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陣列基板及其制造方法、顯示面板以及顯示裝置的制造方法_2

文檔序號(hào):8942167閱讀:來源:國(guó)知局
例提供的一種圖1a所示的陣列基板的B-B’向剖視示意圖;
[0045]圖5d為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的一種圖1a所示的陣列基板的A_A’向剖視示意圖;
[0046]圖6a為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中在襯底基板上形成的公共電極圖形的不意圖;
[0047]圖6b為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中形成柵極、掃描信號(hào)線及公共電極線主體部分的圖形的示意圖;
[0048]圖6c為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中形成有源層、源極以及漏極圖形的示意圖;
[0049]圖6d為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中在第一絕緣層中形成的過孔圖形的示意圖;
[0050]圖6e為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中在第一絕緣層上形成的像素電極圖形的示意圖;
[0051]圖6f為制作本發(fā)明另一實(shí)施例提供的陣列基板的方法中形成像素電極圖形后的示意圖;
[0052]附圖標(biāo)記:
[0053]100-襯底基板;101-像素單元;102-公共電極線;103-掃描信號(hào)線;104-像素單元組;105_數(shù)據(jù)信號(hào)線;106_公共電極;107_第一絕緣層;108_絕緣層過孔(對(duì)應(yīng)公共電極與公共電極線連接的過孔);109-柵極;110-柵極絕緣層;111-有源層;112-像素電極;113-第二絕緣層;114-源極;115-漏極;116-絕緣層;118-絕緣層過孔(對(duì)應(yīng)像素電極與漏極連接的過孔);1020_公共電極線主體部分;1120-連接線;121-像素電極層;1060_公共電極的狹縫;150_薄膜晶體管;1031_掃描信號(hào)線與連接線重疊的位置處。
【具體實(shí)施方式】
[0054]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于所描述的本發(fā)明的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無需創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0055]除非另外定義,本公開使用的技術(shù)術(shù)語或者科學(xué)術(shù)語應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性,而只是用來區(qū)分不同的組成部分。同樣,“一個(gè)”、“一”或者“該”等類似詞語也不表示數(shù)量限制,而是表示存在至少一個(gè)?!鞍ā被蛘摺鞍钡阮愃频脑~語意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件?!斑B接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機(jī)械的連接,而是可以包括電性的連接,不管是直接的還是間接的?!吧稀薄ⅰ跋隆?、“左”、“右”等僅用于表示相對(duì)位置關(guān)系,當(dāng)被描述對(duì)象的絕對(duì)位置改變后,則該相對(duì)位置關(guān)系也可能相應(yīng)地改變。
[0056]這里應(yīng)該理解的是,在本公開中,“同層”指的是采用同一成膜工藝形成用于形成特定圖形的膜層,然后利用同一掩模板通過一次構(gòu)圖工藝形成的層結(jié)構(gòu)。根據(jù)特定圖形的不同,一次構(gòu)圖工藝可能包括多次曝光、顯影或刻蝕工藝,而形成的層結(jié)構(gòu)中的特定圖形可以是連續(xù)的也可以是不連續(xù)的。不同構(gòu)圖工藝形成特定圖形還可能具有不同的厚度。
[0057]本發(fā)明至少一實(shí)施例提供一種陣列基板,如圖1a所示,包括襯底基板100、設(shè)置在襯底基板100上的沿行方向和列方向呈矩陣排列的多個(gè)像素單元101以及沿著列方向延伸的多條公共電極線102。以第2N+1列和第2N+2列像素單元101為一個(gè)像素單元組104,其中,N選自大于等于零的整數(shù)。例如,將多個(gè)像素單元以相鄰的兩列像素單元?jiǎng)澐譃橐粋€(gè)像素單元組,且各像素單元組之間的像素單元互不相同。
[0058]相鄰兩行像素單元101之間具有兩條掃描信號(hào)線103。例如,對(duì)應(yīng)于每行像素單元,在其列方向上的兩側(cè)分別設(shè)置一條掃描信號(hào)線103。同一像素單元組中的同行(屬于同一行)的兩個(gè)像素單元101連接到不同的掃描信號(hào)線103,掃描信號(hào)線103沿行方向延伸。例如,在每一行中的像素單元101分別連接到位于該行像素單元的列方向上的兩側(cè)的掃描信號(hào)線103。
