譜的裝置。并且，在本實施方式中，示出測量被測量對象X反射的測量對象光的例子，但是，作為測量對象X，例如在使用液晶面板等發(fā)光體的情況下，也可以將從該發(fā)光體發(fā)出的光作為測量對象光。
[0056]并且，如圖1所示，該分光測量裝置I具有光學(xué)模塊10、處理從光學(xué)模塊10輸出的信號的控制部20。
[0057][光學(xué)模塊的構(gòu)成]
[0058]光學(xué)模塊10具有光學(xué)濾波器裝置500、檢測器11、1-V變換器12、放大器13、A/D變換器14、驅(qū)動控制部15。
[0059]該光學(xué)模塊10使被測量對象X反射的測量對象光通過入射光學(xué)系統(tǒng)(圖示省略)，向光學(xué)濾波器裝置500引導(dǎo)，使透過光學(xué)濾波器裝置500的光由檢測器11 (光接收部)接收。并且，從檢測器11輸出的檢測信號經(jīng)由1-V變換器12、放大器13、A/D變換器14輸出至控制部20。
[0060][光學(xué)濾波器裝置的構(gòu)成]
[0061]圖2是示出光學(xué)濾波器裝置500的概略構(gòu)成的俯視圖，圖3是示出由圖2的A-A線切斷的光學(xué)濾波器裝置500的概略構(gòu)成的截面圖。
[0062]如圖3所示，本實施方式的光學(xué)濾波器裝置500具有波長可變干涉濾波器501、帶通濾波器502。
[0063]如圖2、3所示，波長可變干涉濾波器501具有固定基板51以及可動基板。這些固定基板51以及可動基板52例如分別由鈉玻璃、結(jié)晶性玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅酸玻璃、無堿玻璃等各種玻璃或水晶等形成。并且，在由分光測量裝置I測量的測量對象波長區(qū)域例如為紅外波長區(qū)域的情況下，也可以由Si等形成。并且，如圖3所示，這些固定基板51以及可動基板52通過接合膜53 (第一接合膜531以及第二接合膜532)被接合，從而被一體構(gòu)成。具體來說，固定基板51的第一接合部513以及可動基板52的第二接合部523，例如通過由硅氧烷為主要成分的等離子聚合膜等構(gòu)成的接合膜53被接合。
[0064]并且，在以后的說明中，將從固定基板51或者可動基板52的基板厚度方向觀看的俯視觀察，即，從固定基板51、接合膜53以及可動基板52的層疊方向觀看光學(xué)濾波器裝置500的俯視觀察，稱為濾波器俯視觀察。
[0065]如圖3所示，在固定基板51上設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的一對反射膜中的一個的固定反射膜54。并且，在可動基板52上，設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的一對反射膜中的另一個的可動反射膜55。這些固定反射膜54以及可動反射膜55經(jīng)由反射膜間間隙Gl而相對配置。
[0066]并且，在波長可變干涉濾波器501上，設(shè)置有用于調(diào)整間隙Gl的距離(間隙尺寸)的靜電致動器56(間隙改變部)。該靜電致動器56具有設(shè)置于固定基板51的固定電極561、設(shè)置于可動基板52的可動電極562,通過各電極561、562相對向而構(gòu)成。這些固定電極561、可動電極562經(jīng)由電極間間隙G2相對向。在這里，這些電極561、562可以是分別直接設(shè)置于固定基板51以及可動基板52的基板表面的構(gòu)成，也可以是經(jīng)由其他膜部件設(shè)置的構(gòu)成。
[0067]并且，在本實施方式中，例示了間隙Gl被形成為比電極間間隙小的構(gòu)成，但是，例如也可以根據(jù)利用波長可變干涉濾波器501透過的波段，將間隙Gl形成得比電極間間隙G2大。
