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n型CuO薄膜的制備方法、反型異質(zhì)結(jié)與流程

文檔序號(hào):12698630閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種n型CuO薄膜的制備方法,其特征在于,包括:

S)將銅靶材在工作氣體與反應(yīng)氣體的環(huán)境中進(jìn)行磁控濺射,在襯底上沉積得到n型CuO薄膜;所述反應(yīng)磁控濺射的濺射功率為40~60W。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述襯底的溫度為100℃~200℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述磁控濺射前先進(jìn)行預(yù)濺射,所述預(yù)濺射的功率為40~60W;所述預(yù)濺射的時(shí)間為15~20min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述磁控濺射的時(shí)間30~50min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述銅靶材與襯底的距離為5~8cm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述工作氣體為氬氣;所述工作氣體的流量為25~30sccm;所述反應(yīng)氣體為氧體;所述反應(yīng)氣體的流量為8~12sccm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟S)具體為:

將襯底放入磁控濺射室內(nèi),對(duì)磁控濺射室預(yù)抽真空,然后通入工作氣體與反應(yīng)氣體;加熱襯底,進(jìn)行預(yù)濺射后,再將襯底中心與銅靶材正對(duì),進(jìn)行磁控濺射,在襯底上沉積得到n型CuO薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述磁控濺射后,將襯底與沉積在襯底上的薄膜以在磁控濺射室內(nèi)以相同的環(huán)境保持20~40min,再自然冷卻至室溫,得到沉積在襯底上的n型CuO薄膜。

9.一種反型異質(zhì)結(jié),其特征在于,包括p型硅與設(shè)置在p型硅上的n型CuO薄膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的反型異質(zhì)結(jié),其特征在于,所述n型CuO薄膜為權(quán)利要求1~8任意一項(xiàng)所制備的n型CuO薄膜。

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