鏡25，設(shè)置有在垂直于工作臺(tái)5的方向上驅(qū)動(dòng)物鏡25的步進(jìn)馬達(dá)(脈沖馬達(dá))或者壓電致動(dòng)器等的馬達(dá)或致動(dòng)器。通過(guò)由這些驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)改變物鏡25的位置，從而可以調(diào)整試樣S的圖像取得中的攝像的焦點(diǎn)位置。
[0038]接著，對(duì)試樣保持構(gòu)件的插拔機(jī)構(gòu)30進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。
[0039]圖3是表示試樣保持構(gòu)件的插拔機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的平面圖。如同圖所示，試樣保持構(gòu)件的插拔機(jī)構(gòu)30包含上述的工作臺(tái)5、驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)5的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部31、對(duì)應(yīng)于插拔部7進(jìn)行配置的承載臺(tái)32、驅(qū)動(dòng)承載臺(tái)32的承載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部33 (參照?qǐng)D6)來(lái)構(gòu)成。
[0040]工作臺(tái)5具有從承載臺(tái)32側(cè)延伸到宏觀圖像取得裝置3以及微觀圖像取得裝置4側(cè)的第1滑塊、垂直于第1滑塊34地進(jìn)行延伸的第2滑塊35。工作臺(tái)5可滑動(dòng)地安裝于第2滑塊35，第2滑塊35可滑動(dòng)地安裝于第1滑塊34。
[0041]工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部31例如由步進(jìn)馬達(dá)(脈沖馬達(dá))或者壓電致動(dòng)器等的馬達(dá)或致動(dòng)器構(gòu)成，并且被分別設(shè)置于第1滑塊34以及第2滑塊35。工作臺(tái)5由被設(shè)置于第1滑塊34的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部31而沿著第1滑塊34在試樣保持構(gòu)件6的插拔位置(對(duì)應(yīng)于承載臺(tái)32的位置)P1與試樣S的圖像取得位置(對(duì)應(yīng)于宏觀圖像取得裝置3的位置或者對(duì)應(yīng)于微觀圖像取得裝置4的位置)P2之間進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。另外，工作臺(tái)5由被設(shè)置于第2滑塊35的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)部31而沿著第2滑塊35進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。沿著第2滑塊35的工作臺(tái)5的移動(dòng)例如被用于在微觀圖像取得裝置4中的相對(duì)于試樣S的物鏡25的視野位置的移動(dòng)。
[0042]圖4是表示工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)的放大平面圖。如同圖所示，在工作臺(tái)5，以不與第1滑塊34以及第2滑塊35相重疊的方式，設(shè)置有載置試樣保持構(gòu)件6的載置面41、對(duì)應(yīng)于試樣保持構(gòu)件6中的試樣S的保持區(qū)域而設(shè)置于載置面41的開(kāi)口部42。開(kāi)口部42以比試樣保持構(gòu)件6的寬度稍寬的寬度開(kāi)口成大致長(zhǎng)方形。
[0043]在工作臺(tái)5，厚度更大的厚壁部43被設(shè)置于開(kāi)口部42的長(zhǎng)邊方向的一端側(cè)(從插拔部7看，跟前側(cè))。厚壁部43以與試樣保持構(gòu)件6大致相等的寬度并以開(kāi)放開(kāi)口部42側(cè)的方式被切口成矩形，在該切口部分厚度與工作臺(tái)5的其他部分相同。由這樣的厚壁部43的切口，形成有支撐試樣保持構(gòu)件6的一端側(cè)并且對(duì)載置面41上的試樣保持構(gòu)件6的位置進(jìn)行定位的載置面定位部44。
[0044]載置面定位部44具有試樣保持構(gòu)件6的長(zhǎng)邊方向的一端側(cè)被碰到的壁部44a、分別沿著試樣保持構(gòu)件6中的寬度方向的兩邊緣部的壁部44a，44bο在這些壁部44a，44b的上部，均形成有從載置面41側(cè)看成為向末端變寬的錐部45。另外，在載置面定位部44，截面圓形的孔部46在工作臺(tái)5的厚度方向上貫通而設(shè)置于試樣保持構(gòu)件6的角部所來(lái)到的位置。由該孔部46，在試樣保持構(gòu)件6的長(zhǎng)邊方向的一端側(cè)被碰到的時(shí)候，能夠防止試樣保持構(gòu)件6的角部碰到壁部44a, 44b，并且能夠保護(hù)試樣保持構(gòu)件6。另一方面，在開(kāi)口部42的長(zhǎng)邊方向的另一端側(cè)(從插拔部7看，里側(cè))，開(kāi)口的寬度在對(duì)應(yīng)于試樣保持構(gòu)件6的角部的位置的里側(cè)，窄于試樣保持構(gòu)件6的寬度。由此，試樣保持構(gòu)件6的另一端側(cè)僅被角度支撐。
