技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明在于提供一種雜質(zhì)元素含量低，高純鎳錠的制備工藝，即一種半導(dǎo)體靶材用高純鎳錠的制備工藝，主要步驟是備料、裝爐、多次熔煉，即采用電子束爐熔煉，熔煉在維持爐膛真空度≤1.0×10?2pa時(shí)開始升溫熔煉，熔煉溫度控制在≥2130℃；控制熔煉速度≤20.1kg/h，充分融化電解鎳板；熔煉后形成的鎳錠在爐膛里冷卻6h～12h，出爐。本發(fā)明根據(jù)物料質(zhì)量的多少來選擇熔煉速度、溫度和時(shí)間等參數(shù)，在熔煉過程操控電子束的精準(zhǔn)分布，能最大效能控制金屬的純度和雜質(zhì)的揮發(fā)去除；高純金屬鎳質(zhì)量無氣孔，無夾雜，適合于靶材后續(xù)的利用加工。

技術(shù)研發(fā)人員：李明陽;韓偉東;劉軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寶雞一眾有色金屬材料有限公司
文檔號(hào)碼：201610812462
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.27
技術(shù)公布日：2017.02.15