本發(fā)明涉及一種適于精加工用的研磨墊，用于在硅裸晶片(siliconbarewafer)、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等中形成良好的鏡面。

背景技術(shù)：
目前，研磨墊如下制造，即，將由合成纖維和合成橡膠等構(gòu)成的無紡布或編織布作為基材，在其上面涂布聚氨酯類溶液，通過濕式凝固法將聚氨酯類溶液凝固，形成具有連續(xù)氣孔的多孔層的表皮層，根據(jù)需要將該表皮層的表面磨削并除去，由此制備(參見專利文獻(xiàn)1)。在上述研磨墊中，磨削后的研磨墊表皮僅由聚氨酯的多孔層形成，構(gòu)成基材的纖維不在表面出現(xiàn)。上述研磨墊已經(jīng)被廣泛地用作液晶玻璃、玻璃圓盤、光掩模、硅晶圓及CCD保護(hù)玻璃等的電子部件用表面精密研磨的研磨墊。作為用于進(jìn)行精密研磨的研磨墊，要求表面多孔質(zhì)部的開口直徑的偏移精度及平坦度(表面的凹凸)的精度。但是，近年來隨著精密研磨面的測(cè)定儀器的發(fā)展，用戶對(duì)品質(zhì)的要求變高，越來越需要能進(jìn)行更高精度的精密研磨的研磨墊。作為上述現(xiàn)有的研磨墊，已知如下得到的研磨墊，在由平均纖維直徑為14μm的聚酯短纖維構(gòu)成的經(jīng)過針刺得到的無紡布中含浸聚氨酯彈性體溶液，在水中進(jìn)行濕式凝固后，水洗干燥，然后進(jìn)行磨光，在得到的基材上涂布聚氨酯溶液后，進(jìn)行濕式凝固，由此得到研磨墊(參見專利文獻(xiàn)1)。但是，對(duì)于上述技術(shù)的研磨墊來說，減少研磨時(shí)被鏡面研磨面的劃痕·顆粒等缺陷、并且增加被鏡面研磨面的處理片數(shù)是十分困難的。另外，還公開了一種附銀樣的片狀物，其由基材和由聚氨酯形成的銀面層構(gòu)成，所述基材在由平均單纖維纖度為0.001dtex以上、0.5dtex以下的極細(xì)纖維構(gòu)成的無紡布中含有聚氨酯(參見專利文獻(xiàn)2)。上述方案中，作為用途之一，可以舉出研磨墊等工業(yè)用材料，但所公開的附銀樣的片狀物的研磨表面層沒有開口，厚度不均勻，因此無法適用于研磨墊，難以減少研磨時(shí)被鏡面研磨面的劃痕·顆粒等缺陷、且難以增加被鏡面研磨面的處理片數(shù)。專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-335979號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開2009-228179號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
因此，鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的背景，本發(fā)明的目的在于提供一種適于精加工用的研磨墊，所述研磨墊是用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等中形成良好鏡面的精加工研磨墊，在研磨時(shí)被鏡面研磨面的劃痕·顆粒等缺陷少，而且被鏡面研磨面的處理片數(shù)多。本發(fā)明解決了上述課題，本發(fā)明的研磨墊的特征在于，所述研磨墊是在研磨墊用基材上層合利用濕式凝固法得到的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層而形成的，所述研磨墊用基材是在由平均單纖維直徑為3.0μm以上、且8.0μm以下的極細(xì)纖維束形成的無紡布中含浸聚氨酯類彈性體得到的，所述聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材為20質(zhì)量％以上、且50質(zhì)量％以下，所述多孔質(zhì)聚氨酯層在其表面上具有平均開口直徑為10μm以上、且90μm以下的開口，所述研磨墊的壓縮彈性模量為0.17MPa以上、且0.32MPa以下根據(jù)本發(fā)明的研磨墊的優(yōu)選方案，上述極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為3.5μm以上、且6.0μm以下。根據(jù)本發(fā)明的研磨墊的優(yōu)選方案，上述聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材的含量為20質(zhì)量％以上、且30質(zhì)量％以下。根據(jù)本發(fā)明的研磨墊的優(yōu)選方案，在上述無紡布內(nèi)含有丁腈橡膠類彈性體。根據(jù)本發(fā)明的研磨墊的優(yōu)選方案，構(gòu)成上述無紡布的極細(xì)纖維的平均單纖維直徑CV值為10％以下。根據(jù)本發(fā)明，能夠得到一種適于精加工用的研磨墊，用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等中形成良好的鏡面，研磨時(shí)被鏡面研磨面的劃痕·顆粒等缺陷少，并且能夠增加被鏡面研磨面的處理片數(shù)。附圖說明[圖1]圖1為替代附圖的照片，舉例說明構(gòu)成本發(fā)明的研磨墊的多孔質(zhì)聚氨酯層表面的開口狀態(tài)。具體實(shí)施方式本發(fā)明的研磨墊為如下研磨墊，所述研磨墊是在研磨墊用基材上層合利用濕式凝固法得到的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層而形成的，所述研磨墊用基材是在由平均單纖維直徑為3.0μm以上、且8.0μm以下的極細(xì)纖維束形成的無紡布中含浸聚氨酯類彈性體得到的，所述聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材為20質(zhì)量％以上、且50質(zhì)量％以下，該多孔質(zhì)聚氨酯層在其表面上具有平均開口直徑為10μm以上、且90μm以下的開口。作為形成本發(fā)明中使用的極細(xì)纖維(束)的聚合物，可以舉出例如聚酯、聚酰胺、聚烯烴及聚苯硫醚(PPS)等。對(duì)于以聚酯或聚酰胺為代表的縮聚類聚合物來說，大多數(shù)熔點(diǎn)高，耐熱性優(yōu)異，優(yōu)選使用。作為聚酯的具體例，可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯及聚對(duì)苯二甲酸丙二醇酯等。另外，作為聚酰胺的具體例，可以舉出尼龍6、尼龍66及尼龍12等。另外，在構(gòu)成極細(xì)纖維(束)的聚合物中，可以共聚其他成分，也可以含有粒子、阻燃劑及抗靜電劑等添加劑。重要的是構(gòu)成極細(xì)纖維束的極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為3.0μm以上、且8.0μm以下。通過使平均單纖維直徑為8.0μm以下，可以減少被鏡面研磨面的劃痕·顆粒等缺陷。作為其原因，推測(cè)是由于在本發(fā)明的研磨墊中在與研磨對(duì)象接觸的一側(cè)的面上層合多孔質(zhì)聚氨酯層，因此纖維與研磨對(duì)象不直接接觸，通過將構(gòu)成研磨墊用基材的纖維設(shè)為平均單纖維直徑為8.0μm以下，在用作研磨墊時(shí)可以使對(duì)研磨對(duì)象面施加的應(yīng)力均勻。另一方面，通過使平均單纖維直徑為3.0μm以上，可以增加被鏡面研磨面的處理片數(shù)。更優(yōu)選的極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為3.5μm以上、且6.0μm以下。另外，本發(fā)明中使用的極細(xì)纖維(束)的平均單纖維直徑CV優(yōu)選在0.1～10％的范圍內(nèi)。此處所謂極細(xì)纖維(束)的平均單纖維直徑CV，是指將極細(xì)纖維的單纖維直徑的標(biāo)準(zhǔn)偏差除以平均單纖維直徑得到的值以百分率(％)進(jìn)行表示所得到的值，該值越小表示單纖維直徑越均勻。本發(fā)明中，通過使平均單纖維直徑CV為10％以下，極細(xì)纖維的單纖維直徑變得均勻，保持起絨面的均勻性。