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OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置的制作方法

文檔序號:12099279閱讀:369來源:國知局
OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置的制作方法

本發(fā)明屬于真空鍍膜技術領域,具體涉及一種OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置。



背景技術:

真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi),在真空條件下,將固體材料加熱蒸發(fā),蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當把一些加工好的基板材料放在其中時,蒸發(fā)出來的原子或分子就會吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法,一是蒸發(fā)鍍膜,一是濺射鍍膜。

采用真空方式蒸鍍有機薄膜,需要將有機物儲存在坩堝內(nèi),通過加熱使有機物蒸發(fā),但常常出現(xiàn)有機物凝固的情況出現(xiàn),影響蒸鍍效率和成膜質量,



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是解決上述問題,提供一種防止有機物凝固、提高成膜質量的OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置。

為解決上述技術問題,本發(fā)明的技術方案是:一種OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置,包括用于放置有機物的坩堝,坩堝通過坩堝固定裝置安裝在腔體底部,坩堝固定裝置穿設于腔體的底部;坩堝內(nèi)設有攪拌軸,攪拌軸的下端穿過坩堝固定裝置連接在腔體外部的旋轉機構上。

優(yōu)選地,所述攪拌軸上設有至少一個攪拌漿。

優(yōu)選地,所述攪拌軸和攪拌漿的材料相同,由鋁或鎢制成。

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明所提供的OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置,在坩堝內(nèi)安裝攪拌軸,將攪拌軸連接在真空腔體外部的旋轉機構上,為了防止有機物凝固,在等待蒸鍍的一段時間內(nèi),旋轉坩堝內(nèi)的攪拌軸,旋轉機構使攪拌軸在蒸鍍有機薄膜的過程中也一直保持旋轉,從而在基板上形成均勻厚度的有機膜。

附圖說明

圖1是本發(fā)明中有機薄膜蒸鍍裝置的結構示意圖;

圖2是本發(fā)明中攪拌軸和攪拌漿的示意圖。

附圖標記說明:40、坩堝;42、有機物;50、攪拌軸;52、攪拌漿;60、固定裝置;70、腔體;80、旋轉機構。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明做進一步的說明:

如圖1和圖2所示,本發(fā)明的OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置,包括用于蒸鍍有機薄膜的真空的腔體70以及用于放置有機物42的坩堝40,坩堝40通過坩堝固定裝置60安裝 在腔體70底部,坩堝固定裝置60穿設于腔體70的底部,從而坩堝40的一部分固定在腔體70內(nèi),剩下的部分固定在腔體70外;坩堝40內(nèi)設有攪拌軸50,攪拌軸50的下端穿過坩堝固定裝置60連接在腔體70外部的旋轉機構80上,當攪拌軸50旋轉時,坩堝固定裝置60是不旋轉的,這樣可以維持腔體70內(nèi)的真空狀態(tài),攪拌軸50上設有至少一個攪拌漿52;攪拌軸50和攪拌漿52的材料相同,由導熱率大的材料制成,從而可以把熱量均勻的散發(fā)在有機物42中,防止其凝固,具體的,攪拌軸50和攪拌漿52可以由鋁或鎢制成。

本發(fā)明所提供的有機薄膜蒸鍍裝置,為了防止有機物凝固,在等待蒸鍍的一段時間內(nèi),旋轉坩堝內(nèi)的攪拌軸,旋轉機構使攪拌軸在蒸鍍有機薄膜的過程中也一直保持旋轉,從而在基板上形成均勻厚度的有機膜。

本領域的普通技術人員將會意識到,這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理,應被理解為本發(fā)明的保護范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領域的普通技術人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術啟示做出各種不脫離本發(fā)明實質的其它各種具體變形和組合,這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。

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