11。由此，實(shí)現(xiàn)了噪音的降低。
[0138]在本實(shí)施方式中，帶通濾波器502由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成。這種電介質(zhì)多層膜通過蒸鍍法或?yàn)R射法能夠容易成膜，能夠使制造效率性提高。
[0139]在本實(shí)施方式中，帶通濾波器502中的非透過波段Rn的透過率為10%以下。因此，能夠抑制在非透過波段Rn透過的不需要的波長成分的光的光量，實(shí)現(xiàn)了光學(xué)濾波器裝直500的進(jìn)一步的提聞。
[0140]在本實(shí)施方式中，帶通濾波器502形成于波長可變干涉濾波器501的固定基板51。因此，能夠使波長可變干涉濾波器501和帶通濾波器502 —體化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)濾波器裝置500的薄型化。
[0141][第二實(shí)施方式]
[0142]接著，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0143]在上述第一實(shí)施方式中，示出在光學(xué)濾波器裝置500中設(shè)置一個(gè)帶通濾波器502的例子，但是在第二實(shí)施方式中，在光學(xué)濾波器裝置中設(shè)置多個(gè)帶通濾波器502這點(diǎn)與上述第一實(shí)施方式不同。
[0144]圖7是示出本實(shí)施方式中的光學(xué)濾波器裝置500Α的概略構(gòu)成的視圖。并且，在以后的實(shí)施方式的說明中，對(duì)于與上述第一實(shí)施方式同樣的構(gòu)成賦予相同的符號(hào)，并省略或者簡(jiǎn)略化其說明。
[0145]如圖7所示，本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置500Α具有波長可變干涉濾波器501、設(shè)置于該波長可變干涉濾波器501的固定基板51的多個(gè)帶通濾波器502。
[0146]這些帶通濾波器502分別具有同樣的光學(xué)特性(透過特性)。即，被形成為在固定基板51上層疊多個(gè)(圖7的例子中為三個(gè))由第一實(shí)施方式中所示的電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的帶通濾波器502。
[0147]如果設(shè)置多個(gè)帶通濾波器502，則具有將這些帶通濾波器502的透過率相乘的透過特性。即，在帶通濾波器502中，在非透過波段Rn中的透過率為10 %的情況下，通過使用三個(gè)帶通濾波器，則成為0.1 %的透過率，能夠使非透過波段Rn中的透過率接近O。因此，在本實(shí)施方式中，能夠更加可靠地截?cái)喾峭高^波段Rn中的不需要的波長成分的光，從而能夠使光學(xué)濾波器裝置500A的分辨率進(jìn)一步提高。
[0148][第三實(shí)施方式]
[0149]接著，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0150]圖8是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的光學(xué)濾波器裝置500B的概略構(gòu)成的截面圖。
[0151]如圖8所示，光學(xué)濾波器裝置500B具有框體610，該框體610具有基底620和蓋部630。通過將這些基底620以及蓋部630接合，在內(nèi)部形成收容空間，在該收容空間內(nèi)收納波長可變干涉濾波器501。
[0152](基底的構(gòu)成)
[0153]基底620例如由陶瓷等構(gòu)成。該基底620具有底座部621和側(cè)壁部622。
[0154]底座部621在濾波器俯視觀察中例如構(gòu)成具有矩形狀的外形的平板狀，筒狀的側(cè)壁部622從該底座部621的外周部向蓋部630立起。
[0155]底座部621具有在厚度方向上貫通的開口部623。在將波長可變干涉濾波器501收容于底座部621的狀態(tài)下，在從厚度方向觀看底座部621的俯視觀察中，該開口部623被設(shè)置成包括與反射膜54、55重疊的區(qū)域。