[0059]需要說明的是,相鄰兩行像素單元之間具有兩條掃描信號(hào)線。例如是指任意相鄰的兩行像素單元之間均具有兩條掃描信號(hào)線。例如,是指第M+1行和第M+2行像素單元之間具有兩條掃描信號(hào)線,其中,M選自大于等于零的整數(shù)。
[0060]每個(gè)像素單元組104的兩列像素單元101之間具有一條數(shù)據(jù)信號(hào)線105,且每個(gè)像素單元組104共用位于該兩列像素單元101之間的數(shù)據(jù)信號(hào)線105,數(shù)據(jù)信號(hào)線105沿列方向延伸。例如,每條數(shù)據(jù)信號(hào)線105兩側(cè)的兩列像素單元為一個(gè)像素單元組104。
[0061]各公共電極線102位于相鄰兩個(gè)像素單元組104之間。
[0062]例如,如圖1a中,同一行像素單元中,相鄰像素單元組中的相鄰兩個(gè)像素單元101可以連接到相同的掃描信號(hào)線,亦可連接到不同的掃描信號(hào)線,如圖1b所示。
[0063]本發(fā)明各實(shí)施例中所述的像素單元例如是指子像素。每個(gè)子像素例如包括一條掃描信號(hào)線、一條數(shù)據(jù)信號(hào)線、一個(gè)像素電極和一個(gè)薄膜晶體管。相鄰的子像素可共用一條數(shù)據(jù)信號(hào)線。
[0064]本發(fā)明至少一實(shí)施例提供的陣列基板將沿著多個(gè)像素單元的行方向延伸(與掃描信號(hào)線平行)的公共電極線去除,只保留沿著多個(gè)像素單元的列方向延伸(與數(shù)據(jù)信號(hào)線平行)的多條公共電極線。由于沿著多個(gè)像素單元的行方向延伸(與掃描信號(hào)線平行)的公共電極線的去除,從而開口率大大提升。
[0065]本發(fā)明至少一實(shí)施例還提供一種陣列基板的制造方法,包括在襯底基板上形成沿行方向和列方向呈矩陣排列的多個(gè)像素單元以及沿著列方向延伸的多條公共電極線。相鄰兩行像素單元之間具有兩條掃描信號(hào)線,以第2N+1列和第2N+2列像素單元為一個(gè)像素單元組,其中,N選自大于等于零的整數(shù)。
[0066]同一像素單元組中的同行的兩個(gè)像素單元連接到不同的掃描信號(hào)線,掃描信號(hào)線沿行方向延伸;
[0067]每個(gè)像素單元組的兩列像素單元之間形成一條數(shù)據(jù)信號(hào)線,且每個(gè)像素單元組共用位于該兩列像素單元之間的數(shù)據(jù)信號(hào)線,數(shù)據(jù)信號(hào)線沿列方向延伸;
[0068]各公共電極線形成在相鄰兩個(gè)像素單元組之間。
[0069]例如,公共電極線可以通過沉積金屬薄膜、涂覆光刻膠、曝光顯影得到光刻膠圖形、刻蝕金屬薄膜等工藝形成。亦可采用其他方式形成。
[0070]例如,公共電極線可以由一層金屬薄膜單獨(dú)制作而成。也可以與陣列基板中通常的金屬線(例如掃描信號(hào)線、數(shù)據(jù)信號(hào)線等)同層設(shè)置。在某些位置處斷開的情況下,可以采用其他導(dǎo)電材料層搭接。
[0071]下面分別以公共電極線與掃描信號(hào)線或數(shù)據(jù)信號(hào)線同層設(shè)置為例進(jìn)行說明。
[0072]實(shí)施例1
[0073]本實(shí)施例提供一種陣列基板,如圖1a和圖2a所示,包括襯底基板100、設(shè)置在襯底基板100上的沿行方向和列方向呈矩陣排列的多個(gè)像素單元101以及沿著列方向延伸的多條公共電極線102。相鄰兩行像素單元101之間具有兩條掃描信號(hào)線103,以第2N+1列和第2N+2列像素單元101為一個(gè)像素單元組104 (請(qǐng)參見圖1a),其中,N選自大于等于零的整數(shù)。
[0074]同一像素單元組中的同行(屬于同一行)的兩個(gè)像素單元101連接到不同的掃描信號(hào)線103,掃描信號(hào)線103沿行方向延伸。
[0075]每個(gè)像素單元組104的兩列像素單元101之間具有一條數(shù)據(jù)信號(hào)線105,且每個(gè)像素單元組104共用位于該兩列像素單元101之間的數(shù)據(jù)信號(hào)線105,數(shù)據(jù)信號(hào)線105沿列方向延伸。
[0076]各公共電極線102位于相鄰兩個(gè)像素單元組104之間。各公共電極線102與數(shù)據(jù)信號(hào)線105同層設(shè)置。
[0077]例如,如圖1a和圖2a所示,每相鄰兩個(gè)像素單元組104之間具有一條公共電極線。以下各實(shí)施例可與此相同。
[0078]例如,如圖1a和圖2a所示,每個(gè)像素單元設(shè)置一個(gè)薄膜晶體管。以下各實(shí)施例可與此相同。
[0079]例如,行方向?yàn)樗椒较?,列方向垂直于行方向。行方向和列方向在一個(gè)平面內(nèi)。例如,行方向和列方向均為平行于紙面的方向。以下各實(shí)施例可與此相同。
[0080]例如,在本實(shí)施例的一個(gè)示
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