技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基板上附著異物的檢查及去除裝置及其方法，其中所述裝置包括檢查清洗平臺、輸送機構(gòu)、控制單元、激光源、激光接收器以及異物清除單元。其中所述檢查清洗平臺用于放置基板，所述控制單元連接所述輸送機構(gòu)、激光源、激光接收器以及異物清除單元，所述異物清除單元設(shè)置在所述輸送機構(gòu)上，并可通過所述輸送機構(gòu)輸送至所述檢查清洗平臺臺面任意位置的上方。本發(fā)明提供的一種基板上附著異物的檢查及去除裝置及其方法，其能夠有效去除基板上附著的異物，從而改善基板涂布前膜下異物的發(fā)生率。

技術(shù)研發(fā)人員：吳利峰
受保護的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201710253236
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.18
技術(shù)公布日：2017.06.13