1.一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其包括檢查清洗平臺(tái)、輸送機(jī)構(gòu)、控制單元、激光源、激光接收器以及異物清除單元；
其中所述檢查清洗平臺(tái)用于放置基板，所述控制單元連接所述輸送機(jī)構(gòu)、激光源、激光接收器以及異物清除單元，所述異物清除單元設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)上，并可通過(guò)所述輸送機(jī)構(gòu)輸送至所述檢查清洗平臺(tái)臺(tái)面任意位置的上方；
使用時(shí)，所述激光源會(huì)在所述基板放置到位后，對(duì)所述基板表面進(jìn)行整個(gè)平面的同強(qiáng)度的發(fā)射光散射，而所述激光接收器會(huì)對(duì)入射光強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)所述基板表面附有異物時(shí)，其接收到的入射光強(qiáng)度就會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，所述控制單元根據(jù)所述激光接收器接收的入射光強(qiáng)度變化數(shù)據(jù)確定異物在所述基板上的位置坐標(biāo)，然后控制所述輸送機(jī)構(gòu)將所述異物清除單元輸送到所述異物的位置坐標(biāo)，所述異物清除單元根據(jù)所述控制器的指令，進(jìn)行所述基板表面附著異物的清除。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述異物清除單元包括帶靜電發(fā)生器的吸附毛刷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述異物清除單元包括氣槍，其具備真空吹氣和吸氣功能。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述異物清除單元包括集塵單元，其與所述氣槍相接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述輸送機(jī)構(gòu)包括龍門架或是機(jī)械手臂中的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述控制器還連接有照相單元，其用于對(duì)附著在所述基板上的異物進(jìn)行拍照，并保存其微觀清晰的形貌照片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述照相單元設(shè)置在所述輸送機(jī)構(gòu)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述激光源設(shè)置在所述檢查清洗平臺(tái)的邊角位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置；其特征在于，其中所述激光接收器布置在所述檢查清洗平臺(tái)的四周。
10.一種基板上附著異物的檢查及去除方法；其特征在于，其包括以下步驟：
將待檢查的基板輸送到一檢查清洗平臺(tái)上；
使用一激光源對(duì)所述基板表面進(jìn)行整個(gè)平面的同強(qiáng)度的發(fā)射光散射，與其對(duì)應(yīng)的激光接收器會(huì)對(duì)所述激光源發(fā)出的入射光強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)所述基板表面附有異物時(shí)，所述激光接收器接收到的入射光強(qiáng)度就會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化；
根據(jù)所述激光接收器接收的入射光強(qiáng)度變化數(shù)據(jù)確定所述異物在所述基板上的位置坐標(biāo)；
輸送一異物清除單元到所述異物的位置坐標(biāo)，并對(duì)其進(jìn)行異物清除操作。