[0068]并且，在濾波器俯視觀察中，固定基板51的邊C1-C2與可動基板52的邊C1’_C2’相比向外側(cè)突出，構(gòu)成固定側(cè)電子部件安裝部514。并且，可動基板52的邊C3’ -C4’與固定基板51的邊C3-C4相比向外側(cè)突出，構(gòu)成可動側(cè)電子部件安裝部524。
[0069](固定基板的構(gòu)成)
[0070]如圖3所示，固定基板51設(shè)置于光學(xué)濾波器裝置500 (波長可變干涉濾波器501)中的光射入側(cè)。
[0071]在該固定基板51上，通過蝕刻形成電極配置槽511以及反射膜設(shè)置部512。
[0072]電極配置槽511在濾波器俯視觀察中形成以固定基板51的濾波器中心點O為中心的環(huán)狀。反射膜設(shè)置部512在上述俯視觀察中，從電極配置槽511的中心部向可動基板52側(cè)突出形成。該電極配置槽511的槽底面成為固定電極561所配置的電極設(shè)置面511A。并且，反射膜設(shè)置部512的突出前端面成為反射膜設(shè)置面512A。
[0073]并且，在固定基板51上，在從電極配置槽511至固定側(cè)電子部件安裝部514的區(qū)域、以及從電極配置槽511至邊C3-C4的區(qū)域設(shè)置有連接電極槽511B。并且，在本實施方式中，電極設(shè)置面511A、連接電極槽51IB的底部、以及固定側(cè)電子部件安裝部514的表面成為同一平面。
[0074]在電極設(shè)置面51IA上，設(shè)置有構(gòu)成靜電致動器56的固定電極561。更具體地說，固定電極561設(shè)置在電極設(shè)置面51IA中與后述的可動部521的可動電極562相對的區(qū)域。并且，也可以形成在固定電極561上層疊用于確保固定電極561以及可動電極562之間的絕緣性的絕緣膜的構(gòu)成。
[0075]并且，在固定基板51上，設(shè)置有連接于固定電極561的外周緣的固定連接電極563。該固定連接電極563從電極配置槽511遍及朝向固定側(cè)電子部件安裝部514的連接電極槽51IB、固定側(cè)電子部件安裝部514設(shè)置。該固定連接電極563在固定側(cè)電子部件安裝部514中構(gòu)成與后述的內(nèi)側(cè)端子部電連接的固定電極墊563P。
[0076]并且,在本實施方式中，不出在電極設(shè)置面511A上設(shè)置有一個固定電極561的構(gòu)成，但是，例如也可以形成設(shè)置有兩個電極的構(gòu)成(雙重電極構(gòu)成)等，該兩個電極形成以濾波器中心點O為中心的同心圓。此外，也可以形成以下構(gòu)成等:在固定反射膜54上設(shè)置有透明電極；或使用導(dǎo)電性的固定反射膜54，從該固定反射膜54至固定側(cè)電子部件安裝部514形成連接電極，在該情況下，作為固定電極561，對應(yīng)連接電極的位置而將一部分切除。
[0077]如上所述，反射膜設(shè)置部512在與電極配置槽511同軸上，形成直徑尺寸比電極配置槽511小的大致圓柱狀，具有該反射膜設(shè)置部512的與可動基板52相對的反射膜設(shè)置面512A。
[0078]如圖3所示，在該反射膜設(shè)置部512上，設(shè)置有固定反射膜54。作為該固定反射膜512，例如可以使用Ag等金屬膜或Ag合金等合金膜。這種金屬膜或者合金膜例如對于從可見光區(qū)域遍及近紅外區(qū)域的較寬波段具有較高的反射特性。因此，在波長可變干涉濾波器501中，通過改變反射膜54、55之間的間隙G1，能夠選擇從可見光區(qū)域遍及近紅外區(qū)域的較寬波段的光進(jìn)行射出。
[0079]并且，在本實施方式中，在分光測量裝置I中，為了能夠進(jìn)行從可見光區(qū)域至近紅外區(qū)域的分光測量，使用如上所述的反射膜54，但是，例如在由分光測量裝置I測量的對象波段較窄的情況下，也可以使用電介質(zhì)多層膜。此外，也可以使用在電介質(zhì)多層膜上層疊有金屬膜(或者合金膜)的反射膜、在金屬膜(或者合金膜)上層疊有電介質(zhì)多層膜的反射膜、將單層的折射層(T12或S12等)和金屬膜(或者合金膜)層疊的反射膜等。
