)禪接至臂支撐組件219及支撐支架222。
[0039] 為了調(diào)整處理腔室202中的氣流模式，線(xiàn)性致動(dòng)器214A-214C可在所述Z方向上W 所期望的量移動(dòng)排氣口閥214遠(yuǎn)離排氣口 213，W徑向地在排氣口閥314與閥座312之間在所 述Z方向上產(chǎn)生相同的開(kāi)口?？蛇x地，致動(dòng)器21加可在所述X-Y平面中W所期望的量線(xiàn)性調(diào) 整閥214的所述位置，W調(diào)整在所述X-Y平面中介于閥214與閥座212之間的開(kāi)口的所述尺 寸。致動(dòng)器21祀接著可繞軸R225旋轉(zhuǎn)閥214W調(diào)整在所述X-Y平面中介于閥214與閥座212之 間的所述開(kāi)口的徑向位置。（參見(jiàn)圖5A-5D在所述X和/或Y方向上的閥移動(dòng)及開(kāi)口的范例。） 所述產(chǎn)生的開(kāi)口可造成處理腔室202中的氣流模式的所期望的調(diào)整。控制器，例如，舉例而 言，控制器120,可禪接至多個(gè)致動(dòng)器215A-21祀并經(jīng)配置W驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)致動(dòng)器W在所期 望的X、Y和/或Z方向上移動(dòng)排氣口閥214。
[0040] 在可選的【具體實(shí)施方式】中，閥支撐機(jī)構(gòu)216可被定位于并禪接至在處理腔室202W 下和/或外部的排氣口閥214。在運(yùn)樣的【具體實(shí)施方式】中，閥支撐機(jī)構(gòu)216也可在處理腔室 202W下和/或外部。
[0041] 圖3A-3C示出了處理腔室氣流控制設(shè)備300的第二示例性【具體實(shí)施方式】。設(shè)備300 可包含處理腔室302(所述處理腔室中只有下殼體部分301L被示出）。處理腔室302可包含側(cè) 邊開(kāi)口 309,所述側(cè)邊開(kāi)口經(jīng)配置W接收狹縫閥或其它合適的密封構(gòu)件。處理腔室302也可 包含閥座312及氣體排氣口 313(圖3C)。閥座312可經(jīng)配置W接收排氣口閥W用于完全密封 氣體排氣口 313。
[0042] 設(shè)備300也可包含排氣口閥314、多個(gè)致動(dòng)器（所述致動(dòng)器中只有致動(dòng)器315A及 315B被示出于圖3C中）W及閥支撐機(jī)構(gòu)316。排氣口閥314可經(jīng)配置W密封排氣口 313且經(jīng)配 置W相對(duì)于排氣口 313在所述X、Y及Z方向上移動(dòng)W調(diào)整處理腔室302內(nèi)的氣流模式。所述多 個(gè)致動(dòng)器可包含多個(gè)線(xiàn)性致動(dòng)器(例如，致動(dòng)器315A及315B)，所述線(xiàn)性致動(dòng)器經(jīng)配置W在 所述Z方向上移動(dòng)排氣口閥314(圖3C)且可包含至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器(例如致動(dòng)器315A或一 個(gè)或多個(gè)其它致動(dòng)器），所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器經(jīng)配置W在所述X及Y方向上移動(dòng)排氣口閥314(圖 3B)。所述多個(gè)致動(dòng)器可包含任何合適數(shù)量的馬達(dá)和/或經(jīng)配置W提供如在此描述的線(xiàn)性和 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的裝置。
[0043] 閥支撐機(jī)構(gòu)316可包含多個(gè)連接器318A-318C及相應(yīng)的多個(gè)可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A-319C。所述多個(gè)可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A-319C每個(gè)可禪接至排氣口閥314并通過(guò)相應(yīng)的連接器 318A-318C禪接至所述所述多個(gè)線(xiàn)性致動(dòng)器(例如致動(dòng)器315A及315B)的相應(yīng)的一個(gè)?？尚?轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A可通過(guò)連接器318A或另一個(gè)合適的連接器禪接至所述至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器 (所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器可為，例如致動(dòng)器315A)。連接器318A-318C每個(gè)可為任何合適的機(jī)械構(gòu) 件，所述機(jī)械構(gòu)件禪接至所述多個(gè)致動(dòng)器且經(jīng)配置W從所述多個(gè)致動(dòng)器傳送線(xiàn)性和/或旋 轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A-319C，如在此所述。
