技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于MOCVD的金屬有機(jī)源摻雜裝置，包括：恒溫電子加熱器；盛料鍋，設(shè)于恒溫電子加熱器內(nèi)，包括圓柱形不銹鋼鍋體及蓋板，所述鍋體上設(shè)置有進(jìn)氣接口和出氣接口；氬氣瓶，通過(guò)管路依次連接減壓閥、第一節(jié)流閥、軟管、進(jìn)氣接口；恒溫鋼管，與溫控器電路連接，所述出氣接口通過(guò)恒溫鋼管依次連接、流量計(jì)、第二節(jié)流閥、三通切換閥、鍍膜機(jī)沉積室；回收瓶，通過(guò)另一根恒溫鋼管連接三通切換閥。本發(fā)明還公開了一種用于MOCVD的有機(jī)源摻雜方法。本發(fā)明具有溫度控制、雜氣排出等功能；體積較小，不受有機(jī)源狀態(tài)限制，可適用于固體或液體，也適用于低沸點(diǎn)、極易揮發(fā)的前驅(qū)體；低成本輕量化；通入氣體流量穩(wěn)定、加料簡(jiǎn)便、無(wú)空氣污染。

技術(shù)研發(fā)人員：繩瑞達(dá);李烈軍;彭繼華;高吉祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華南理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710106314
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.27
技術(shù)公布日：2017.05.17