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研磨墊的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12009051閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
研磨墊的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種研磨墊,其特征在于,所述研磨墊是在研磨墊用基材上層合利用濕式凝固法得到的以聚氨酯作為主要成分的多孔質(zhì)聚氨酯層而形成的,所述研磨墊用基材是在由平均單纖維直徑為4.4μm以上、且8.0μm以下的極細(xì)纖維束形成的無(wú)紡布中含浸聚氨酯類彈性體得到的,所述聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材為20質(zhì)量%以上、且50質(zhì)量%以下,所述多孔質(zhì)聚氨酯層在其表面上具有平均開口直徑為10μm以上、且90μm以下的開口,所述研磨墊的壓縮彈性模量為0.17MPa以上、且0.28MPa以下。2.如權(quán)利要求1所述的研磨墊,其特征在于,極細(xì)纖維的平均單纖維直徑為4.4μm以上、且6.0μm以下。3.如權(quán)利要求1或2所述的研磨墊,其特征在于,聚氨酯類彈性體相對(duì)于研磨墊用基材的含量為20質(zhì)量%以上、且30質(zhì)量%以下。4.如權(quán)利要求1或2所述的研磨墊,其特征在于,在無(wú)紡布內(nèi)含有丁腈橡膠類彈性體。5.如權(quán)利要求1或2所述的研磨墊,其特征在于,構(gòu)成無(wú)紡布的極細(xì)纖維的平均單纖維直徑CV值為10%以下。6.一種研磨墊用基材,其特征在于,用于權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的研磨墊。
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