用于普通圓柱三維共形內(nèi)襯的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本公開涉及基于內(nèi)襯的存儲與分配系統(tǒng)。具體地說，本公開涉及用于傳統(tǒng)、普通圓 柱狀外包裝的三維內(nèi)襯，由此內(nèi)襯構(gòu)造為與外包裝的內(nèi)部的尺寸與形狀基本上共形。更具 體地說，本公開涉及用于此普通圓柱三維共形內(nèi)襯的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 多種制造處理都要求使用諸如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、漿液、清洗制劑、摻雜劑、 無機物、有機物、金屬有機物和生物溶液、藥品、以及放射性化學制品的超純液體。此應(yīng)用要 求使在超純液體中的顆粒的數(shù)量與尺寸最小化。特別地，由于超純液體被用于微電子制造 處理的多個方面，因此半導(dǎo)體制造商已經(jīng)建立了用于處理化學制品與化學操作裝置的嚴格 的顆粒濃度規(guī)格。需要此規(guī)格，因為在制造處理期間使用的液體含有高等級的顆粒、氣泡、 金屬和其它少量污染物，顆粒、氣泡等可以沉積在硅的固體表面上。這可能繼而導(dǎo)致產(chǎn)品故 障以及降低的質(zhì)量與可靠性。
[0003] 因此，此超純液體的存儲、傳送、以及分配需要能夠提供用于保持的液體的充分保 護的容器。當分配時，可折疊基于內(nèi)襯的容器，諸如由ATMI公司銷售的NOWPak?:分配系 統(tǒng)，能夠通過與直接到容器中的液體相反地將氣體或流體加壓在內(nèi)襯上來減小此空氣-液 體界面。然而，壓力分配傳統(tǒng)上不用于一些基于內(nèi)襯的系統(tǒng)。例如，包括筒式或罐式外包裝 的基于內(nèi)襯的系統(tǒng)通常經(jīng)由泵分配來分配內(nèi)襯的內(nèi)容物。泵分配系統(tǒng)可能是不利的，因為 它們可能非常昂貴并且易于出故障。
[0004] 因此，存在對于用于傳統(tǒng)普通圓柱狀外包裝的三維內(nèi)襯的需要，由此該內(nèi)襯構(gòu)造 為與外包裝的內(nèi)部的尺寸和形狀基本上共形，并且所述內(nèi)襯，盡管不旨在它們僅有的使用， 可以適于壓力分配應(yīng)用。存在對于用于此普通圓柱三維共形內(nèi)襯的有利的制造方法的特定 需要，并且更具體地說，存在對于用于鄰接本公開的此內(nèi)襯的多個部分的有利的制造方法 的特定需要，諸如，用于鄰接管狀本體部分、包括配件的頂部部分、以及底部部分，鄰接的部 分限定用于保持材料的閉合的內(nèi)部。再進一步地，存在對于用于形成與外包裝的內(nèi)部基本 上共形的普通圓柱三維內(nèi)襯的有利的處理的需要，其具有利用大體上圓形或周邊焊縫密封 到本體部分的頂部部分與底部部分、居中地定位在內(nèi)襯的頂部部分上的配件，并且其能夠 滿足高標準的清潔性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 在一個實施方式中，本公開涉及用于制造內(nèi)襯的方法。該方法可以包括在周邊邊 緣附近基本上均勻地伸展管狀內(nèi)襯本體以及沿著伸展的頂部周邊邊緣焊接層部分。
[0006] 在另一個實施方式中，本公開涉及用于制造內(nèi)襯的方法。此方法可以包括：在頂部 周邊邊緣附近基本上均勻地伸展所述管狀本體并且沿著伸展的頂部周邊邊緣焊接頂部內(nèi) 襯層部分，頂部內(nèi)襯層部分具有焊接到其上的配件；以及在底部周邊邊緣附近基本上均勻 地伸展管狀本體并且沿著伸展的底部周邊邊緣焊接底部內(nèi)襯層部分。
