光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備的制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明關于光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。
【背景技術】
[0002]以前，已知有使用法布里-珀羅標準具元件(光學濾波器裝置)，從射入光測量規(guī)定波長的光的光量的測量裝置(例如，參照專利文獻I)。
[0003]該專利文獻I中記載的裝置，控制對致動器的施加電壓，使構成光學濾波器裝置的一對反射膜間的距離變化，使對應于反射膜間的間隙尺寸的波長的光透過，并由光接收元件接收。
[0004]然而，在如上述專利文獻I中記載的測量裝置中，在測量較寬波段的分光特性的情況下，作為構成光學濾波器裝置的一對反射膜，優(yōu)選使用Ag合金等金屬膜。但是，在使用這種金屬膜的情況下，透過光學濾波器裝置的光的半幅值變大，分辨率降低。即，以實施光量測量的波長為中心的較寬波段的光從光學濾波器裝置射出，存在不能獲得精度較高的測量結果的問題。
[0005]現(xiàn)有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開平01-94312號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于，提供能夠高精度地射出期望波長的光的光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。
[0009]本發(fā)明的光學濾波器裝置，其特征在于具備:波長可變干涉濾波器，具有彼此相對的一對反射膜以及改變所述一對反射膜的間隙尺寸的間隙改變部；以及帶通濾波器，設置在所述一對反射膜的光軸上，其中，所述帶通濾波器具有包括使光透過的多個透過波段的光學特性，并且所述各透過波段(wavelength band)各自不同。
[0010]在本發(fā)明中，在帶通濾波器的光學特性(光透過率特性)中，設置有多個透過波段。即，在帶通濾波器中，對于規(guī)定的波段，使光透過的透過波段和不使光透過(例如透過率為規(guī)定值以下)的非透過波段交替排列。在這種構成中，通過利用間隙改變部改變一對反射膜的間隙間隔，使從波長可變干涉濾波器射出的光的峰值波長在帶通濾波器的透過波段內(nèi)。對于從波長可變干涉濾波器射出的光，以對應于間隙間隔的峰值波長為中心的規(guī)定波段的光射出，但是在上述構成中，其中透過波段外的光(非透過波段的光)被帶通濾波器阻擋，透過波段內(nèi)的光透過。此時，在對應于峰值波長的透過波段以外的其他透過波段中，也有光透過，但是，由于從波長可變干涉濾波器射出的該其他透過波段中所包含的光的光量非常小，因此對測量精度的影響較小。
[0011]因此，在本發(fā)明中，能夠從光學濾波器裝置高精度地射出期望波長的光，實現(xiàn)了分辨率的提高。
[0012]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述各透過波段比從所述波長可變干涉濾波器射出的光的半幅值小。
[0013]在本發(fā)明中，帶通濾波器的各透過波段比從波長可變干涉濾波器射出的光的半幅值小。在這種構成中，比包含峰值波長在內(nèi)的半幅值小的波段內(nèi)的光從光學濾波器裝置射出。在透過波段的帶寬為半幅值以上的情況下，在作為期望波長的峰值波長的光以外，不需要的波長成分的光的光量也增大，不能實現(xiàn)足夠的分辨率的提高。對此，如本發(fā)明，通過使透過波段的帶寬比半幅值小，能夠實現(xiàn)光學濾波器裝置的分辨率的進一步的提高。
[0014]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，多個所述透過波段的間隔比從所述波長可變干涉濾波器射出的光的半幅值的一半大。
[0015]在本發(fā)明中，夾著非透過波段的兩個透過波段的間隔、即非透過波段的帶寬，比從所述波長可變干涉濾波器射出的光的半幅值的一半大。
[0016]在非透過波段的寬度為半幅值的一半以下的情況下，透過對應于峰值波長的透過波段前后的透過波段的光的光量增大，在非透過波段中，不能充分地截斷不需要的波長成分的光。對此，在本發(fā)明中，由于非透過波段的寬度為半幅值的一半以上，因此，在非透過波段中，能夠充分地截斷不需要的波長成分的光，不需要的波長成分的光的光量也變小。由此，實現(xiàn)了光學濾波器裝置的分辨率的提高。
[0017]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述帶通濾波器在所述光軸上設置有多個。
[0018]在本發(fā)明中，具有同一透過波段以及非透過波段的帶通濾波器設置有多個。在透過多個帶通濾波器的情況下，非透過波段的透過率是將帶通濾波器的非透過波段的透過率相乘。例如，在一個帶通濾波器中的非透過波段的透過率為I %的情況下，如果使用兩個帶通濾波器，則該非透過波段的透過率為0.01 %。因此，在本發(fā)明中，能夠使非透過波段中的光的透過率進一步降低，能夠更加可靠地截斷不需要的波長成分的光，因此，能夠實現(xiàn)光學濾波器裝置的分辨率的進一步的提高。
[0019]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述帶通濾波器設置在光射入所述波長可變干涉濾波器的光射入側。