[0156]并且，在底座部621的與蓋部630相反側(cè)的面(基底外側(cè)面621B)上，接合有覆蓋開口部623的玻璃部件627。底座部621和玻璃部件627的接合，例如可以利用以下接合等:使用在高溫下將玻璃原料熔解、淬火后的作為玻璃碎片的玻璃粉(低熔點(diǎn)玻璃)的低熔點(diǎn)玻璃接合；利用環(huán)氧樹脂等的粘接等。在本實(shí)施方式中，收容空間內(nèi)在維持減壓的狀態(tài)下氣密地進(jìn)行維持。因此，底座部621以及玻璃部件627優(yōu)選使用低熔點(diǎn)玻璃進(jìn)行接合。
[0157]并且，在底座部621的與蓋部630相對(duì)的內(nèi)面(基底內(nèi)側(cè)面621A)上，設(shè)置有與波長可變干涉濾波器501的電極墊563P、564P連接的內(nèi)側(cè)端子部624。內(nèi)側(cè)端子部624與電極墊563P、564P例如通過FPC(Flexible Printed Circuits,柔性印刷電路)等被連接。
[0158]并且，底座部621在內(nèi)側(cè)端子部624所設(shè)置的位置形成有貫通孔625。內(nèi)側(cè)端子部624經(jīng)由貫通孔625連接于設(shè)置在底座部621的基底外側(cè)面62IB的外側(cè)電子部626。
[0159]側(cè)壁部622從底座部621的緣部立起，覆蓋載置于基底內(nèi)側(cè)面62IA的波長可變干涉濾波器501的周圍。側(cè)壁部622的與蓋部630相對(duì)的面(端面622A)例如形成與基底內(nèi)側(cè)面62IA平行的平坦面。
[0160]并且，在基底620上,例如使用粘接劑等固定材料固定波長可變干涉濾波器501。此時(shí)，波長可變干涉濾波器501可以固定于底座部621，也可以固定于側(cè)壁部622。作為設(shè)置固定材料的位置，可以是多個(gè)地方，但是，為了抑制固定材料的應(yīng)力傳遞至波長可變干涉濾波器501,優(yōu)選的是在一個(gè)地方固定波長可變干涉濾波器501。
[0161](蓋部的構(gòu)成)
[0162]蓋部630在俯視中具有矩形狀的外形，構(gòu)成本發(fā)明的透光部件。該蓋部例如由玻璃等構(gòu)成。
[0163]如圖8所示，蓋部630接合于基底620的側(cè)壁部622。作為接合方法，例如可以例示出使用低熔點(diǎn)玻璃的接合等。
[0164]并且，在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置500B中，帶通濾波器502設(shè)置于蓋部630。并且，在圖8中，示出設(shè)置于蓋部630的外表面(基底620的相反側(cè))的例子，但是并不限定于此，例如也可以形成設(shè)置于蓋部630的內(nèi)表面(基底620側(cè))的構(gòu)成等。
[0165]并且，如第二實(shí)施方式，也可以形成設(shè)置有多個(gè)帶通濾波器502的構(gòu)成。
[0166][第三實(shí)施方式的作用效果]
[0167]在如上述的本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置500B中，由于通過框體610保護(hù)波長可變干涉濾波器501，因此能夠防止由于外在因素所引起的波長可變干涉濾波器501的破損。并且，由于能夠抑制帶電粒子等向框體610內(nèi)的侵入，因此能夠抑制帶電粒子向反射膜54、55的附著以及由于帶電粒子產(chǎn)生庫侖力而反射膜54、55之間的間隙尺寸進(jìn)行變動(dòng)的不良情況。
[0168]并且，如上述實(shí)施方式，帶通濾波器502設(shè)置于框體610的蓋部630。在這種構(gòu)成中，例如能夠?qū)⑾惹笆褂玫牟ㄩL可變干涉濾波器(在固定基板51上沒有設(shè)置帶通濾波器502的波長可變干涉濾波器)直接收納在框體610內(nèi)，從而能夠使通用性提高。