[0007] 在又一個實施方式中，本公開涉及用于制造內(nèi)襯的方法。此方法可以包括：形成具 有頂部周邊邊緣、底部周邊邊緣、以及從頂部周邊邊緣延伸到底部周邊邊緣的焊縫的管狀 本體部分；在頂部周邊邊緣附近伸展管狀本體并且沿著伸展的頂部周邊邊緣焊接頂部內(nèi)襯 層部分，頂部內(nèi)襯層部分具有焊接到其上的配件；以及在底部周邊邊緣附近伸展管狀本體 并且沿著伸展的底部周邊邊緣焊接底部內(nèi)襯層部分。可以通過接觸中的每個部分的內(nèi)部濕 潤表面實現(xiàn)管狀本體部分與頂部內(nèi)襯層部分之間的焊接。類似地，通過接觸中的每個部分 的內(nèi)部濕潤表面實現(xiàn)管狀本體部分與底部內(nèi)襯層部分之間的焊接。可以由焊接在一起以形 成管狀本體的兩層形成管狀本體部分，管由此狀本體部分具有從頂部周邊邊緣延伸到底部 周邊邊緣的兩個焊縫。
[0008] 在又一個實施方式中，本公開涉及通過以下處理制成的內(nèi)襯：形成具有頂部周邊 邊緣、底部周邊邊緣、以及從頂部周邊邊緣延伸到底部周邊邊緣的焊縫的管狀本體部分；在 頂部周邊邊緣附近伸展管狀本體并且沿著伸展的頂部周邊邊緣焊接頂部內(nèi)襯層部分，頂部 內(nèi)襯層部分具有焊接到其上的配件；以及在底部周邊邊緣附近伸展管狀本體并且沿著伸展 的底部周邊邊緣焊接底部內(nèi)襯層部分。
[0009] 盡管公開了多個實施方式，但是對于本領(lǐng)域中的技術(shù)人員來說，根據(jù)下面示出并 且描述本發(fā)明的示例性實施方式的詳細描述，使本公開的此外其它實施方式將會變得顯而 易見。如將會意識到，在全部不偏離本發(fā)明的精神與范圍的情況下能夠在多個不同方面中 修改本公開的多種實施方式。因此，附圖與詳細描述被視為實質(zhì)上是描述性的而不是限定 性的。
【附圖說明】
[0010] 盡管以權(quán)利要求結(jié)尾的說明書具體地指出并且清楚地請求保護視被為形成本公 開的多個實施方式的主題，但是相信通過下面結(jié)合附圖的描述將會更好地理解本發(fā)明，在 附圖中：
[0011] 圖1是根據(jù)本公開的實施方式的基于內(nèi)襯系統(tǒng)的局部橫截面等軸測視圖。
[0012] 圖2是根據(jù)本公開的實施方式的用于內(nèi)襯、的膜組成的示意圖。
[0013] 圖3是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的內(nèi)襯的等軸測視圖。
[0014] 圖4是根據(jù)本公開的實施方式的用于制造內(nèi)襯的方法的流程圖。
[0015] 圖5A和圖5B是根據(jù)本公開的實施方式的內(nèi)襯的多個部分的示意圖。
[0016] 圖6是根據(jù)本公開的實施方式的用于在制造內(nèi)襯的方法中使用的密封裝置的側(cè) 視橫截面視圖。
[0017] 圖7是根據(jù)本公開的實施方式在準備周邊邊緣以便焊接的密封表面上方伸展的 內(nèi)襯的管狀本體部分的周邊邊緣的橫截面視圖。
[0018] 圖8A-圖8C是根據(jù)本公開的實施方式的與伸展裝置聯(lián)接的內(nèi)襯的管狀本體部分 的側(cè)視橫截面視圖。
[0019] 圖9A是根據(jù)本公開的實施方式的示出了處于未伸展位置處的板的伸展件的俯視 圖。
[0020] 圖9B是根據(jù)本公開的實施方式的示出了處于伸展位置處的板的伸展件的俯視 圖。
[0021] 圖10包括根據(jù)本公開的另一個實施方式的伸展裝置的多個示意性描述。
【具體實施方式】
[0022] 本公開涉及用于傳統(tǒng)普通圓柱狀外包裝的新穎與有利的三維內(nèi)襯，由此內(nèi)襯構(gòu)造 為與外包裝的內(nèi)部的尺寸與形狀基本上共形。具體地說，本公開涉及用于此普通圓柱三維 共形內(nèi)襯的新穎且有利的制造方法。更具體地說，本公開涉及用于使本公開的此內(nèi)襯的多 個部分毗連的新穎且有利的制造方法，諸如用于使管狀本體部分、包括配件的頂部部分、以 及底部部分毗連，峨連的部分限定用于保持材料的封閉的內(nèi)部。更進一步地，本公開涉及新 穎且有利地處理以便形成與外包裝的內(nèi)部基本上共形的普通圓柱三維內(nèi)襯，其具有利用大 體上圓形或周邊焊縫密封到本體部分的頂部部分與底部部分、居中地定位在內(nèi)襯的頂部部 分上的配件，并且其能夠滿足高標準的清潔性。
