技術(shù)特征：

1.氣相沉積制備單晶Ag摻雜氧化鋅六方微米管的裝置，它是由管式電阻爐（1）、陶瓷舟（2）、硅片（3）和石英管（4）組成，其特征是：在管式電阻爐（1）的中間有石英管（4），石英管（4）的高溫區(qū)放置有陶瓷舟（2），石英管（4）較低的溫區(qū)放置有硅片(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積制備單晶Ag摻雜氧化鋅六方微米管的裝置，其特征是：陶瓷舟(2)內(nèi)有反應(yīng)前驅(qū)體(5)。