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OLED器件的有機(jī)薄膜蒸鍍裝置的制作方法

文檔序號(hào):12099279閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種OLED器件的有機(jī)薄膜蒸鍍裝置,包括用于放置有機(jī)物的坩堝,坩堝通過坩堝固定裝置安裝在腔體底部,坩堝固定裝置穿設(shè)于腔體的底部;坩堝內(nèi)設(shè)有攪拌軸,攪拌軸的下端穿過坩堝固定裝置連接在腔體外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明所提供的有機(jī)薄膜蒸鍍裝置,在坩堝內(nèi)安裝攪拌軸,將攪拌軸連接在真空腔體外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上,為了防止有機(jī)物凝固,在等待蒸鍍的一段時(shí)間內(nèi),旋轉(zhuǎn)坩堝內(nèi)的攪拌軸,旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使攪拌軸在蒸鍍有機(jī)薄膜的過程中也一直保持旋轉(zhuǎn),從而在基板上形成均勻厚度的有機(jī)膜。

技術(shù)研發(fā)人員:郎豐偉;田朝勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:四川虹視顯示技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201510573830
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.10
技術(shù)公布日:2017.03.22

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