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OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置的制作方法

文檔序號:12099279閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種OLED器件的有機薄膜蒸鍍裝置,其特征在于:包括用于放置有機物(42)的坩堝(40),坩堝(40)通過坩堝固定裝置(60)安裝在腔體(70)底部,坩堝固定裝置(60)穿設(shè)于腔體(70)的底部;坩堝(40)內(nèi)設(shè)有攪拌軸(50),攪拌軸(50)的下端穿過坩堝固定裝置(60)連接在腔體(70)外部的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(80)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機薄膜蒸鍍裝置,其特征在于:所述攪拌軸(50)上設(shè)有至少一個攪拌漿(52)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機薄膜蒸鍍裝置,其特征在于:所述攪拌軸(50)和攪拌漿(52)的材料相同,由鋁或鎢制成。

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