信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD:Hard Disk Drive)等信息記錄裝置中作為信息記錄介質(zhì)的一部分所搭載的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著HDD的存儲容量飛躍性地增大，必不可少地需要減小I比特所使用的介質(zhì)的記錄面積。與其成正比地，記錄用的磁性顆粒尺寸也必須微細(xì)化。但是微細(xì)化會(huì)導(dǎo)致下述問題:將記錄的磁化的方向保持為一個(gè)方向的能量變小，容易受到熱量的影響。為了使磁化的方向穩(wěn)定，需要使介質(zhì)從目前作為磁性材料廣泛使用的CoCr系合金變?yōu)槌C頑力高的Fe-Pt系磁性材料。
[0003]但是，在Fe-Pt系磁性材料的成膜中，F(xiàn)e、Pt原子的排列變得不規(guī)則，無法得到高矯頑力。為了規(guī)則化而得到高矯頑力，必不可少地需要對成膜后的玻璃基板實(shí)施約600°C的高溫?zé)崽幚怼?br>[0004]在得到這種玻璃基板的情況下，一般使用利用浮法的玻璃基板的制造方法。例如，在日本特開平7-53223號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)、日本特開2001-357515號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)和日本特開2003-36528號公報(bào)(專利文獻(xiàn)3)中公開了利用浮法的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開平7-53223號公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開2001-357515號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:日本特開2003-36528號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明要解決的課題
[0011]如上所述，對于Fe-Pt系磁性材料必不可少地需要實(shí)施約600°C的高溫?zé)崽幚恚虼耸共ＡЩ宓某蔀槟蜔嵝灾笜?biāo)的Tg升高至600°C以上的溫度，在Fe-Pt系磁性材料在玻璃基板上的成膜時(shí)實(shí)施約600°C的高溫?zé)崽幚怼?br>[0012]其結(jié)果，雖然耐熱性未產(chǎn)生問題，但產(chǎn)生了信息記錄介質(zhì)(磁盤)僅單面發(fā)生磁特性變差的新問題。發(fā)明人進(jìn)行深入的研究結(jié)果，對該信息記錄介質(zhì)(磁盤)的錯(cuò)誤位置進(jìn)行了成分分析，結(jié)果發(fā)現(xiàn)含有Sn。
[0013]此外，發(fā)明人對原因進(jìn)行了查明，結(jié)果可知:在使用用于熱輔助記錄的高Tg材料的情況下，浮法中的浮槽工序中的溫度高，成型時(shí)的溫度高，因此熔融錫(錫)容易蒸發(fā)，玻璃的下表面的錫含量變多。
[0014]對于現(xiàn)有磁盤的記錄密度來說，在玻璃基板中含有錫不是問題，但在形成熱輔助記錄用的磁性層的Fe-Pt合金等的成膜時(shí)需要進(jìn)行高溫?zé)崽幚?。該高溫?zé)崽幚碇?，玻璃基板的下表面的錫進(jìn)行擴(kuò)散。其結(jié)果，可知錫的擴(kuò)散波及至磁性膜，磁盤下表面的SNR(信噪比(signal-noise rat1)或信號噪聲比)品質(zhì)變得不穩(wěn)定。雖然能夠預(yù)先用研磨工序除去錫擴(kuò)散層，但平坦度和平行度變差，因而不優(yōu)選。
[0015]因此，本發(fā)明是為了解決上述課題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種在作為信息記錄介質(zhì)使用的情況下能夠使SNR品質(zhì)穩(wěn)定的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
[0016]用于解決課題的方案
[0017]在基于本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法中，使用了浮法，其中，按照熔解槽、澄清槽、浮槽和除冷管線的順序，在上述熔解槽中將玻璃原料制成熔融玻璃，使上述熔融玻璃通過上述澄清槽、上述浮槽和上述除冷管線，成型為平板玻璃，該制造方法具備以下的工序。
[0018]在上述浮槽內(nèi)，通過加熱而熔融的熔融錫的表面浮有上述熔融玻璃，上述熔融玻璃在粘度1gn = 4.0 (dPa.s)時(shí)的溫度為IlOOcC以上，上述澄清槽的內(nèi)部溫度為上述熔融玻璃的液相溫度以上，該制造方法包括在上述浮槽中以50°C /分鐘以上的降溫速度冷卻上述熔融玻璃的工序。
[0019]冷卻上述熔融玻璃的工序中從上述熔融玻璃流入上述浮槽的內(nèi)部的位置起在上述熔融玻璃的流動(dòng)方向至少領(lǐng)先50cm以上的冷卻開始位置開始上述熔融玻璃的冷卻，上述冷卻開始位置處的上述熔融玻璃的粘度為1gn = 3.6(dPa.s)以下，在上述熔融玻璃的粘度達(dá)到1gn = 4.0 (dPa.s)以下為止的期間，以50°C /分鐘以上的速度進(jìn)行冷卻。
[0020]其它方式中，冷卻上述熔融玻璃的工序中向上述熔融玻璃噴吹氣體。
[0021]其它方式中，冷卻上述恪融玻璃的工序中使固體與上述恪融玻璃接觸。
[0022]其它方式中，冷卻上述熔融玻璃的工序中對上述浮槽中的上述熔融錫的溫度進(jìn)行控制。
[0023]其它方式中，上述信息記錄介質(zhì)用玻璃基板是用于熱輔助的玻璃基板。
