技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種實時測量紫外光強度的硅片光刻機，包括紫外光遮罩體，該紫外光遮罩體具有一光刻腔體，光刻腔體內(nèi)上下依次設置有照明系統(tǒng)、掩膜臺系統(tǒng)和自動對準系統(tǒng)，照明系統(tǒng)包括紫外光源和紫外輻射照計模塊，紫外光遮罩體上設置有操作面板，該操作面板包括紫外線強度顯示窗口，紫外光遮罩體開設有樣品取置窗口，該取置窗口遮蓋有紫外光隔離門。本新型在光源附近設置紫外輻射照計模塊，用于實時測量和查看紫外線的強度，比現(xiàn)有的光刻機增加了光強參數(shù)，具有及時更換紫外燈，增加了曝光的成功率的優(yōu)勢，另外，本新型的光刻機設置了保護系統(tǒng)，避免了曝光過程中紫外光對人體及環(huán)境產(chǎn)生傷害，具有人性化、綠色的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：劉珊珊
受保護的技術(shù)使用者：蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司
文檔號碼：201720270642
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.20
技術(shù)公布日：2017.11.14