[0045]另外，在工作臺(tái)5，設(shè)置有保持被載置于載置面41的試樣保持構(gòu)件6的夾具部51。夾具部51具有支撐試樣保持構(gòu)件6的寬度方向的一端(長(zhǎng)邊)側(cè)的長(zhǎng)邊夾具52、支撐試樣保持構(gòu)件6的長(zhǎng)邊方向的另一端(短邊)側(cè)的短邊夾具53。
[0046]長(zhǎng)邊夾具52由旋轉(zhuǎn)軸54而在工作臺(tái)5上能夠旋轉(zhuǎn)地被設(shè)置并且由彈簧VI而例如在逆時(shí)針?lè)较蛏媳皇┝?。長(zhǎng)邊夾具52具有從旋轉(zhuǎn)軸54向載置面41側(cè)延伸的直線狀的第1部分55、夾著旋轉(zhuǎn)軸54并向與第1部分55相反側(cè)延伸的大致L字狀的第2部分56。在第2部分56的基端側(cè)，設(shè)置有向上方突出的銷(xiāo)57。短邊夾具53由旋轉(zhuǎn)軸58而在工作臺(tái)5上能夠旋轉(zhuǎn)地被設(shè)置并且由彈簧V2而例如在順時(shí)針?lè)较蛏媳皇┝?。短邊夾具53具有安裝有旋轉(zhuǎn)軸58的大致梯形的第1部分59、從第1部分59的前端以大致直角彎曲的直線狀的第2部分60。
[0047]在工作臺(tái)5位于試樣保持構(gòu)件6的插拔位置P1的情況下，在夾具部51中，后面所述的承載臺(tái)32的桿構(gòu)件76的前端部分76a (參照?qǐng)D5)抵接于銷(xiāo)57。由此，長(zhǎng)邊夾具52逆著彈簧VI的作用力而在順時(shí)針?lè)较蛏限D(zhuǎn)動(dòng)，由長(zhǎng)邊夾具52的第1部分55得到的試樣保持構(gòu)件6的長(zhǎng)邊的支撐被解除。另外，長(zhǎng)邊夾具52的第2部分56的基端側(cè)由長(zhǎng)邊夾具52的順時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)動(dòng)而抵接于短邊夾具53的第1部分59的基端側(cè)。由此，短邊夾具53逆著彈簧V2的作用力而在逆時(shí)針?lè)较蛏限D(zhuǎn)動(dòng)，由短邊夾具53的第2部分60得到的試樣保持構(gòu)件6的短邊的支撐被解除。
[0048]如果工作臺(tái)5從試樣保持構(gòu)件6的插拔位置P1朝著圖像取得位置P2移動(dòng)的話，則在夾具部51，桿構(gòu)件76與銷(xiāo)57的抵接狀態(tài)被解除。由此，長(zhǎng)邊夾具52由彈簧VI的作用力而在逆時(shí)針?lè)较蛏线M(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，試樣保持構(gòu)件6的長(zhǎng)邊被長(zhǎng)邊夾具52的第1部分55支撐。另外，長(zhǎng)邊夾具52的第2部分56的基端側(cè)與短邊夾具53的第1部分59的基端側(cè)的抵接狀態(tài)由長(zhǎng)邊夾具52的逆時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)動(dòng)而被解除。由此，短邊夾具53由彈簧V2的作用力而在順時(shí)針?lè)较蛏线M(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，試樣保持構(gòu)件6的短邊被短邊夾具53的第2部分60支撐。因此，載置面41上的試樣保持構(gòu)件6由夾具部51而以碰到載置面定位部44的狀態(tài)被保持。
[0049]還有，在試樣保持構(gòu)件6沒(méi)有被載置于載置面41的情況下，長(zhǎng)邊夾具52的逆時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)動(dòng)以及短邊夾具53的順時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)動(dòng)由限制銷(xiāo)61，62而在試樣保持構(gòu)件6的保持位置的附近被限制。另外，在工作臺(tái)5，配置有在長(zhǎng)邊夾具52由彈簧VI的作用力而在逆時(shí)針?lè)较蛏线M(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候接觸于長(zhǎng)邊夾具52的第2部分56的前端側(cè)的接觸傳感器63。由接觸傳感器63，能夠在圖像取得裝置1側(cè)把握試樣保持構(gòu)件6是否被夾具部51保持。
[0050]圖5是表示承載臺(tái)的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，圖6是其側(cè)面圖。如圖5以及圖6所示，承載臺(tái)32成為比工作臺(tái)5的開(kāi)口部42的寬度稍窄的寬度的大致長(zhǎng)方體形狀，對(duì)應(yīng)于插拔位置P1，在低于工作臺(tái)5的位置上被配置于第1滑塊34的旁邊。承載臺(tái)32被配置于被固定于裝置底部的一對(duì)板狀構(gòu)件71，71之間，承載臺(tái)32的里側(cè)的側(cè)部由旋轉(zhuǎn)軸72而被樞軸支承于板狀構(gòu)件71，71。承載臺(tái)32的上表面成為試樣保持構(gòu)件6的承載面73。在承載面73的里側(cè)的端部，設(shè)置有對(duì)承載面73上的試樣保持構(gòu)件6的位置進(jìn)行定位的承載面定位部74。