[0020]在帶通濾波器設置在波長可變干涉濾波器的光射出側的情況下，存在從波長可變干涉濾波器射出的光被帶通濾波器反射，再次射入波長可變干涉濾波器的情況，在該情況下，存在噪音成分增大并且分辨率降低的危險。對此，如本發(fā)明，通過將帶通濾波器配置在光射入側，能夠降低上述的危險，實現(xiàn)了光學濾波器裝置的分辨率的提高。
[0021]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述帶通濾波器由電介質多層膜構成。
[0022]在本發(fā)明中，帶通濾波器由電介質多層膜構成。在該情況下，通過控制高反射層和低反射層的膜厚，能夠容易地形成帶通濾波器，能夠使制造效率性提高。
[0023]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述帶通濾波器的多個所述透過波段以外的波段中的光的透過率為10%以下。
[0024]在本發(fā)明中，由于非透過波段中的光的透過率為10%以下，因此，能夠抑制該非透過波段中的不需要的波長成分的光的射出，實現(xiàn)了光學濾波器裝置的分辨率的提高。
[0025]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述波長可變干涉濾波器具備設置有所述一對反射膜中的任一個的基板，所述帶通濾波器設置于所述基板。
[0026]在本發(fā)明中，帶通濾波器設置于設置有波長可變干涉濾波器的反射膜的基板。因此，能夠將波長可變干涉濾波器和帶通濾波器一體化，能夠實現(xiàn)光學濾波器裝置的小型化。
[0027]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，具有收納所述波長可變干涉濾波器的框體。
[0028]在本發(fā)明中，由于波長可變干涉濾波器被收納于框體，因此能夠保護光學濾波器裝置不受外力。并且，由于能夠抑制帶電粒子等的侵入，因此能夠抑制帶電粒子附著于反射膜等而引起的性能降低(例如由于帶電粒子所引起的庫侖力而間隙尺寸進行變動的不良情況等)。
[0029]在本發(fā)明的光學濾波器裝置中，優(yōu)選的是，所述框體具有設置在所述一對反射膜的光軸上并且使光透過的透光部件，所述帶通濾波器設置于所述透光部件。
[0030]在本發(fā)明中，帶通濾波器設置于框體的透光部件。在這種構成中，能夠使用現(xiàn)有的波長可變干涉濾波器，能夠實現(xiàn)利用的擴大。
[0031]本發(fā)明的光學模塊，其特征在于具有光學濾波器裝置和光接收部，光學濾波器裝置具有:波長可變干涉濾波器，該波長可變干涉濾波具有彼此相對的一對反射膜以及改變所述一對反射膜的間隙尺寸的間隙改變部；以及帶通濾波器，設置在所述一對反射膜的光軸上。光接收部接收從所述光學濾波器裝置射出的光。所述帶通濾波器具有包括使光透過的多個透過波段的光學特性，并且所述各透過波段各自不同。
[0032]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明同樣，能夠提高光學濾波器裝置的分辨率。因此，通過使從光學濾波器裝置提取的光由光接收部接收，能夠高精度地檢測期望波長的光的光量。
[0033]本發(fā)明的電子設備，其特征在于具有光學濾波器裝置和控制部，光學濾波器裝置具有:波長可變干涉濾波器，該波長可變干涉濾波具有彼此相對的一對反射膜以及改變所述一對反射膜的間隙尺寸的間隙改變部；以及帶通濾波器，設置在所述一對反射膜的光軸上?？刂撇靠刂扑龉鈱W濾波器裝置。所述帶通濾波器具有包括使光透過的多個透過波段的光學特性，并且所述各透過波段各自不同。
[0034]在本發(fā)明中，與上述發(fā)明同樣，能夠以高分辨率使光從光學濾波器裝置射出。因此，電子設備能夠基于該光實施正確的處理。
【附圖說明】
[0035]圖1是示出第一實施方式的分光測量裝置的概略構成的框圖。
[0036]圖2是示出第一實施方式的波長可變干涉濾波器的概略構成的俯視圖。
[0037]圖3是圖2中的A-A線的截面圖。
[0038]圖4是示出第一實施方式的波長可變干涉濾波器的光學特性的視圖。
[0039]圖5是示出第一實施方式的帶通濾波器的光學特性的視圖。
[0040]圖6是示出第一實施方式的光學濾波器裝置的光學特性的視圖。
[0041]圖7是示出第二實施方式的光學濾波器裝置的概略構成的截面圖。
[0042]圖8是示出第三實施方式的光學濾波器裝置的概略構成的截面圖。
[0043]圖9是示出作為本發(fā)明的其他實施方式的光源檢查裝置中的光源的照射強度特性以及波長可變干涉濾波器的光學特性的視圖。
[0044]圖10是示出上述光源檢查裝置中的帶通濾波器的光學特性的視圖。
[0045]圖11是示出上述光源檢查裝置中的光源的照射強度特性以及光學濾波器裝置的光學特性的視圖。
[0046]圖12是示出作為本發(fā)明的電子設備的其他例的比色裝置的概略構成的框圖。
[0047]圖13是作為本發(fā)明的電子設備的其他例的氣體檢測裝置的概略圖。
[0048]圖14是示出圖13的氣體檢測裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0049]圖15是示出作為本發(fā)明的電子設備的其他例的食物分析裝置的概略構成的框圖。
[0050]圖16是示出作為本發(fā)明的電子設備的其他例的分光照相機的概略構成的模式圖。
【具體實施方式】
[0051][第一實施方式]
[0052]以下，基于附圖，對本發(fā)明涉及的第一實施方式進行說明。
[0053][分光測量裝置的構成]
[0054]圖1是示出本發(fā)明涉及的分光測量裝置的概略構成的框圖。
[0055]分光測量裝置I是本發(fā)明的電子設備的一例，是分析被測量對象X反射的測量對象光中的各波長的光強度，測量分光光