平均單纖維直徑CV越低越優(yōu)選，實(shí)質(zhì)上為0.1以上。為了得到所期望的平均單纖維直徑CV，可以使用日本特公昭44-18369號(hào)公報(bào)等記載的下述方法：利用海島型復(fù)合用噴嘴，將海成分和島成分這兩種成分相互排列，進(jìn)行紡絲，形成高分子相互排列體的方式等。在上述方式中，以下方法是常用的：調(diào)節(jié)分散板使熔融聚合物均勻地分散，并且為了使復(fù)合單纖維中的極細(xì)纖維的纖維直徑均勻，使用調(diào)節(jié)噴嘴尺寸使其達(dá)到適當(dāng)?shù)膰娮毂趁鎵旱暮u型管狀噴嘴，進(jìn)行復(fù)合紡絲。作為極細(xì)纖維束的形態(tài)，極細(xì)纖維之間可以有少許分離，或者也可以部分結(jié)合，或者還可以凝集。此處所謂結(jié)合，是指由化學(xué)的反應(yīng)或物理的熔融粘接等而產(chǎn)生的，所謂凝集，是指由氫鍵等的分子間力而產(chǎn)生的。在本發(fā)明的研磨墊中使用的無紡布的纖維絡(luò)合體中，可以混合比上述定義的極細(xì)纖維粗的纖維。作為此處所謂粗的纖維的纖維直徑，優(yōu)選使用10μm至40μm，沒有特別限定。通過混合粗的纖維，可以加強(qiáng)研磨墊用基材的強(qiáng)度，而且可以提高緩沖性等特性。作為形成比上述極細(xì)纖維粗的纖維的聚合物，可以采用與構(gòu)成上述極細(xì)纖維的聚合物同樣的聚合物。作為比極細(xì)纖維粗的纖維相對(duì)于無紡布的混合量，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下、較優(yōu)選為30質(zhì)量％以下、更優(yōu)選為10質(zhì)量％以下，由此可以維持研磨墊用基材表面的平滑性。另外，從研磨性能的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選上述粗的纖維不從表面露出。在實(shí)施例的測(cè)定方法中，如后述那樣，在本發(fā)明中，在混合存在纖維直徑超過8.0μm的纖維的情況下，將該纖維作為不屬于極細(xì)纖維的纖維從平均纖維直徑的測(cè)定對(duì)象中排除。作為本發(fā)明的研磨墊中使用的纖維絡(luò)合體即無紡布，可以適當(dāng)采用以下無紡布：使用梳棉機(jī)及交叉鋪網(wǎng)機(jī)將短纖維形成層合纖維網(wǎng)后，實(shí)施針刺或噴水穿孔，由所得短纖維構(gòu)成的無紡布；利用紡粘法或熔噴法等得到的由長纖維構(gòu)成的無紡布；及由抄紙法得到的無紡布等。其中，由短纖維構(gòu)成的無紡布或紡粘型無紡布可以通過將后述的極細(xì)纖維束的形態(tài)進(jìn)行針刺處理而得到。此處所謂無紡布的厚度優(yōu)選在1.0mm以上、且4.0mm以下的范圍內(nèi)。另外，密度優(yōu)選在0.15g/cm3以上、且0.60g/cm3以下的范圍內(nèi)。對(duì)于本發(fā)明的研磨墊中使用的研磨墊用基材來說，必須在作為上述纖維絡(luò)合體的無紡布中含浸聚氨酯類彈性體，且所述聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材為20質(zhì)量％以上、且50質(zhì)量％以下。通過含有聚氨酯類彈性體，可以利用粘合劑效果防止極細(xì)纖維從研磨墊用基材上掉落，可以在起絨時(shí)形成均勻的絨頭。另外，通過含有聚氨酯類彈性體，可以賦予研磨墊用基材緩沖性，使用該研磨墊用基材的研磨墊的厚度均勻性優(yōu)異。作為聚氨酯類彈性體的例子，可以舉出聚氨酯或聚氨酯·聚脲彈性體等。作為聚氨酯類彈性體的多元醇成分，可以使用聚酯類、聚醚類及聚碳酸酯類的二醇、或它們的共聚物。另外，作為二異氰酸酯成分，可以使用芳香族二異氰酸酯、脂環(huán)式異氰酸酯及脂肪族類異氰酸酯等。聚氨酯類彈性體的重均分子量優(yōu)選為50,000～300,000。通過使重均分子量為50,000以上、較優(yōu)選為100,000以上、更優(yōu)選為150,000以上，可以保持研磨墊用基材的強(qiáng)度，而且可以防止極細(xì)纖維脫落。另外，通過使重均分子量為300,000以下、較優(yōu)選為250,000以下，可以抑制聚氨酯溶液的粘度增大，易于向極細(xì)纖維層含浸。在研磨墊用基材中，聚氨酯類彈性體的含量為20質(zhì)量％以上、且50質(zhì)量％以下。含量小于20質(zhì)量％時(shí)，良好的晶片的處理片數(shù)變少。另外，含量超過50質(zhì)量％時(shí)，劃痕·顆粒的缺陷變多。聚氨酯類彈性體的含量的優(yōu)選范圍為20質(zhì)量％以上、且40質(zhì)量％以下，較優(yōu)選的范圍為20質(zhì)量％以上、且30質(zhì)量％以下，更優(yōu)選的范圍為21質(zhì)量％以上、且28質(zhì)量％以下。作為對(duì)纖維絡(luò)合體即無紡布賦予上述聚氨酯類彈性體時(shí)使用的溶劑，可以優(yōu)選使用N，N’-二甲基甲酰胺或二甲基亞砜等。另外，作為聚氨酯類彈性體，也可以使用在水中以乳劑的形式分散的水性聚氨酯。在溶劑中溶解聚氨酯類彈性體得到聚氨酯類彈性體溶液，向該聚氨酯類彈性體溶液中浸漬纖維絡(luò)合體(無紡布)等，對(duì)纖維絡(luò)合體賦予聚氨酯類彈性體，之后進(jìn)行干燥，由此將聚氨酯類彈性體實(shí)質(zhì)性地凝固、固化。進(jìn)行干燥時(shí)，可以在不破壞纖維絡(luò)合體及聚氨酯類彈性體的性能的程度的溫度下進(jìn)行加熱。如上所述得到的研磨墊用基材可以使用砂紙或磨砂輥等進(jìn)行起絨處理。特別是通過使用砂紙，可以形成均勻且致密的絨頭。另外，可以根據(jù)需要在聚氨酯類彈性體中配合著色劑、抗氧化劑、抗靜電劑、分散劑、柔軟劑、凝固調(diào)節(jié)劑、阻燃劑、抗菌劑及防臭劑等添加劑。本發(fā)明使用的研磨墊用基材中，作為在對(duì)無紡布賦予上述聚氨酯類彈性體后用于進(jìn)一步防止掉毛的樹脂，可以附著其他彈性體。作為附著的其他彈性體，優(yōu)選使用上述聚氨酯、聚脲、聚氨酯·聚脲彈性體、聚丙烯酸、丙烯腈·丁二烯彈性體及苯乙烯·丁二烯彈性體等，特別優(yōu)選丁腈橡膠(NBR)。作為附著的其他彈性體的附著量，相對(duì)于使用由極細(xì)纖維束形成的無紡布及聚氨酯類彈性體構(gòu)成的研磨墊用基材為0.5質(zhì)量％以上、且6.0質(zhì)量％以下，由此可以獲得充分的防止掉毛的功能。另外，通過使附著的其他彈性體的附著量為6.0質(zhì)量％以下，可以維持研磨墊用基材的壓縮特性。附著的其他彈性體的附著量的較優(yōu)選的范圍為1.0質(zhì)量％以上、且5.0質(zhì)量％以下。本發(fā)明的研磨墊中使用的研磨墊用基材的不包括后述加強(qiáng)層的部分的單位面積重量優(yōu)選為100g/m2以上、且600g/m2以下。通過使上述單位面積重量為100g/m2以上、較優(yōu)選為150g/m2以上，研磨墊用基材的形態(tài)穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異，可以抑制研磨加工時(shí)由研磨墊用基材的拉伸而引起的加工不勻及劃痕缺陷的發(fā)生。另一方面，通過使該單位面積重量為600g/m2以下、較優(yōu)選為300g/m2以下，研磨墊的操作性變得容易，另外可以適當(dāng)抑制研磨墊的緩沖性，抑制研磨加工時(shí)的擠壓壓力。另外，研磨墊用基材的不包括后述加強(qiáng)層的部分的厚度優(yōu)選為0.1mm以上、且10mm以下。通過使上述厚度為0.1mm以上、優(yōu)選為0.3mm以上，研磨墊用基材的形態(tài)穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異，可以抑制研磨加工時(shí)由研磨墊用基材厚度變形而導(dǎo)致的加工不勻、及劃痕缺陷的發(fā)生。另一方面，通過使研磨墊用基材的厚度為10mm以下、較優(yōu)選為5mm以下，可以使研磨加工時(shí)的擠壓壓力充分地傳播。