5移動到插拔位置P1的話，則如圖9所示，承載臺驅(qū)動部33與工作臺5的移動聯(lián)動而使承載臺32移動到進入位置Q1，承載面73從工作臺5的開口部42突出。另夕卜，夾具部51與工作臺5的移動聯(lián)動而向解除試樣保持構(gòu)件6的保持的位置移動。
[0057]此時，如圖10所示，在插拔部7，在打開開閉蓋8的時候承載臺32從插拔口部82以傾斜的狀態(tài)露出。因此，如果試樣保持構(gòu)件6被插入到插拔口部82的話，則試樣保持構(gòu)件6被載置于承載臺32的承載面73，由自重或者手動而碰到承載面定位部74。另外，在拔出試樣保持構(gòu)件6的情況下，通過承載臺32向進入位置Q1移動從而試樣保持構(gòu)件6從工作臺5的載置面41被交接到承載面73，能夠由手動從插拔口部82拔出試樣保持構(gòu)件6。
[0058]在此，如圖11所示，插拔口部82以圍繞移動到進入位置Q1的狀態(tài)的承載臺32的承載面73以及側(cè)部的方式被設(shè)置于構(gòu)成插拔部7的框體81。構(gòu)成插拔口部82的上壁部82a以及側(cè)壁部82b，82b以從框體81的里側(cè)朝著跟前側(cè)插拔口部82成為向下擺變寬的方式成為錐部83。另外，在插拔口部82，在承載臺32移動到進入位置Q1的時候，大于試樣保持構(gòu)件6厚度的間隙W存在于承載面73與上壁部82a之間。由這樣的錐部83以及間隙W，能夠容易地實施向插拔口部82的試樣保持構(gòu)件6的插拔。
[0059]如果工作臺5在試樣保持構(gòu)件6碰到承載面定位部74的狀態(tài)下從插拔位置P1朝著圖像取得位置P2移動的話，則承載臺驅(qū)動部33與工作臺5的移動聯(lián)動而使承載臺32向退避位置Q2移動，承載面73從工作臺5的開口部42進行退避(參照圖8)。由此，試樣保持構(gòu)件6從承載面73被交接到工作臺5的載置面41。另外，夾具部51與工作臺5的移動聯(lián)動而向保持試樣保持構(gòu)件6的位置移動，試樣保持構(gòu)件6以碰到載置面定位部44的狀態(tài)被定位。
[0060]如以上所說明的那樣，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)30中，承載臺32在試樣保持構(gòu)件6的插拔位置P1由承載臺驅(qū)動部33而驅(qū)動到進入位置Q1，以承載面73朝著承載面定位部74成為下傾的方式從工作臺5的開口部42突出。由此，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)30中，即使不用手工操作來進行試樣保持構(gòu)件6的定位，也能夠僅將試樣保持構(gòu)件6放置于承載面73而利用承載面73的下傾并由承載面定位部74進行定位。在由承載面定位部74的定位之后，如果承載臺32由承載臺驅(qū)動部33而驅(qū)動到退避位置Q2的話，則試樣保持構(gòu)件6從承載臺32被交接到工作臺5，從而能夠簡單而且高精度地將試樣保持構(gòu)件6配置于工作臺5的載置面41。
[0061]另外，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)30中，承載臺驅(qū)動部33由承載臺32側(cè)的銷77和工作臺5側(cè)的桿構(gòu)件78構(gòu)成，與由工作臺驅(qū)動部31驅(qū)動的在插拔位置P1與圖像取得位置P2之間的工作臺5的移動聯(lián)動而切換承載臺32的進入位置Q1與退避位置Q2之間的移動。因此，能夠提尚插拔機構(gòu)30的便利性。
[0062]另外，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)30中，工作臺5具有對載置面41上的試樣保持構(gòu)件6的位置進行定位的載置面定位部44，載置面定位部44具有從載置面41看成為向末端變寬的錐部45。由載置面定位部44的形成，能夠簡單地實施工作臺5的載置面41上的定位。另外，通過載置面定位部44具有錐部45，從而能夠確保試樣保持構(gòu)件6在從承載臺32被交接到工作臺5的時候的交接容易度。還有，在載置面定位部44，為了防止壁部碰到試樣保持構(gòu)件6，也可以將與開口部42連續(xù)的切入部設(shè)置于工作臺5，但是，如圖4所示，會有通過由厚壁部43以及切口部分構(gòu)成載置面定位部44從而能夠容易地確保在形成工作臺5的時候的平面度等的優(yōu)點。
[0063]另外，工作臺5具有與由工作臺驅(qū)動部31驅(qū)動的從插拔位置P1到圖像取得位置P2的工作臺5的移動聯(lián)動而使試樣保持構(gòu)件6碰到載置面定位部44的夾具部51。由此，能夠抑制試樣保持構(gòu)件6在工作臺5向圖像取得位置P2進行移動的時候發(fā)生位置偏移。另外，夾具部51與由工作臺驅(qū)動部31驅(qū)動的從圖像取得位置P2到插拔位置P1的工作臺5的移動聯(lián)動而解除試樣保持構(gòu)件6的保持。因此，也不會阻礙插拔位置P1上的工作臺5與承載臺32之間的試樣保持構(gòu)件6的交接。
[0064]另外，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)30中，對應(yīng)于承載臺32而設(shè)置有試樣保持構(gòu)件6的插拔口部82，構(gòu)成插拔口部82的上壁部82a以及側(cè)壁部82b，82b具有從插拔口部82的里側(cè)朝著跟前側(cè)成為向下擺變寬的錐部83。另外，在插拔口部82，在承載臺32向進入位置Q1進行移動的時候，大于試樣保持構(gòu)件6厚度的間隙W存在于承載面73與構(gòu)成插拔口部82的上壁部82a之間。由此，能夠提高在通過插拔口部82而將試樣保持構(gòu)件6配置于承載臺32的時候或者在從承載臺32取出試樣保持構(gòu)件6的時候的操作性。