[0051]另外，在承載臺(tái)32的附近，如圖5所示，配置有固定有插拔部7的臺(tái)座75。臺(tái)座75以承載臺(tái)32露出的方式圍繞承載臺(tái)32的周?chē)辉O(shè)置。在臺(tái)座75的上表面，固定有構(gòu)成插拔部7的框體81 (參照?qǐng)D10)。另外，在臺(tái)座75中的第1滑塊34側(cè)的側(cè)部，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)上述的夾具部51的桿構(gòu)件76。桿構(gòu)件76從臺(tái)座75的側(cè)部朝著里側(cè)延伸，桿構(gòu)件76的前端部分76a朝著第1滑塊34側(cè)傾斜地彎曲到外側(cè)。該前端部分76a在工作臺(tái)5移動(dòng)到插拔位置P1的時(shí)候抵接于長(zhǎng)邊夾具52的銷(xiāo)57，使長(zhǎng)邊夾具52轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0052]承載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部33是圍繞旋轉(zhuǎn)軸72使承載臺(tái)32轉(zhuǎn)動(dòng)的部分。承載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部33由承載臺(tái)32側(cè)的銷(xiāo)77和工作臺(tái)5側(cè)的桿構(gòu)件78構(gòu)成。銷(xiāo)78以在承載臺(tái)32的側(cè)部突出到第1滑塊34側(cè)的方式被固定于承載臺(tái)32的旋轉(zhuǎn)軸72的下側(cè)的位置。另外，桿構(gòu)件78如圖4以及圖6所示被設(shè)置于工作臺(tái)5的底面?zhèn)取U構(gòu)件78沿著第1滑塊34延伸到工作臺(tái)5的底面?zhèn)?，桿構(gòu)件78的里側(cè)的端部78a成為朝著承載臺(tái)32側(cè)以大致直角彎曲的狀態(tài)。
[0053]如果工作臺(tái)5移動(dòng)到插拔位置P1的話，則如圖7所示，桿構(gòu)件78的端部78a卡合于銷(xiāo)77，銷(xiāo)77被壓入到跟前側(cè)。通過(guò)銷(xiāo)77被壓入，從而承載臺(tái)32圍繞著旋轉(zhuǎn)軸72進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，向以承載面73朝著承載面定位部74成為下傾的方式從工作臺(tái)5的開(kāi)口部42突出的進(jìn)入位置Q1移動(dòng)。在承載臺(tái)32位于進(jìn)入位置Q1的時(shí)候的相對(duì)于工作臺(tái)5的承載面73的傾斜角度被設(shè)定為例如20°?30°左右。如果工作臺(tái)5從插拔位置P1朝著圖像取得位置P2進(jìn)行移動(dòng)的話，則桿構(gòu)件78的端部78a與銷(xiāo)77的卡合被解除，承載臺(tái)32向承載面73從工作臺(tái)5的開(kāi)口部42進(jìn)行退避的退避位置Q2移動(dòng)。如果承載臺(tái)32位于退避位置Q2的話，則承載面73在工作臺(tái)5的下方成為大致水平狀態(tài)。
[0054]還有，在上述實(shí)施方式中，由承載臺(tái)32側(cè)的銷(xiāo)77和工作臺(tái)5側(cè)的桿構(gòu)件78構(gòu)成承載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部33，但是，承載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部并不限于這樣的方式。例如也可以將驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸72的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)置于承載臺(tái)32，由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)而與工作臺(tái)5的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)地在進(jìn)入位置Q1與退避位置Q2之間驅(qū)動(dòng)承載臺(tái)32。
[0055]接著，對(duì)上述的試樣保持構(gòu)件的插拔機(jī)構(gòu)30的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0056]在工作臺(tái)5位于圖像取得裝置P2側(cè)的情況下，如圖8所示，承載臺(tái)32成為位于退避位置Q2的狀態(tài)。另外，夾具部51成為位于在載置面41上保持試樣保持構(gòu)件6的位置的狀態(tài)。如果工作臺(tái)