另外，對(duì)于本發(fā)明的研磨墊中使用的研磨墊用基材，在層合有利用濕式凝固法得到的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層的面的另一個(gè)面上具有加強(qiáng)層，也為優(yōu)選方案。通過設(shè)置加強(qiáng)層，研磨墊的形態(tài)穩(wěn)定性·尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異，可以抑制加工不勻及劃痕缺陷的發(fā)生。關(guān)于進(jìn)行層合的方法，沒有特別限定，但優(yōu)選使用熱壓接法或火焰層合法?？梢圆捎迷诩訌?qiáng)層和片狀物之間設(shè)置粘合層的任何方法，作為粘合層，可以優(yōu)選使用聚氨酯、苯乙烯丁二烯橡膠(SBR)、丁腈橡膠(NBR)、聚氨基酸及丙烯酸類粘合劑等具有橡膠彈性的物質(zhì)?？紤]到成本和實(shí)用性時(shí)，優(yōu)選使用如NBR或SBR這樣的粘合劑。作為粘合劑的賦予方法，優(yōu)選使用以乳劑或膠乳狀態(tài)涂布在片狀物上的方法。作為加強(qiáng)層，可以采用織物、編織物、無紡布(包括紙)及膜狀物(塑料膜或金屬薄膜片材等)等。對(duì)于研磨墊使用的研磨墊用基材，對(duì)層合有利用濕式凝固法得到的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層的面的表面可以實(shí)施起絨處理，從而產(chǎn)生絨頭。接著，對(duì)制造本發(fā)明的研磨墊中使用的研磨墊用基材的方法進(jìn)行說明。作為得到由極細(xì)纖維束絡(luò)合而成的無紡布這樣的纖維絡(luò)合體的方法，優(yōu)選使用極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維。由極細(xì)纖維直接制造纖維絡(luò)合體是困難的，但是例如可以通過如下方法得到由極細(xì)纖維束絡(luò)合而成的纖維絡(luò)合體(無紡布)，即，從由海成分和島成分構(gòu)成的極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維制造纖維絡(luò)合體，從上述纖維絡(luò)合體中的極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維中除去海成分，產(chǎn)生由島成分構(gòu)成的極細(xì)纖維，由此得到上述纖維絡(luò)合體。作為極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維，可以采用海島型纖維、剝離型復(fù)合纖維等，所述海島型纖維將溶劑溶解性不同的2成分熱塑性樹脂作為海成分和島成分，使用溶劑等溶解除去海成分，由此將島成分作為極細(xì)纖維，所述剝離型復(fù)合纖維將2成分熱塑性樹脂呈放射狀或多層狀交替地配置于纖維截面，將各成分剝離分割，由此割纖成極細(xì)纖維。海島型纖維包括使用海島型復(fù)合用噴嘴將海成分和島成分這兩種成分相互排列進(jìn)行紡絲的海島型復(fù)合纖維、以及將海成分和島成分這兩種成分混合進(jìn)行紡絲的混合紡絲纖維等，從得到均勻纖度的極細(xì)纖維的方面考慮、以及從得到充分長度的極細(xì)纖維、還有利于片狀物的強(qiáng)度的方面考慮，優(yōu)選使用海島型復(fù)合纖維。作為海島型纖維的海成分，可以使用聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、將間苯二甲酸磺酸鈉和聚乙二醇等共聚得到的共聚聚酯、及聚乳酸等。海成分的溶解除去可以在賦予作為彈性聚合物的聚氨酯類彈性體之前、賦予聚氨酯類彈性體之后、或起絨處理后中的任意時(shí)刻進(jìn)行。作為得到本發(fā)明中使用的無紡布的方法，如上所述，可以采用通過針刺或噴水穿孔使纖維網(wǎng)絡(luò)合的方法、紡粘法、熔噴法及抄紙法等，其中，從成為上述那樣的極細(xì)纖維束的方案的方面考慮，優(yōu)選使用經(jīng)由針刺或噴水穿孔等處理的方法。在針刺處理所使用的針中，針刺(needlebarb)(缺口)的數(shù)量優(yōu)選為1～9根。通過使針刺為1根以上，可以有效地進(jìn)行纖維的絡(luò)合。另一方面，通過使針刺為9根以下，可以抑制纖維破壞。針刺的總深度優(yōu)選為0.04～0.09mm。通過使總深度為0.04mm以上，可以充分地掛住纖維束，因此可以有效地進(jìn)行纖維絡(luò)合。另一方面，通過使總深度為0.09mm以下，可以抑制纖維破壞。針刺的穿孔個(gè)數(shù)優(yōu)選為1000個(gè)/cm2以上、且4000個(gè)/cm2以下。通過使穿孔個(gè)數(shù)為1000個(gè)/cm2以上，可以得到致密性，能夠高精度地加工。另一方面，通過使穿孔個(gè)數(shù)為4000個(gè)/cm2以下，可以防止加工性惡化、纖維破壞及強(qiáng)度降低。穿孔個(gè)數(shù)較優(yōu)選的范圍為1500個(gè)/cm2以上、且3500個(gè)/cm2以下。另外，進(jìn)行噴水穿孔處理時(shí)，優(yōu)選水以柱狀流的狀態(tài)進(jìn)行。也可以在壓力1～60MPa下使水從直徑0.05～1.0mm的噴嘴中噴出。針刺處理或噴水穿孔處理后的由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布的表觀密度優(yōu)選為0.15g/cm3以上、且0.35g/cm3以下。通過使表觀密度為0.15g/cm3以上，研磨墊的形態(tài)穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異，可以抑制研磨加工時(shí)的加工不勻、及劃痕缺陷產(chǎn)生。另一方面，通過使表觀密度為0.35g/cm3以下，可以維持用于賦予聚氨酯類彈性體的充分的空間。如上所述得到的由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布，從致密化的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選通過干熱處理或濕熱處理、或通過其兩者使其收縮，進(jìn)一步進(jìn)行高密度化。另外，也可以通過壓延處理等，將由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布在厚度方向上壓縮。作為從極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維上溶解出易溶解性聚合物(海成分)的溶劑，如果海成分為聚乙烯或聚苯乙烯等聚烯烴，則可以使用甲苯或三氯乙烯等有機(jī)溶劑。另外，如果海成分為聚乳酸或共聚聚酯，則可以使用氫氧化鈉等堿水溶液。另外，極細(xì)纖維產(chǎn)生加工(脫海處理)可以通過將由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布浸漬在溶劑中，進(jìn)行窄液來進(jìn)行。另外，由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維產(chǎn)生極細(xì)纖維的加工中可以使用連續(xù)染色機(jī)、振蕩洗滌機(jī)型脫海機(jī)、噴射式染色機(jī)、繩狀染色機(jī)(wincedyeingmachine)及卷染機(jī)等公知的裝置。上述極細(xì)纖維產(chǎn)生加工可以在絨頭處理之前進(jìn)行。為了防止在研磨墊形成時(shí)掉毛，對(duì)于本發(fā)明的研磨墊用基材，可以在賦予上述聚氨酯類彈性體后、再賦予其他彈性體。作為防止掉毛的樹脂，可以使用上述聚氨酯、聚脲、聚氨酯·聚脲彈性體、聚丙烯酸、丙烯腈·丁二烯彈性體。研磨墊用基材的優(yōu)選厚度為0.6mm以上、且1.3mm以下。通過使厚度為0.6mm以上，可以均勻地研磨被研磨基板。另外，通過使厚度為1.3mm以下，可以抑制顆粒缺陷。另外，在本發(fā)明中，為了以少的彈性體賦予量有效地防止掉毛，及維持研磨墊用基材的壓縮特性，優(yōu)選方案為僅在研磨墊用基材的表層部分形成聚氨酯類彈性體層。