[0023] 盡管不限于此內(nèi)襯，但是在一些實施方式中，本發(fā)明的普通圓柱三維共形內(nèi)襯可 以是根據(jù)在2011年12月9日提交的標題為"用于在壓力分配系統(tǒng)中使用的普通圓柱狀內(nèi) 襯以及制造內(nèi)襯的方法"的國際PCT申請PCT/US2011/064141中公開的這些的內(nèi)襯，其內(nèi)容 通過引用的方式整體包含在這里。此內(nèi)襯的三維共形形狀和/或包括此內(nèi)襯（包括使用的 材料和/或內(nèi)襯的厚度）的膜的性能可以有利地向內(nèi)襯提供期望的特性，包括但不限于：增 加的可分配性；折痕氣體、針孔和/或焊縫撕裂的減小或消除；和/或在內(nèi)襯配件上的載荷 與應(yīng)力的減小。由于本公開的內(nèi)襯的實施方式可以被用于存儲、運輸、和/或分配超純、和 /或相對昂貴、并且在一些情形中極其昂貴的材料，如上所述的優(yōu)點可以提供優(yōu)于用于普通 圓柱狀外包裝的傳統(tǒng)內(nèi)襯的顯著優(yōu)點。
[0024] 例如，此內(nèi)襯的使用可以包括但不限于，傳送與分配諸如光致抗蝕劑、抗凹凸劑、 清潔溶劑、TARC/BARC (頂面抗反射涂層/底面抗反射涂層）超純化學制品和/或材料，用 于如例如電子制造、半導(dǎo)體制造以及平板顯示器制造的此工業(yè)中使用的低重量酮和/或銅 化學制品。其它用途可以包括但不限于傳送與分配酸、溶劑、基質(zhì)、漿液、清潔制劑、摻雜劑、 無機物、有機物、金屬有機物、TE0S、以及生物溶液、藥品、以及放射性化學制品。然而，此內(nèi) 襯可以進一步用于其它工業(yè)中并且用于傳送與分配其它產(chǎn)品，諸如但不限于涂料、粘結(jié)劑、 軟飲料、食用油、農(nóng)用化學品、健康及口腔衛(wèi)生用品和化妝用品等。本領(lǐng)域中的技術(shù)人員應(yīng) 該認識到此基于內(nèi)襯的系統(tǒng)以及制造內(nèi)襯的處理的優(yōu)點，并且由此將認識到用于多個行業(yè) 以及用于多種產(chǎn)品的傳送與分配的內(nèi)襯的適配性。
[0025] 通常來說，如圖1中示出的，此基于內(nèi)襯的系統(tǒng)100可以包括外包裝102與內(nèi)襯 104。在一些實施方式中，外包裝102可以是具有能夠容納內(nèi)襯104的中空內(nèi)部的普通圓 柱狀。在一些實施方式中，本公開的內(nèi)襯104可以構(gòu)造為在使用中與現(xiàn)有的外包裝和/或 分配系統(tǒng)相容。即，在一些實施方式中，外包裝102可以包括諸如用于存儲和/或分配材 料的現(xiàn)有筒式或罐式的傳統(tǒng)外包裝，包括具有比圖1中示出的口孔更大口孔的外包裝以及 其中全部蓋子或頂部打開的外包裝、例如，和/或符合用于危險材料的UN DOT認證的外包 裝。外包裝102可以設(shè)計為具有任何適當?shù)男螤詈?或尺寸；然而，在一些實施方式中，外 包裝102可以具有任何適當尺寸（包括任何適當?shù)闹苓吅?或高度）的大體圓柱形或桶狀 形狀。在一些實施方式中，例如，外包裝102可以包括已知的19L、40L、200L尺寸的或者在 IL與1000L之間的大體上任何尺寸的筒式或罐式。外包裝102可以包括任何適當?shù)拇篌w 剛性材料，例如，但不限于，金屬、玻璃、木材、塑料、合成物、褶皺材料、紙板、或者任何其它 適當材料或者材料的組合。外包裝102還可以包括閉合件和/或連接組件，其可以包括例 如，配件保持件106、閉合件108、和/或運輸蓋110。在使用現(xiàn)有的或已知外包裝102