[0065]符號的說明
[0066]1…圖像取得裝置、5…工作臺、6…試樣保持構(gòu)件、11，21…光源、12，22…攝像裝置、30…試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)、31...工作臺驅(qū)動部、32...承載臺、33...承載臺驅(qū)動部、41…載置面、42...開口部、44...載置面定位部、45...錐部、51…夾具部、73...承載面、74...承載面定位部、82...插拔口部、82a…上壁部(壁部)、82b…側(cè)壁部(壁部)、83…錐部、P1...插拔位置、P2…圖像取得位置、Q1…進入位置、Q2…退避位置、S...試樣、W…間隙。
【主權(quán)項】
1.一種試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 是用于取得試樣的圖像的圖像取得裝置的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)， 具備: 工作臺，具有載置所述試樣保持構(gòu)件的載置面和對應(yīng)于所述試樣保持構(gòu)件中的所述試樣的保持區(qū)域而設(shè)置于所述載置面的開口部； 工作臺驅(qū)動部，在所述試樣保持構(gòu)件的插拔位置與所述試樣的圖像取得位置之間驅(qū)動所述工作臺； 承載臺，被配置于所述插拔位置，具有所述試樣保持構(gòu)件的承載面和對所述承載面上的所述試樣保持構(gòu)件的位置進行定位的承載面定位部； 承載臺驅(qū)動部，在以所述承載面朝著所述承載面定位部成為下傾的方式從所述開口部突出的進入位置與所述承載面從所述開口部退避的退避位置之間驅(qū)動所述承載臺。2.如權(quán)利要求1所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 所述承載臺驅(qū)動部與由所述工作臺驅(qū)動部驅(qū)動的從所述圖像取得位置向所述插拔位置的所述工作臺的移動聯(lián)動而將所述承載臺驅(qū)動到所述進入位置。3.如權(quán)利要求1或者2所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 所述工作臺進一步具有對所述載置面上的所述試樣保持構(gòu)件的位置進行定位的載置面定位部， 所述載置面定位部具有從所述載置面看時成為向末端變寬的錐部。4.如權(quán)利要求3所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 所述工作臺進一步具有與由所述工作臺驅(qū)動部驅(qū)動的從所述插拔位置向所述圖像取得位置的所述工作臺的移動聯(lián)動而使所述試樣保持構(gòu)件碰到所述載置面定位部的夾具部。5.如權(quán)利要求1?4中的任意一項所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 對應(yīng)于所述承載臺而設(shè)置有所述試樣保持構(gòu)件的插拔口部， 構(gòu)成所述插拔口部的壁部具有從所述插拔口部的里側(cè)朝著跟前側(cè)成為向下擺變寬的錐部。6.如權(quán)利要求5所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)，其特征在于: 在所述承載臺移動到所述進入位置的時候，比所述試樣保持構(gòu)件厚度大的間隙存在于所述承載面與構(gòu)成所述插拔口部的壁部之間。7.一種圖像取得裝置，其特征在于: 具備: 權(quán)利要求1?6中的任意一項所述的試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)； 光源，在所述工作臺移動到所述圖像取得位置的時候，通過所述開口部而將光照射于所述試樣保持構(gòu)件中的所述試樣的保持區(qū)域；以及 攝像裝置，對由所述光源形成的所述試樣的光學(xué)圖像進行攝像。
【專利摘要】試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)(30)中，在試樣保持構(gòu)件(6)的插拔位置(P1)，承載臺(32)由承載臺驅(qū)動部(33)而向進入位置(Q1)驅(qū)動，并以承載面(73)朝著承載面定位部(74)成為下傾的方式從工作臺(5)的開口部(42)突出。由此，在試樣保持構(gòu)件的插拔機構(gòu)(30)中，即使不用手工操作來進行試樣保持構(gòu)件(6)的定位，也能夠僅將試樣保持構(gòu)件(6)放置于承載面(73)而利用承載面(73)的下傾并由承載面定位部(74)進行定位。在由承載面定位部(74)的定位之后，如果承載臺(32)由承載臺驅(qū)動部(33)而驅(qū)動到退避位置(Q2)的話，則試樣保持構(gòu)件(6)從承載臺(32)被交接到工作臺(5)，從而能夠簡單而且高精度地將試樣保持構(gòu)件(6)配置于工作臺(5)的載置面(41)。
【IPC分類】G02B21/26
【公開號】CN105283793
【申請?zhí)枴緾N201480033129
【發(fā)明人】鈴木泰基, 渡邊知志
【申請人】浜松光子學(xué)株式會社
【公開日】2016年1月27日
【申請日】2014年3月25日
【公告號】EP3009873A1, US20160124204, WO2014199696A1