作為僅在研磨墊用基材上的表層部分形成聚氨酯類彈性體層的方法，優(yōu)選將各種聚氨酯類彈性體形成水性乳劑等狀態(tài)，利用常用的涂布等方法對(duì)起絨后的研磨墊用基材賦予聚氨酯類彈性體后進(jìn)行干燥。其理由在于，通過干燥將涂布于研磨墊用基材上的水性聚氨酯乳劑在厚度方向上積極地移動(dòng)，由此可以將聚氨酯類彈性體更多地附著于研磨墊用基材的表層部分。本發(fā)明中的利用濕式凝固法形成的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層，具有厚數(shù)μm左右的表面層(皮層)，該表面層隨著聚氨酯樹脂的凝固再生，致密地形成有微多孔，在其內(nèi)部(表面層的內(nèi)側(cè))具有內(nèi)部層，所述內(nèi)部層形成有與皮層的微多孔相比平均孔徑大的大量的、優(yōu)選50μm～400μm左右的粗大孔。形成于皮層的微多孔直徑優(yōu)選為致密的、為10μm以上、且90μm以下，因此皮層的表面具有以表面粗糙度(Ra)計(jì)為數(shù)μm的平坦性?？梢岳蒙鲜銎颖砻娴募?xì)微的平坦性，對(duì)被研磨物即硅裸晶片、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等進(jìn)行精研磨加工。需要說明的是，由于專利文獻(xiàn)2的銀面的表面不存在皮層這樣的開口，所以難以如本發(fā)明的研磨墊那樣用于精研磨加工。本發(fā)明中使用的聚氨酯類彈性體，是指在末端具有多個(gè)活性氫的預(yù)聚物和由具有多個(gè)異氰酸酯基的化合物聚合得到的具有尿烷鍵或脲鍵的聚合物。在末端具有多個(gè)活性氫的預(yù)聚物可以根據(jù)主鏈骨架分為聚酯類、聚醚類、聚碳酸酯類及聚己內(nèi)酯類等預(yù)聚物。作為上述濕式凝固法中使用的有機(jī)溶劑，可以使用N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、四氫呋喃、二氧雜環(huán)己烷及N-甲基吡咯烷酮等具有極性的溶劑等。作為使上述聚氨酯類彈性體溶解的溶劑，特別優(yōu)選使用二甲基甲酰胺(DMF)。可以在上述聚氨酯類彈性體溶液中適當(dāng)配合其他樹脂，例如聚氯乙烯、聚酯樹脂、聚醚砜及聚砜等。另外，也可以根據(jù)需要在聚氨酯類彈性體溶液中添加以碳為代表的有機(jī)顏料、降低表面張力的表面活性劑及能賦予防水性的防水劑等。作為在研磨墊用基材上涂布上述聚氨酯類彈性體溶液的方法的例子，可以舉出輥涂機(jī)、刮刀涂布機(jī)、輥襯刮刀涂裝機(jī)(knifeoverrollcoater)及模具涂布機(jī)等。涂布聚氨酯類彈性體溶液后、在使多孔質(zhì)聚氨酯層形成的凝固浴中使用與DMF具有親和性、但聚氨酯不溶解的溶劑。通常優(yōu)選使用水或水和DMF的混合溶液。本發(fā)明中的多孔質(zhì)聚氨酯層的厚度優(yōu)選為300μm以上、且1200μm以，較優(yōu)選為350μm以上、且700μm以下。通過使厚度為300μm以上，可以均勻地研磨被研磨基板。另外，通過使厚度為1200μm以下，可以抑制顆粒缺陷。本發(fā)明的研磨墊的壓縮彈性模量是根據(jù)使用截面積為1cm2的壓頭從0gf/cm2加壓至50gf/cm2時(shí)的16gf/cm2和40gf/cm2的應(yīng)變率(相對(duì)于初期厚度的壓縮應(yīng)變量)算出的值。本發(fā)明的研磨墊中，壓縮彈性模量為0.17MPa以上且0.32MPa以下是十分重要的。通過適當(dāng)選擇多孔質(zhì)聚氨酯層的材料彈性模量和研磨墊用基材的壓縮彈性模量的組合，可以實(shí)現(xiàn)上述壓縮彈性模量。選擇材料彈性模量大的多孔質(zhì)聚氨酯時(shí)，研磨布的壓縮彈性模量變大，選擇材料彈性模量小的多孔質(zhì)聚氨酯時(shí)，研磨布的壓縮彈性模量變小。另外，存在如下傾向：選擇壓縮彈性模量大的研磨墊用基材時(shí)，研磨布的壓縮彈性模量變大，選擇壓縮彈性模量小的研磨墊用基材時(shí)，研磨布的壓縮彈性模量變小。因此，考慮到上述情況，優(yōu)選適當(dāng)選擇多孔質(zhì)聚氨酯層和研磨墊用基材的組合。壓縮彈性模量小于0.17MPa時(shí)，研磨時(shí)晶片的劃痕·顆粒的缺陷數(shù)變多。另外，壓縮彈性模量超過0.32MPa時(shí)，良好的晶片的處理片數(shù)變少。推測(cè)研磨墊的壓縮彈性模量對(duì)被研磨基板和研磨墊表面能否均勻地接觸產(chǎn)生影響。本發(fā)明的研磨墊中，多孔質(zhì)聚氨酯層的微多孔形成面通過磨削的方法對(duì)表層進(jìn)行磨削，在多孔質(zhì)聚氨酯層的表面形成開口，調(diào)節(jié)表面的開口直徑。表面的平均開口直徑為10μm以上、且90μm以下。表面的平均開口直徑小于10μm時(shí)，顆粒缺陷數(shù)變多。另外，表面的平均開口直徑超過90μm時(shí)，顆粒缺陷數(shù)也變多。較優(yōu)選的范圍為20μm以上、且75μm以下。圖1為替代附圖照片，舉例說明構(gòu)成本發(fā)明實(shí)施例8中得到的研磨墊的多孔質(zhì)聚氨酯層的表面開口狀態(tài)。如圖1所示，在多孔質(zhì)聚氨酯層的表面上明顯存在多孔質(zhì)的、獨(dú)立的、不規(guī)則的、且不定形的多個(gè)開口。開口的部分相對(duì)于全部表面的開口面積比率約為30～60％左右。在本發(fā)明中，作為對(duì)多孔質(zhì)聚氨酯層的微多孔形成面進(jìn)行磨削形成開口調(diào)節(jié)開口直徑的方法，可以舉出使用優(yōu)選#80～#400、較優(yōu)選#100～#180的砂紙進(jìn)行拋光研磨。通過使在拋光研磨中使用的砂紙為#80～#400，可以抑制顆粒缺陷。而且，除此之外，利用在金屬輥表面固定了金剛石磨料的金剛石上漿輥進(jìn)行拋光研磨，也優(yōu)選用作調(diào)節(jié)開口直徑的方法。表面的平均開口直徑如下求出，即，使用掃描電子顯微鏡(SEM)，以倍率50倍觀察研磨墊表面，使用圖像處理軟件“Winroof”進(jìn)行圖像處理，使開口部分變?yōu)楹?，以此方式進(jìn)行二值化，算出將各開口部分的面積視作正圓的面積時(shí)的直徑，求出其平均值。為了獲得穩(wěn)定的研磨特性，本發(fā)明的研磨墊中優(yōu)選在上層的多孔質(zhì)聚氨酯層的表面上形成格子狀槽、同心圓槽。本發(fā)明的研磨墊優(yōu)選用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等中形成良好的鏡面研磨面。實(shí)施例接著，根據(jù)實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明。不能解釋為本發(fā)明限定于這些實(shí)施例。研磨評(píng)價(jià)及各測(cè)定如下所述地進(jìn)行。[研磨評(píng)價(jià)]用雙面膠帶將研磨墊貼合在岡本工作機(jī)械制作所制研磨裝置(型號(hào)：SPP600)上，進(jìn)行尺寸調(diào)節(jié)直至直徑為610mm。作為被研磨體，使用完成了二次研磨(使用SUBA400墊片)的6英寸硅裸晶片，按照以下條件進(jìn)行研磨評(píng)價(jià)?！L筒旋轉(zhuǎn)：46rpm·晶片頭旋轉(zhuǎn)：49rpm·頭負(fù)荷：100g/cm2·漿料量：700ml/min(漿料：膠體二氧化硅漿料磨料濃度為1％)·研磨時(shí)間：15分鐘。[研磨墊的被鏡面研磨面的處理片數(shù)的推測(cè)]調(diào)試研磨墊后，在上述研磨評(píng)價(jià)條件下對(duì)初期缺陷數(shù)進(jìn)行評(píng)價(jià)后，在以下研磨條件下，對(duì)形成了1μm氧化膜的6英寸硅晶片進(jìn)行6小時(shí)的研磨(相當(dāng)于在研磨時(shí)間為15分鐘下進(jìn)行24片晶片處理)，在上述研磨評(píng)價(jià)條件下對(duì)完成了二次研磨(使用SUBA400墊片)的6英寸硅裸晶片進(jìn)行研磨評(píng)價(jià)缺陷數(shù)，重復(fù)該操作直至缺陷數(shù)變多?！