連接。
[0019]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，
[0020]所述底座包括基座和設(shè)置在所述基座上的傳動箱，所述傳動箱具有內(nèi)腔；
[0021]所述升降絲杠穿過所述傳動箱；
[0022]所述內(nèi)腔的上腔壁上設(shè)有與所述絲杠螺母的上端相適配的第一軸孔，所述內(nèi)腔的下腔壁上設(shè)有與所述絲杠螺母的下端相適配的第二軸孔；
[0023]所述絲杠螺母置于所述傳動箱內(nèi)部，所述絲杠螺母的上端插入所述第一軸孔內(nèi)，所述絲杠螺母的下端插入所述第二軸孔內(nèi)；
[0024]所述絲杠螺母下端的側(cè)壁沿徑向向內(nèi)凹陷形成第一卡臺，所述第一卡臺與所述第二軸孔的上端面轉(zhuǎn)動配合；
[0025]所述絲杠螺母在兩端之間的外環(huán)壁上設(shè)有驅(qū)動連接結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動連接結(jié)構(gòu)作為所述的旋轉(zhuǎn)動力輸入端。
[0026]前述的石英玻璃制砣機(jī)，還包括:
[0027]推力球軸承，設(shè)置在所述傳動箱內(nèi)，所述推力球軸承的內(nèi)圈作為所述的第二軸孔，所述推力球軸承上環(huán)的端面作為所述第二軸孔的上端面。
[0028]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，
[0029]所述升降動力裝置包括:
[0030]諧波減速機(jī)，設(shè)置在所述傳動箱上，所述諧波減速機(jī)包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端；所述諧波減速機(jī)的輸出端作為所述升降動力裝置的輸出端；
[0031]第一升降電機(jī)，其輸出端與所述第一輸入端驅(qū)動連接；
[0032]第二升降電機(jī)，其輸出端與所述第二輸入端驅(qū)動連接。
[0033]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，
[0034]所述諧波減速機(jī)的輸出端連接有輸出軸；
[0035]所述輸出軸上固定地套置有主動齒輪；
[0036]所述驅(qū)動連接結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)；
[0037]所述升降動力裝置的輸出端通過所述主動齒輪與所述驅(qū)動連接結(jié)構(gòu)驅(qū)動連接。
[0038]前述的石英玻璃制砣機(jī)，還包括:
[0039]導(dǎo)向柱，所述傳動箱上設(shè)有貫穿的導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向柱豎直地插入所述導(dǎo)向孔內(nèi)，所述導(dǎo)向柱的上端與所述升降座連接。
[0040]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，
[0041]所述導(dǎo)向柱的數(shù)量為多個，多個所述導(dǎo)向柱繞所述升降絲杠均勻分布。
[0042]前述的石英玻璃制砣機(jī)，還包括:
[0043]直線導(dǎo)軌，豎直設(shè)置在所述傳動箱內(nèi)，所述直線導(dǎo)軌的內(nèi)圈作為所述的導(dǎo)向孔。
[0044]前述的石英玻璃制砣機(jī)，其中，
[0045]所述升降絲杠的外壁和所述導(dǎo)向柱的外壁兩者在所述升降座和所述傳動箱之間的部分均包覆有鋁箔布。
[0046]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)至少具有以下有益效果:
[0047]在本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案中，由于連接部置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，當(dāng)該連接部與石英玻璃的沉積基底連接時，該沉積基底也置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)由于沒有立柱等部件的限制，沉積基底的外形尺寸在理論上可以做的無限大，從而可以制備出的石英玻璃的尺寸在理論上也沒有限制，進(jìn)而可以實現(xiàn)通過本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)制備大尺寸石英玻璃的目的。
[0048]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。
【附圖說明】
[0049]圖1是本發(fā)明的一實施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0050]圖2是本發(fā)明的一實施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的傳動箱的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0051]圖3是圖2中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0052]圖4是本發(fā)明的一實施例提供的一種石英玻璃制蛇機(jī)的升降座與第一滑座的相對位置關(guān)系圖；
[0053]圖5是本發(fā)明的一實施例提供的一種石英玻璃制砣機(jī)的傳動箱的潤滑系統(tǒng)的部分結(jié)構(gòu)示意圖