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【具體實(shí)施方式】
[0054]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本發(fā)明申請的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。在下述說明中，不同的“一實(shí)施例”或“實(shí)施例”指的不一定是同一實(shí)施例。此外，一或多個(gè)實(shí)施例中的特定特征、結(jié)構(gòu)、或特點(diǎn)可由任何合適形式組合。
[0055]如圖1所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提出的一種石英玻璃制砣機(jī)，包括底座1、升降座8、升降機(jī)構(gòu)和主軸17。升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座I上，升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座8連接，以驅(qū)動(dòng)升降座8升降。主軸17可轉(zhuǎn)動(dòng)地豎直設(shè)置在升降座8上，主軸17的頂端設(shè)有用于安裝石英玻璃的沉積基底的連接部18。該連接部18置于石英玻璃制砣機(jī)的頂端。
[0056]這里需要說明的是:上述的連接部18可以為卡盤等，用于制備石英玻璃的沉積基底可以安裝在該卡盤上。
[0057]在上述實(shí)施例提供的技術(shù)方案中，由于連接部18置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，當(dāng)該連接部18與石英玻璃的沉積基底連接時(shí)，該沉積基底也置于本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)的頂端，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)由于沒有立柱等部件的限制，沉積基底的外形尺寸在理論上可以做的無限大，從而可以制備出的石英玻璃的尺寸在理論上也沒有限制，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)通過本發(fā)明石英玻璃制砣機(jī)制備大尺寸石英玻璃的目的。
[0058]具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，上述的升降機(jī)構(gòu)可以包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。升降絲杠5可升降地豎直設(shè)置在底座I上。該升降絲杠5作為升降機(jī)構(gòu)的輸出端與升降座8連接。優(yōu)選的，升降絲杠5的頂端與升降座8連接(如圖1所示)。絲杠螺母23套設(shè)在升降絲杠5上，且與升降絲杠5的外壁螺紋連接。絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座I上，絲杠螺母23包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。升降動(dòng)力裝置的輸出端與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，升降絲杠5和絲杠螺母23形成絲杠螺母副。由于絲杠螺母23可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座I上，當(dāng)升降動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，升降絲杠5升降運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)升降座8一起升降運(yùn)動(dòng)。
[0059]當(dāng)然，在一個(gè)替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)也可以不包括升降絲杠5、絲杠螺母23和升降動(dòng)力裝置。在該替代的實(shí)施例中，前述的升降機(jī)構(gòu)可以包括驅(qū)動(dòng)缸，該驅(qū)動(dòng)缸可以為液壓缸或氣壓缸等。驅(qū)動(dòng)缸的輸出軸與升降座8連接，以驅(qū)動(dòng)升降座8升降。其中，升降機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證升降機(jī)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)升降座8升降位移即可。
[0060]具體在實(shí)施時(shí)，如圖2和圖3所示，前述的底座I可以包括基座102和傳動(dòng)箱101。傳動(dòng)箱101設(shè)置在基座102上。傳動(dòng)箱101具有內(nèi)腔。絲杠螺母23置于傳動(dòng)箱101內(nèi)部，升降絲杠5穿過該傳動(dòng)箱101。基座102具有供升降絲杠5升降的升降空間。在一個(gè)實(shí)施例中，絲杠螺母23可以整體為單個(gè)部件，絲杠螺母23下端的側(cè)壁沿徑向向內(nèi)凹陷形成第一卡臺(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的上腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的上端相適配的第一軸孔(圖中未標(biāo)示)。內(nèi)腔的下腔壁上設(shè)有與絲杠螺母23的下端相適配的第二軸孔(圖中未標(biāo)示)。絲杠螺母23的上端插入第一軸孔內(nèi)，絲杠螺母23的下端插入第二軸孔內(nèi)。第一卡臺與第二軸孔的上端面轉(zhuǎn)動(dòng)配合。絲杠螺母23在兩端之間的外環(huán)壁上設(shè)有驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)作為前述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力輸入端。其中，第一軸孔和第二軸孔可以保證絲杠螺母23的自由轉(zhuǎn)動(dòng)，并且還可以對絲杠螺母23提供穩(wěn)定的徑向支撐。第二軸孔的上端面通過第一卡臺對絲杠螺母23提供軸向支撐。