L筒旋轉(zhuǎn)：46rpm·晶片頭旋轉(zhuǎn)：49rpm·頭負(fù)荷：100g/cm2·漿料量:700ml/min(漿料：膠體二氧化硅漿料磨料濃度為1％)。[劃痕·顆粒等的缺陷數(shù)]使用Topcon公司制廢料檢查裝置商品名“WM-3”，測(cè)定0.5μm以上的缺陷數(shù)(用2片晶片n＝2測(cè)定時(shí)的平均值)。[熔點(diǎn)]使用PerkinElmaer公司制DSC-7，在第二輪中將顯示聚合物的熔融的峰頂溫度作為聚合物的熔點(diǎn)。此時(shí)的升溫速度為16℃/分鐘，樣品量為10mg。[熔體流動(dòng)速率(MFR)]將試樣顆粒4～5g投入MFR計(jì)電爐的圓筒中，使用東洋精機(jī)制熔體指數(shù)測(cè)定儀(S101)，在負(fù)荷2160gf、溫度285℃的條件下，測(cè)定10分鐘擠出的樹脂的量(g/10分鐘)。重復(fù)同樣的測(cè)定3次，將平均值作為MFR。[極細(xì)纖維的平均單纖維直徑及平均單纖維直徑CV]使用掃描電子顯微鏡(SEMKeyence公司制VE-7800型)，以3000倍觀察垂直于研磨墊的含有極細(xì)纖維的厚度方向的截面，以μm單位、以有效數(shù)字為3位測(cè)定在30μm×30μm的視野內(nèi)隨機(jī)抽出的50根單纖維的直徑。其中，在3個(gè)位置進(jìn)行該操作，測(cè)定總計(jì)150根單纖維的直徑，將第3位有效數(shù)字四舍五入，以有效數(shù)字為2位算出平均值。在纖維直徑超過10μm的纖維混合存在的情況下，將該纖維作為不屬于極細(xì)纖維的纖維從平均纖維直徑的測(cè)定對(duì)象中排除。另外，極細(xì)纖維為異形截面的情況下，首先測(cè)定單纖維的截面積，算出將該截面視為圓形時(shí)的直徑，由此求出單纖維的直徑。算出以其作為母體的標(biāo)準(zhǔn)偏差值及平均值。將該標(biāo)準(zhǔn)偏差值除以該平均值，所得值用百分率(％)進(jìn)行表示，將該值作為平均單纖維直徑CV。[壓縮彈性模量的測(cè)定]使用KATOTECH公司制自動(dòng)化壓縮試驗(yàn)機(jī)(KESFB3-AUTO-A)，在以下條件下進(jìn)行測(cè)定。使用本機(jī)從0gf/cm2加壓至50gf/cm2時(shí)根據(jù)16gf/cm2(0.00157MPa)下的應(yīng)變率(ε16)和40gf/cm2(0.00392MPa)的應(yīng)變率(ε40)算出(5次測(cè)定的平均值)?！?yīng)變率：(初期厚度-規(guī)定壓力時(shí)的厚度)/初期厚度·壓縮彈性模量(MPa)：(0.00392-0.00157)/(ε40-ε16)·壓頭面積：1.0cm2·壓頭速度：0.02mm/sec·上限負(fù)荷：50gf/cm。[平均開口直徑的測(cè)定]表面的平均開口直徑如下測(cè)定：使用SEM以倍率為50倍觀察研磨墊表面，使用圖像處理軟件“Winroof”進(jìn)行圖像處理，使開口部分變黑，以此方式進(jìn)行二值化，算出將各開口部分的面積視為正圓的面積時(shí)的直徑，將其平均值作為平均開口直徑。[實(shí)施例1](研磨墊用基材)(海成分和島成分)使用熔點(diǎn)為260℃、且MFR為46.5的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)作為島成分，使用熔點(diǎn)為85℃、且MFR為117的聚苯乙烯作為海成分。(紡絲·拉伸)使用上述島成分和海成分，使用16島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，在紡絲溫度為285℃、島/海質(zhì)量比率為80/20、排出量為1.2g/分鐘·孔及紡絲速度為1100m/分鐘的條件下對(duì)復(fù)合纖維進(jìn)行熔融紡絲。接著，通過蒸汽拉伸，將其拉伸至2.8倍，使用壓入型卷曲機(jī)賦予卷曲，切割，得到復(fù)合纖維纖度為4.2dtex、纖維長為51mm的海島型復(fù)合纖維的原棉。(極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維無紡布)使用上述海島型復(fù)合纖維的原棉，經(jīng)過梳棉工序和交叉層疊成網(wǎng)工序形成層合纖維網(wǎng)。接著，使用植入了1根針刺總深為0.08mm的針的針刺機(jī)，在針深度為6mm、穿孔根數(shù)為3000根/cm2的條件下，對(duì)所得層合纖維網(wǎng)進(jìn)行針刺，制作單位面積重量為815g/m2、表觀密度為0.225g/cm3的由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布。(聚氨酯的含浸賦予)在95℃的溫度下對(duì)由上述極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布進(jìn)行熱水收縮處理，然后，賦予相對(duì)于纖維質(zhì)量為26質(zhì)量％的聚乙烯醇，之后進(jìn)行干燥，然后，使用三氯乙烯將海成分的聚苯乙烯溶解除去后，干燥，得到由極細(xì)纖維束形成的無紡布。對(duì)如上所述得到的由極細(xì)纖維束形成的無紡布賦予聚合物二醇由75質(zhì)量％聚醚類和25質(zhì)量％聚酯類形成的聚氨酯，使極細(xì)纖維和聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為22質(zhì)量％，在液溫35℃的30％DMF水溶液中使聚氨酯凝固，在約85℃的溫度的熱水中進(jìn)行處理，除去DMF及聚乙烯醇。之后，通過具有環(huán)形帶式刀的半裁機(jī)在厚度方向上切成兩半，得到片材基材。將所得片材基材的半裁面磨光磨削，使半裁面形成起絨。(防掉毛劑的賦予)對(duì)上述片材基材賦予丁腈橡膠(NBR)(日本Zeon公司制NipolLX511A)樹脂的8.5％溶液，使片材基材和NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.1質(zhì)量％，在170℃的溫度下進(jìn)行干燥，得到研磨墊用基材。所得研磨墊用基材的極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為4.4μm、平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為370g/m2、表觀密度為0.343g/cm3。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)將聚酯MDI(二苯基甲烷二異氰酸酯)聚氨酯樹脂25質(zhì)量份溶解于N，N-二甲基甲酰胺(DMF)100質(zhì)量份中。進(jìn)而向其中添加2質(zhì)量份的炭黑和2質(zhì)量份的疏水性活性劑，制備聚氨酯溶液。接著，使用刮刀涂布機(jī)在上述所得研磨墊用基材上涂布上述聚氨酯溶液，浸漬于水浴，使聚氨酯凝固再生，通過用水進(jìn)行清洗，除去聚氨酯中的DMF，之后干燥水分，制作在研磨墊用基材上形成有多孔質(zhì)聚氨酯層的片材。(拋光)使用#200的砂紙對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為21μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到聚氨酯層厚度為400μm、表觀密度為0.25g/cm3、壓縮彈性模量為0.23MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例2](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為25質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為4.4μm、平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為375g/m2、表觀密度為0.347g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)將聚酯MDI(二苯基甲烷二異氰酸酯)聚氨酯樹脂30質(zhì)量份溶解于N，N-二甲基甲酰胺(DMF)100質(zhì)量份。