技術總結
氣相沉積制備單晶Ag摻雜氧化鋅六方微米管的裝置是低維納米材料和納米技術，它是由管式電阻爐、陶瓷舟、硅片和石英管組成，在管式電阻爐的中間有石英管，石英管的高溫區(qū)放置有陶瓷舟，石英管較低的溫區(qū)放有硅片；陶瓷舟內有反應前驅體；本實用新型的意義是：本裝置工藝簡單，對設備要求低，可控程度高，是單晶摻雜氧化鋅六方微米管制備好裝置。

技術研發(fā)人員：鞏合春;趙洪濤;霍磊;陳紅敏;黃燕;任廣義
受保護的技術使用者：濮陽市質量技術監(jiān)督檢驗測試中心
文檔號碼：201621258128
技術研發(fā)日：2016.11.23
技術公布日：2017.06.06