[0044] 在某些【具體實(shí)施方式】中，S個(gè)致動(dòng)器(包含，例如致動(dòng)器315A及315B)可為線(xiàn)性致 動(dòng)器，所述線(xiàn)性致動(dòng)器禪接至相應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A-319C且經(jīng)配置W在所述Z方向上移 動(dòng)排氣口閥314(圖3C)。不同數(shù)量的線(xiàn)性致動(dòng)器可用在其它【具體實(shí)施方式】中，W在所述Z方 向上移動(dòng)排氣口閥314。
[0045] 在某些【具體實(shí)施方式】中，致動(dòng)器315A也可為旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器禪接至 可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A且經(jīng)配置W繞軸R325提供第一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A的第一臂 區(qū)段321A。所述第一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可為順時(shí)針和/或逆時(shí)針?lè)较颉？蛇x地，分離的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器(未 顯示)可禪接至可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319AW提供所述第一旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0046] 在某些【具體實(shí)施方式】中，致動(dòng)器315A或第二旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器(未顯示)可禪接至可旋轉(zhuǎn) 關(guān)節(jié)臂319A且經(jīng)配置W繞軸R326提供第二獨(dú)立旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A的第二臂區(qū) 段323A。所述第二旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可為順時(shí)針和/或逆時(shí)針?lè)较?。在某些【具體實(shí)施方式】中，可旋轉(zhuǎn) 關(guān)節(jié)臂319A在第一臂區(qū)段321A中可具有滑輪機(jī)構(gòu)，所述滑輪機(jī)構(gòu)配置于軸R325及軸R326之 間W繞軸R326驅(qū)動(dòng)第二臂區(qū)段323A的所述第二獨(dú)立旋轉(zhuǎn)。此滑輪機(jī)構(gòu)可類(lèi)似于W下連同圖 4C的臂419描述的所述滑輪機(jī)制而操作及配置。其它用于繞軸R325傳送旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至軸R326 的合適機(jī)構(gòu)可被使用。
[0047] 可旋轉(zhuǎn)臂319A繞軸R325和/或R326的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可繞可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319B與319C的可 旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)W與可旋轉(zhuǎn)臂319A從動(dòng)或推拉式關(guān)系驅(qū)動(dòng)所述可旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319B與319C，同時(shí)排 氣口閥314在各種X和/或Y方向上移動(dòng)。
[0048] 為了調(diào)整處理腔室302中的氣流模式，排氣口閥314可在所述Z方向上W所期望的 量被移動(dòng)遠(yuǎn)離排氣口 313，W徑向地在排氣口閥314與閥座312之間產(chǎn)生相同的開(kāi)口。排氣口 閥314的所述Z方向移動(dòng)可由禪接至相應(yīng)的連接器318A-318C的S個(gè)線(xiàn)性致動(dòng)器提供(包含， 例如，致動(dòng)器315A及315B)。致動(dòng)器315A和/或一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，接著可造成可 旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A的第一臂區(qū)段321AW所期望的量或多個(gè)量繞軸R325旋轉(zhuǎn)，和/或造成可旋 轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)臂319A的第二臂區(qū)段323AW所期望的量或多個(gè)量繞軸R326旋轉(zhuǎn)。運(yùn)可造成排氣口閥 314 W所期望的量在所述X和/或Y方向上移動(dòng)，形成排氣口閥314與閥座312之間的特定尺寸 及徑向位置的開(kāi)口。（參見(jiàn)圖5A-5D的所述X和/或Y方向上的閥移動(dòng)及開(kāi)口的范例。）所述產(chǎn) 生的開(kāi)口可造成處理腔室302中的所述氣流模式的所期望的調(diào)整?？刂破鳎?，舉例而言， 控制器120,可禪接至所述多個(gè)致動(dòng)器(包含，例如，致動(dòng)器315A及315B)并經(jīng)配置W驅(qū)動(dòng)所 述多個(gè)致動(dòng)器，W在所期望的X、Y和/或Z方向上移動(dòng)排氣口閥314。