進(jìn)而，向其中添加2.5質(zhì)量份的炭黑和3質(zhì)量份的疏水性活性劑，制備聚氨酯溶液。接著，使用刮刀涂布機(jī)將上述聚氨酯溶液涂布在上述研磨墊用基材上，浸漬于水浴中，使聚氨酯凝固再生，通過用水進(jìn)行清洗，除去聚氨酯中的DMF，之后干燥水分，制作在研磨墊用基材上形成有多孔質(zhì)聚氨酯層的片材。(拋光)使用#100的砂紙對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為11μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到聚氨酯層厚度為450μm、表觀密度為0.29g/cm3、壓縮彈性模量為0.19MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例3](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為29質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為4.4μm、平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為379g/m2、表觀密度為0.351g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例2同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為30μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.17MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例4](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使用36島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為3.1μm，除此之外，與實(shí)施例2同樣地實(shí)施，制成纖維直徑CV值為5.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為370g/m2、表觀密度為0.343g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為35μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.19MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例5](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使用36島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為3.6μm，賦予聚氨酯使得研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為26質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成纖維直徑CV值為5.4％、厚度為1.08mm、單位面積重量為368g/m2、表觀密度為0.341g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為67μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.19MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例6](研磨墊用基材)除使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為5.3μm之外，與實(shí)施例2同樣地制成平均單纖維直徑CV值為5.5％、厚度為1.08mm、單位面積重量為373g/m2、表觀密度為0.345g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為72μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.25MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例7](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使用16島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為5.9μm，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.2質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例5同樣地制成平均單纖維直徑CV值為5.6％、厚度為1.08mm、單位面積重量為373g/m2、表觀密度為0.345g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為89μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.27MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例8](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使用16島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為6.2μm，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.3質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例5同樣地制成平均單纖維直徑CV值為5.8％、厚度為1.08mm、單位面積重量為372g/m2、表觀密度為0.344g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為56μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.28MPa的研磨墊。圖1給出構(gòu)成實(shí)施例8中得到的研磨墊的多孔質(zhì)聚氨酯層表面的開口狀態(tài)。