[0080]并且，在固定基板51的與可動基板52相對的面中，沒有通過蝕刻形成電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及連接電極槽511B的面構(gòu)成第一接合部513。在該第一接合部513上設(shè)置有第一接合膜531,通過該第一接合膜531接合于設(shè)置在可動基板52上的第二接合膜532，如上所述，固定基板51以及可動基板52被接合。
[0081](可動基板的構(gòu)成)
[0082]可動基板52具有以濾波器中心點O為中心的圓形狀的可動部521、與可動部521同軸并保持可動部521的保持部522。
[0083]可動部521與保持部522相比，厚度尺寸形成得較大。該可動部521在濾波器俯視觀察中，形成至少比反射膜設(shè)置面512A的外周緣的直徑尺寸大的直徑尺寸。并且，在該可動部521上，設(shè)置有可動電極562以及可動反射膜55。
[0084]并且，與固定基板51同樣，在可動部521的與固定基板51相反側(cè)的面上，可以形成反射防止膜。這種反射防止膜能夠通過交替層疊低折射率膜以及高折射率膜而形成，能夠降低可動基板52的表面的可見光的反射率，增大透過率。
[0085]可動電極562經(jīng)由間隙G2與固定電極561相對,形成與固定電極561同一形狀的環(huán)狀。該可動電極562與固定電極561—起構(gòu)成靜電致動器56。并且,在可動基板52上設(shè)置有與可動電極562的外周緣連接的可動連接電極564。該可動連接電極564從可動部521，在與設(shè)置于固定基板51的邊C3-C4側(cè)的連接電極槽51IB相對的位置，遍及可動側(cè)電子部件安裝部524設(shè)置，在可動側(cè)電子部件安裝部524中，構(gòu)成與內(nèi)側(cè)端子部電連接的可動電極墊564P。
[0086]可動反射膜55在可動部521的可動面521A的中心部，與固定反射膜54經(jīng)由間隙Gl相對設(shè)置。作為該可動反射膜55，使用與上述固定反射膜54同一構(gòu)成的反射膜。
[0087]并且，在本實施方式中，如上所述，示出間隙G2比間隙Gl的尺寸大的例子，但是并不限定于此。例如，在使用紅外線或遠(yuǎn)紅外線作為測量對象光的情況下等，也可以根據(jù)測量對象光的波段，形成間隙Gl的尺寸比間隙G2的尺寸大的構(gòu)成。
[0088]保持部522是包圍可動部521的周圍的隔膜，厚度尺寸形成得比可動部521小。這種保持部522與可動部521相比易于彎曲，通過微小的靜電引力就能夠使可動部521向固定基板51側(cè)位移。此時，由于可動部521與保持部522相比厚度尺寸大，剛性變大，因此，即使在保持部522由于靜電引力被向固定基板側(cè)拉伸的情況下，也不會引起可動部521的形狀變化。因此，設(shè)置于可動部521的可動反射膜55也不會產(chǎn)生彎曲，能夠?qū)⒐潭ǚ瓷淠?4以及可動反射膜55總是維持在平行狀態(tài)。
[0089]并且，在本實施方式中，例示了隔膜狀的保持部522，但是并不限定于此，例如，也可以形成以濾波器中心點O為中心，設(shè)置以等角度間隔配置的梁狀的保持部的構(gòu)成等。
[0090]在可動基板52中，與第一接合部513相對的區(qū)域成為第二接合部523。在該第二接合部523上設(shè)置有第二接合膜532，如上所述，通過第一接合膜531接合于第二接合膜532，固定基板51以及可動基板52被接合。
[0091][波長可變干涉濾波器的光學(xué)特性]
[0092]接著，對如上所述的波長可變干涉濾波器501的光學(xué)特