[0061]這里需要說明的是:上述的基座102可以由水泥、鋼鐵等重量較重的材料制成，基座102的重量較大，可以為整個(gè)設(shè)備提供穩(wěn)定的支撐。水泥基座可以埋設(shè)在地面內(nèi)，水泥基座內(nèi)設(shè)有供升降絲杠5插入的導(dǎo)向筒(圖中未標(biāo)示)，該導(dǎo)向筒可以對升降絲杠5導(dǎo)向，以提高升降絲杠5的升降精度。
[0062]進(jìn)一步的，為了減小絲杠螺母23在旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一卡臺與第二軸孔的上端面之間的摩擦阻力，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)還可以包括推力球軸承231。該推力球軸承231設(shè)置在傳動(dòng)箱101內(nèi)，推力球軸承231的內(nèi)圈作為前述的第二軸孔，推力球軸承231上環(huán)的端面作為第二軸孔的上端面。通過設(shè)置的推力球軸承231，當(dāng)絲杠螺母23轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，絲杠螺母23通過第一卡臺帶動(dòng)推力球軸承231的上環(huán)一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以將絲杠螺母23與第二軸孔上端面之間的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)化為推力球軸承231的滾動(dòng)摩擦，以減小摩擦阻力。
[0063]推力球軸承231采用高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可承受推力載荷的設(shè)計(jì)，由帶有球滾動(dòng)的滾道溝的墊圈狀套圈構(gòu)成。推力球軸承231可承受軸向載荷，以對絲杠螺母23提供支撐。
[0064]如圖1和圖2所示，前述的升降動(dòng)力裝置可以包括諧波減速機(jī)4、第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3。諧波減速機(jī)4設(shè)置在傳動(dòng)箱101上，諧波減速機(jī)4包括第一輸入端、第二輸入端和輸出端。諧波減速機(jī)4的輸出端作為前述升降動(dòng)力裝置的輸出端。第一升降電機(jī)2輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接。第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接。其中，諧波減速機(jī)4的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)有技術(shù)中選取，在此不再贅述。
[0065]上述的諧波減速機(jī)4可以為雙速比諧波減速機(jī)，第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3分別通過該雙速比諧波減速機(jī)控制升降座8的快速升降和慢速升降。在一個(gè)具體的應(yīng)用示例中，該諧波減速機(jī)4的快速減速比為20，慢速減速比為10萬。
[0066]上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以設(shè)置在諧波減速機(jī)4上，也可以單獨(dú)設(shè)置在一側(cè)，具體可以根據(jù)用戶的實(shí)際需求設(shè)置，只要保證第一升降電機(jī)2的輸出端與第一輸入端驅(qū)動(dòng)連接，第二升降電機(jī)3的輸出端與第二輸入端驅(qū)動(dòng)連接即可。
[0067]上述的第一升降電機(jī)2和第二升降電機(jī)3可以均為伺服電機(jī)，用戶可以通過PLC和工控機(jī)對伺服電機(jī)進(jìn)行控制，可靈活編制沉積基地的運(yùn)行軌跡。其中，第一升降電機(jī)2上可以帶抱閘，以進(jìn)行急停控制。
[0068]如圖2所示，諧波減速機(jī)4的輸出端連接有輸出軸。該輸出軸上固定地套置有主動(dòng)齒輪21。前述絲杠螺母23上的驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)。諧波減速機(jī)4的輸出端通過該主動(dòng)齒輪21與驅(qū)動(dòng)連接結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接。其中，采用齒輪驅(qū)動(dòng)連接，傳動(dòng)精度較高。
[0069]如圖2和圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例的石英玻璃制砣機(jī)可以包括旋轉(zhuǎn)編碼器24。旋轉(zhuǎn)編碼器24設(shè)置在傳動(dòng)箱101上。諧波減速機(jī)4的輸出端與旋轉(zhuǎn)編碼器24的輸入軸驅(qū)動(dòng)連接。因?yàn)橹C波減速機(jī)4還作為升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸入裝置，通過旋轉(zhuǎn)編碼器24對升降機(jī)構(gòu)的升降位置進(jìn)行測量定位。
[0070]旋轉(zhuǎn)編碼器24是可以實(shí)現(xiàn)高精度速度和位移測試的裝置，光電式旋轉(zhuǎn)編碼器24通過光電轉(zhuǎn)換，可將輸出軸的角位移、角速度等機(jī)械量轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖以數(shù)字量輸出(REP)。旋轉(zhuǎn)編碼器24精度高、體積小、易于密封，在工業(yè)環(huán)境下使用壽命長。旋轉(zhuǎn)編碼器24的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有技術(shù)中的常用技術(shù)，可以根據(jù)需要在現(xiàn)