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例9](研磨墊用基材)使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為7.5μm，賦予聚氨酯使極細(xì)纖維與聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為25質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為1.2質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為368g/m2、表觀密度為0.341g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為36μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.31MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例10](研磨用墊片基材)使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為7.9μm，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為4.5質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例9同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.1％、厚度為1.08mm、單位面積重量為374g/m2、表觀密度為0.346g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為32μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.32MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例11](研磨墊用基材)在紡絲工序中，調(diào)節(jié)排出量使紡絲速度為600m/分鐘，賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為25質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.7質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例9同樣地制成平均單纖維直徑CV值為11.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為374g/m2、表觀密度為0.346g/cm3的表面平均開口直徑被調(diào)節(jié)為21μm的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為21μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.31MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例12](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為38質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.1質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為378g/m2、表觀密度為0.350g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為70μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.31MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[實(shí)施例13](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為49質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.1質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為381g/m2、表觀密度為0.353g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為85μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.32MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期到研磨42小時(shí)后為止缺陷數(shù)少，晶片處理片數(shù)多，結(jié)果良好。[比較例1](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為2.8μm，除此之外，與實(shí)施例4同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.3％、厚度為1.08mm、單位面積重量為371g/m2、表觀密度為0.344g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為30μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.17MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，研磨30小時(shí)后缺陷數(shù)變多，晶片處理片數(shù)少，結(jié)果不良。[比較例2](研磨墊用基材)在紡絲工序中，除使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為8.5μm之外，與實(shí)施例7同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.5％、厚度為1.08mm、單位面積重量為365g/m2、表觀密度為0.338g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為35μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.30MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)變多，結(jié)果不良。[比較例3](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為18質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.2質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為362g/m2、表觀密度為0.335g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為67μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.31MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，研磨24小時(shí)后缺陷數(shù)變多，晶片處理片數(shù)少，結(jié)果不良。[比較例4](研磨墊用基材)賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為53質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.3質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為379g/m2、表觀密度為0.351g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為72μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.17MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)多，結(jié)果不良。[比較例5](研磨墊用基材)在紡絲工序中，使用36島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，使極細(xì)纖維的纖維直徑為3.1μm，賦予聚氨酯使極細(xì)纖維與聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為29質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例2同樣地制成纖維直徑CV值為5.