[0049] 圖4A-4D示出了處理腔室氣流控制設(shè)備400的第S示例性【具體實(shí)施方式】。設(shè)備400 可包含處理腔室402(所述處理腔室中只有下殼體部分401L被顯示）。處理腔室402可包含側(cè) 邊開(kāi)口 409,所述側(cè)邊開(kāi)口經(jīng)配置W接收狹縫閥或其它合適的密封構(gòu)件。處理腔室402也可 包含閥座412及氣體排氣口 413(圖4C)。閥座412可經(jīng)配置W接收排氣口閥W用于完全密封 氣體排氣口 413。
[(K)加]設(shè)備400也可包含排氣口閥414、致動(dòng)器415及閥支撐機(jī)構(gòu)416。排氣口閥414可經(jīng)配 置W密封排氣口 413且經(jīng)配置W相對(duì)于排氣口 413在所述X、Y及Z方向上移動(dòng)W調(diào)整處理腔 室402內(nèi)的氣流模式。致動(dòng)器415可為任何合適數(shù)量的馬達(dá)和/或經(jīng)配置W提供線(xiàn)性和第一 及第二獨(dú)立旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的裝置。例如，如圖4D中所示，致動(dòng)器415可包含或代表線(xiàn)性致動(dòng)器 41化和第一及第二旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器415R1及415R2。閥支撐機(jī)構(gòu)416可包含第一連接器418A、第二 連接器418B及臂419。第一連接器418A及第二連接器418B可為任何合適的機(jī)械構(gòu)件，所述機(jī) 械構(gòu)件禪接至致動(dòng)器415且經(jīng)配置W從致動(dòng)器415傳送線(xiàn)性及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至臂419,如在此所 述的。
[0051] 臂419可具有第一端419A，所述第一端在偏離閥414的中屯、C430的位置可旋轉(zhuǎn)地禪 接至排氣口閥414。臂419可經(jīng)配置W繞偏移軸R425旋轉(zhuǎn)閥414 (參見(jiàn)圖5A-加的示例性閥移 動(dòng)）。臂419可具有第二端419B，所述第二端通過(guò)連接器418A及418B可旋轉(zhuǎn)地禪接至致動(dòng)器 415,其中臂419經(jīng)配置W通過(guò)線(xiàn)性致動(dòng)器41化與連接器418A及418B在所述Z方向上移動(dòng)。臂 419也可經(jīng)配置W通過(guò)旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器415R1與連接器418A在所述X與Y方向上繞軸R427旋轉(zhuǎn)。
[0052] 在某些【具體實(shí)施方式】中，臂419可包含如圖4D中所示的滑輪機(jī)構(gòu)，所述滑輪機(jī)構(gòu)經(jīng) 配置W從旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器415R2傳送繞軸R427的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)至繞軸R425的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。臂419可包含 第一滑輪432、第二滑輪434及皮帶436,所述皮帶連接至第一滑輪432及第二滑輪434。第一 滑輪432可禪接至連接器418B，所述連接器可順次禪接至旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器415R2。當(dāng)?shù)谝换?32 繞軸R427旋轉(zhuǎn)，皮帶436造成第二滑輪434繞軸R425旋轉(zhuǎn)。
[0053] 臂419繞軸R425的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)與排氣口閥414繞軸R427的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的所述組合允許 排氣口閥414在各種X與Y方向上移動(dòng)，如圖5A-加中所示，W產(chǎn)生各種尺寸與位置的開(kāi)口。控 制器，例如，舉例而言，控制器120,可禪接至致動(dòng)器415(例如，致動(dòng)器415RU415R2及41化） 并經(jīng)配置W驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器，W在所期望的X、Y和/或Z方向上移動(dòng)排氣口閥414。
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