[0024]發(fā)明的效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種在作為信息記錄介質(zhì)使用的情況下能夠使SNR品質(zhì)穩(wěn)定的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
【附圖說明】
[0026]圖1是示出信息記錄裝置的立體圖。
[0027]圖2是示出通過基于實(shí)施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯視圖。
[0028]圖3是沿著圖2中的II1-1II線的箭頭方向觀察截面圖。
[0029]圖4是示出具備玻璃基板I作為信息記錄介質(zhì)的信息記錄介質(zhì)10的俯視圖。
[0030]圖5是沿著圖4中的V-V線的箭頭方向觀察截面圖。
[0031]圖6是示出玻璃基板的制造方法的流程圖。
[0032]圖7是示出玻璃基板成型工序中的浮法的示意圖。
[0033]圖8是示出實(shí)施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0034]圖9是示出另一個(gè)實(shí)施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0035]圖10是示出另一個(gè)實(shí)施方式中的浮法所用的浮槽中的玻璃基板的成型工序的圖。
[0036]圖11是示出熔融玻璃料的粘度曲線的圖。
[0037]圖12是示出實(shí)施例1-8和比較例1-4中的HDD運(yùn)行試驗(yàn)的評價(jià)結(jié)果的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]關(guān)于基于本發(fā)明的實(shí)施方式和各實(shí)施例，下面參照附圖進(jìn)行說明。在實(shí)施方式和各實(shí)施例的說明中，在提到個(gè)數(shù)、量等的情況下，除有特別記載的情況外，本發(fā)明的范圍未必限定于該個(gè)數(shù)、量等。在實(shí)施方式和各實(shí)施例的說明中，對相同的部件、相當(dāng)?shù)牟考?biāo)記相同的參照編號，有時(shí)不反復(fù)進(jìn)行重復(fù)的說明。
[0039][實(shí)施方式]
[0040](信息記錄裝置30)
[0041]參照圖1，首先對信息記錄裝置30進(jìn)行說明。圖1是示出信息記錄裝置30的立體圖。信息記錄裝置30具備通過實(shí)施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板(下文中也簡稱為玻璃基板)的制造方法所制造的玻璃基板I作為信息記錄介質(zhì)10。
[0042]具體地說，信息記錄裝置30具備信息記錄介質(zhì)10、殼體20、磁頭滑塊21、懸架22、臂23、垂直軸24、音圈25、音圈電機(jī)26、夾緊部件27和固定螺絲28。在殼體20的上表面上設(shè)置有主軸電機(jī)(未圖示)。
[0043]磁盤等信息記錄介質(zhì)10被夾緊部件27和固定螺絲28以能夠旋轉(zhuǎn)的方式固定于上述主軸電機(jī)。信息記錄介質(zhì)10通過該主軸電機(jī)以例如數(shù)千rpm的轉(zhuǎn)速被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。詳細(xì)情況參照圖4和圖5在下文中進(jìn)行說明，信息記錄介質(zhì)10通過在玻璃基板I形成壓縮應(yīng)力層12 (參照圖5)和磁記錄層14 (參照圖4和圖5)來進(jìn)行制造。
[0044]臂23以能夠搖動(dòng)的方式安裝于垂直軸24周圍。在臂23的前端安裝有形成為板簧(懸臂梁)狀的懸架22。在懸架22的前端以夾入信息記錄介質(zhì)10的方式安裝有磁頭滑塊21。
[0045]在臂23的與磁頭滑塊21相反的一側(cè)安裝有音圈25。音圈25被設(shè)置于殼體20上的磁體(未圖示)夾住。通過音圈25和該磁體構(gòu)成音圈電機(jī)26。
[0046]向音圈25供給規(guī)定的電流。臂23通過由流向音圈25的電流和上述磁體的磁場產(chǎn)生的電磁力的作用而在垂直軸24周圍搖動(dòng)。通過臂23的搖動(dòng)，懸架22和磁頭滑塊21也向箭頭ARl方向搖動(dòng)。磁頭滑塊21在信息記錄介質(zhì)10的表面上和背面上在信息記錄介質(zhì)10的半徑方向往復(fù)移動(dòng)。設(shè)置于磁頭滑塊21的磁頭(未圖示)進(jìn)行尋道操作。
[0047]進(jìn)行該尋道操作的另一面，磁頭滑塊21通過與信息記錄介質(zhì)10的旋轉(zhuǎn)相伴產(chǎn)生的空氣流而受到浮力。通過該浮力與懸架22的彈性力(擠壓力)的平衡，磁頭滑塊21相對于信息記錄介質(zhì)10的表面以一定的懸浮量運(yùn)轉(zhuǎn)。通過該運(yùn)轉(zhuǎn)，設(shè)置于磁頭滑塊21的磁頭可以相對于信息記錄介質(zhì)10內(nèi)的規(guī)定軌道進(jìn)行信息(數(shù)據(jù))的記錄和再生。作為構(gòu)成信息記錄介質(zhì)10的部件的一部分而搭載有玻璃基板I的信息記錄裝置30如上構(gòu)成。
[0048](玻璃基板I)
[0049]圖2是示出通過基于實(shí)施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板I的俯視圖。圖3是沿著圖2中的II1-1II線的箭頭方向觀察截面圖。
[0050]如圖2和圖3所示，作為其一部分用于信息記錄介質(zhì)10 (參照圖4和圖5)的玻璃基板1(信息記錄介質(zhì)用玻璃基板)具有主表面2、主表面3、內(nèi)周端面4、孔5和外周端面6，整體形成為圓盤狀。