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為390g/m2、表觀密度為0.361g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)將聚酯MDI(二苯基甲烷二異氰酸酯)聚氨酯樹脂25質(zhì)量份溶解于100質(zhì)量份DMF中。再向其中添加2質(zhì)量份的炭黑和2質(zhì)量份的疏水性活性劑，調(diào)節(jié)聚氨酯溶液。接著，使用刮刀涂布機(jī)將上述聚氨酯溶液涂布在上述研磨墊用基材上，浸漬于水浴使聚氨酯凝固再生，通過用水進(jìn)行清洗，除去聚氨酯中的DMF，之后干燥水分，制作具有微多孔形成面的凝固再生聚氨酯研磨墊。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為57μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到聚氨酯層厚度為400μm、表觀密度為0.25g/cm3、壓縮彈性模量為0.16MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)多，結(jié)果不良。[比較例6](研磨墊用基材)使極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為7.9μm，賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為21質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例9同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.1％、厚度為1.08mm、單位面積重量為354g/m2、表觀密度為0.328g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)將聚酯MDI(二苯基甲烷二異氰酸酯)聚氨酯樹脂25質(zhì)量份溶解于100質(zhì)量份DMF中。再向其中添加2質(zhì)量份的炭黑和2質(zhì)量份的疏水性活性劑，調(diào)節(jié)聚氨酯溶液。接著，使用刮刀涂布機(jī)將上述聚氨酯溶液涂布在上述研磨墊用基材上，浸漬于水浴使聚氨酯凝固再生，通過用水進(jìn)行清洗，除去聚氨酯中的DMF，之后干燥水分，制作具有微多孔形成面的凝固再生聚氨酯研磨墊。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為36μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到聚氨酯層厚度為400μm、表觀密度為0.25g/cm3、壓縮彈性模量為0.33MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，研磨18小時(shí)后缺陷數(shù)變多，晶片處理片數(shù)少，結(jié)果不良。[比較例7]根據(jù)專利文獻(xiàn)2的實(shí)施例1制成研磨墊。(研磨墊用基材)(原棉)(海成分和島成分)使用共聚了8mol％間苯二甲酸-5-磺酸鈉的PET作為海成分，使用PET作為島成分。(紡絲·拉伸)使用上述島成分和海成分，使用36島/孔的海島型復(fù)合噴嘴，在島/海質(zhì)量比率55/45的條件下，對(duì)復(fù)合纖維進(jìn)行熔融紡絲。接著，拉伸至2.8倍，使用壓入型卷曲機(jī)賦予卷曲，進(jìn)行切割，得到復(fù)合纖維纖度為2.8dtex、纖維長為51mm的海島型復(fù)合纖維的原棉。(極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維無紡布)使用上述海島型復(fù)合纖維的原棉，經(jīng)過梳棉工序和交叉層疊成網(wǎng)工序，形成層合纖維網(wǎng)。接著，使用針刺機(jī)對(duì)所得層合纖維網(wǎng)進(jìn)行針刺，制作由極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布。(聚氨酯的含浸賦予)在90℃的溫度下使由上述極細(xì)纖維產(chǎn)生型纖維形成的無紡布進(jìn)行2分鐘的熱水收縮處理，在100℃下干燥5分鐘。接著，含浸固態(tài)成分濃度25質(zhì)量％的自乳化型聚氨酯水分散液A，在干燥溫度120℃下進(jìn)行10分鐘的熱風(fēng)干燥，由此得到賦予了聚氨酯且使聚氨酯重量相對(duì)于無紡布中的島成分重量為30質(zhì)量％(島成分與聚氨酯的比率為77：23)的片材，。接著，將上述片材浸漬在已加熱至90℃的濃度為10g/L的氫氧化鈉水溶液中進(jìn)行30分鐘處理，得到除去了海島型纖維的海成分的脫海片材。用180目的砂紙將所得片材基材的半裁面進(jìn)行磨光磨削，使半裁面形成起絨。極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為2.2μm，平均單纖維直徑CV值為7.8％。(聚氨酯水分散液A：為使用聚(3-甲基戊烷碳酸酯)作為二醇、使用二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯作為異氰酸酯、使用1，6-己二胺作為擴(kuò)鏈劑、使用非離子類內(nèi)部乳化劑、且含有0.2質(zhì)量％硅氧烷的聚氨酯。)(多孔質(zhì)聚氨酯層的制作)在脫模紙(AR-130SG：AsahiRoll公司制商品名)上涂布經(jīng)過水性增粘劑增粘的自乳化型聚氨酯水分散液F(固態(tài)成分濃度30質(zhì)量％)，使以水分散液量計(jì)涂布量為80g/m2，進(jìn)行干燥后，涂布粘合層。粘合層在半干燥、粘著性殘留的狀態(tài)下一邊與研磨墊用基材的磨削面貼合一邊通過金屬輥之間。然后，在40～50℃的氣氛中進(jìn)行2日的熟化后，剝離脫模紙。(拋光)用#200的砂紙對(duì)上述片材的聚氨酯層的表面進(jìn)行拋光，結(jié)果得到表觀密度為0.48g/cm3、壓縮彈性模量為0.30MPa的研磨墊?；居^察不到研磨墊表面的開孔，平均開口直徑也小，為8μm。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)明顯多，不能適用于研磨墊。[比較例8](研磨墊用基材)在賦予聚氨酯前將聚乙烯醇溶解除去，之后，賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為25質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.5質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為382g/m2、表觀密度為0.354g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，使表面平均開口直徑為95μm，調(diào)節(jié)磨削量，由此得到壓縮彈性模量為0.19MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)多，結(jié)果不良。[比較例9](研磨墊用基材)在賦予聚氨酯前將聚乙烯醇溶解除去，之后，賦予聚氨酯使研磨墊用基材中的聚氨酯的固態(tài)成分質(zhì)量比為25質(zhì)量％，賦予NBR使片材基材與NBR的固態(tài)成分的質(zhì)量比為3.5質(zhì)量％，除此之外，與實(shí)施例1同樣地制成平均單纖維直徑CV值為6.2％、厚度為1.08mm、單位面積重量為382g/m2、表觀密度為0.354g/cm3的研磨墊用基材。(多孔質(zhì)聚氨酯層的形成)與實(shí)施例1同樣地在上述研磨墊用基材上形成多孔質(zhì)聚氨酯層，制作片材。(拋光)不對(duì)上述片材的多孔質(zhì)聚氨酯層側(cè)的表面進(jìn)行拋光，得到壓縮彈性模量為0.19MPa的研磨墊。所得研磨墊的評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示，從初期開始缺陷數(shù)多，結(jié)果不良。