[0169]并且，在本實(shí)施方式中，形成在收納于框體610內(nèi)的波長可變干涉濾波器501上沒有直接設(shè)置帶通濾波器502的構(gòu)成，但是并不限定于此。例如，如上述第一實(shí)施方式或第二實(shí)施方式，也可以形成帶通濾波器502不設(shè)置于蓋部630，而直接設(shè)置于波長可變干涉濾波器501的構(gòu)成等。此外，如第二實(shí)施方式，也可以形成多個(gè)帶通濾波器502設(shè)置于蓋部630的構(gòu)成等。此外，如第一實(shí)施方式或第二實(shí)施方式，也可以形成在波長可變干涉濾波器501上設(shè)置帶通濾波器502，并且在蓋部630上也設(shè)置相同光學(xué)特性的帶通濾波器502的構(gòu)成。在該情況下，與第二實(shí)施方式同樣，能夠進(jìn)一步降低對(duì)于非透過波段Rn的透過率。
[0170][其他實(shí)施方式]
[0171]并且，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，在能夠達(dá)成本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的變形、改良等包含在本發(fā)明內(nèi)。
[0172]在上述實(shí)施方式中，作為反射膜54、55，例示了波及能夠測(cè)量的波段較寬范圍的金屬膜、合金膜，但是，例如如上所述，也可以使用電介質(zhì)多層膜。
[0173]在上述實(shí)施方式中，透過波長可變干涉濾波器501的光的半幅值大致一定，基于為其平均值的半幅值A(chǔ)說明了帶通濾波器的光學(xué)特性，但是并不限定于此。
[0174]如上所述，對(duì)于透過波長可變干涉濾波器501的光，半幅值由于波長而進(jìn)行變化。因此，也可以對(duì)成為測(cè)量對(duì)象的各波長設(shè)定帶通濾波器502的透過波段Rp以及非透過波段Rn。例如，在波長可變干涉濾波器501中，在當(dāng)520nm的波長的光透過時(shí)半幅值為30nm并且當(dāng)400nm的波長的光透過時(shí)半幅值為40nm的情況下,也可以如下設(shè)定帶通濾波器502的光學(xué)特性。即，將以帶通濾波器502的波長520nm為中心的透過波段Rp52tl設(shè)定為3nm，將與該透過波段Rp5M相鄰的非透過波段Rn的帶寬設(shè)定為比半幅值30nm的一半(15nm)大的16nm。另一方面,將以帶通濾波器502的波長400nm為中心的透過波段Rp4tltl設(shè)定為4nm,將與該透過波段Rp_相鄰的非透過波段Rn的帶寬設(shè)定為比半幅值40nm的一半(20nm)大的22nm。
[0175]這樣，通過基于透過波長可變干涉濾波器501的各測(cè)量對(duì)象波長的半幅值，設(shè)定帶通濾波器502的光學(xué)特性，能夠從光學(xué)濾波器裝置500、500A、500B射出更高分辨率的光。
[0176]在上述實(shí)施方式中，示出帶通濾波器502中的透過波段的帶寬比從波長可變干涉濾波器501射出的光的半幅值小的例子，但是并不限定于此。例如，在作為反射膜使用電介質(zhì)多層膜的情況等從波長可變干涉濾波器射出的光的半幅值較小的情況下，也可以使透過波段的帶寬比半幅值大到不會(huì)對(duì)測(cè)量精度帶來影響的程度。但是，在該情況下，由于不需要的波長成分的光增大，因此優(yōu)選設(shè)定為半幅值以下。
[0177]并且，在上述實(shí)施方式中，示出將帶通濾波器502中的非透過波段的帶寬設(shè)定為半幅值的一半以上的例子，但是并不限定于此。例如，在實(shí)施詳細(xì)的比色處理的情況等，也可以通過取得的波長的取得間隔，將非透過波段的帶寬設(shè)定為半幅值的不到一半。但是，由于透過波長可變干涉濾波器的光中的不需要的光成分所含有的量增大，優(yōu)選設(shè)定為半幅值的一半以上。
[0178]在上述實(shí)施方式中，形成將帶通濾波器502設(shè)定在波長可變干涉濾波器501的光射入側(cè)的構(gòu)成，但是并不限定于此。例如，也可以形成在波長可變干涉濾波器501的光射出側(cè)設(shè)置帶通濾波器502的構(gòu)成等。
[0179]在上述實(shí)施方式中，示出帶通濾波器502由電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的例子，但是并不限定于此。例如，作為帶通濾波器502，也可以通過組合多種單層截?cái)酁V波器而形成設(shè)定多個(gè)透過波段的構(gòu)成。
[0180]在帶通濾波器502中，示出非透過波長中的透過率為10%以下的例子，但是并不限定于此。例如，如第二實(shí)施方式，