欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種光刻版以及光刻方法與流程

文檔序號:12716256閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光刻版,包括:

光刻版主體,

滑軌,位于所述光刻版主體的邊緣;

若干遮蔽擋板,卡設(shè)于所述滑軌之中,用于部分地覆蓋所述光刻版主體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻版,其特征在于,所述滑軌設(shè)置于所述光刻版中相對的兩側(cè)的邊緣。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻版,其特征在于,所述遮蔽擋板位于所述光刻版主體的上方。

4.一種光刻方法,包括:

步驟S1:提供待光刻硅片,所述待光刻硅片表面由下至上有待圖形化材料層和光刻膠層;

步驟S2:提供光刻版,并確定所述光刻版的透光率;

步驟S3:根據(jù)所述光刻版的透光率的大小調(diào)整所述光刻版的曝光區(qū)域,以控制所述光刻版的透光率在目標值以內(nèi),然后對選定的所述曝光區(qū)域進行曝光;

步驟S4:以所述光刻膠層為掩膜進行所述待圖形化材料層的圖形化處理;

其中,在所述步驟S3中當所述光刻版中選擇曝光的區(qū)域為部分區(qū)域時,則重復(fù)所述步驟S3和S4對未曝光的區(qū)域進行曝光,直至完成所述光刻版的全部區(qū)域的曝光,最終在所述待蝕刻材料層中形成目標圖形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻方法,其特征在于,所述光刻版的透光率的目標值為60%。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光刻方法,其特征在于,在所述步驟S3中當所述光刻版的透光率比大于所述目標值時,將所述光刻版劃分為若干區(qū)域,并分若干次進行曝光。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光刻方法,其特征在于,在所述步驟S3中當所述光刻版的透光率比大于所述目標值時,將所述光刻版劃分為第一區(qū)域和第二區(qū)域,并分兩次進行曝光。

8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的光刻方法,其特征在于,在所述步驟S3中當所述光刻版的透光率比小于或等于所述目標值時,將所述光刻版一次全部曝光。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻方法,其特征在于,在所述步驟S3中,對選定的所述曝光區(qū)域進行曝光的同時,將所述光刻版的剩余區(qū)域進行遮蔽。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻方法,其特征在于,在所述步驟S1中,在所述待光刻硅片上形成有CMOS器件,所述待圖形化材料層為金屬層,在所述金屬層上形成有所述光刻膠層,以在所述步驟S4中形成金屬互連。

當前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
丹棱县| 樟树市| 玛沁县| 富源县| 阿巴嘎旗| 长岭县| 那曲县| 阿鲁科尔沁旗| 绥阳县| 林州市| 子长县| 托克逊县| 行唐县| 句容市| 仙游县| 四子王旗| 上饶市| 太谷县| 亳州市| 东莞市| 汶上县| 孟村| 镇原县| 珠海市| 浦县| 车险| 宜兴市| 色达县| 犍为县| 和林格尔县| 合江县| 抚远县| 南陵县| 乌鲁木齐市| 夏津县| 囊谦县| 沿河| 南乐县| 泰和县| 香格里拉县| 左云县|