阻抗蝕劑;對(duì)比光可成像組成物制備的干膜光阻抗蝕劑A~D(實(shí)施 例1~4)在加速老化前后線路分辨率Re、線路附著力Ad并無明顯的變化,光致抗蝕階 St〇Uffer21/41稍有降低,而比較實(shí)施例5之干膜干膜光阻抗蝕劑于老化前后變化明顯,尤 其是光致抗蝕階Stouffer21/41下降為原來的三分之一。
[0129] 作為光可成像組成物的必要組成部分聚氨酯丙烯酸酯低聚物的合成中,通過控制 多元醇與三氯氧磷的投料比,引入不同數(shù)量的環(huán)狀磷酸酯基團(tuán),產(chǎn)品對(duì)基材的附著力有了 明顯提高;且環(huán)狀基團(tuán)的引入增加了分子剛性,從而提高了成品干膜光阻抗蝕劑的熱穩(wěn)定 性(老化性能)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物,其特征在于,其具如下式(I)的結(jié)構(gòu)式:的一種。2. -種權(quán)利要求1所述的含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物的合成方法,其特征在于包含 如下步驟: (1) 在氮?dú)獗Wo(hù)下,將丙締酸徑基醋和二月桂酸二下基錫滴加到二異氯酸醋中,保持反 應(yīng)溫度40~50°C,監(jiān)測體系中-NCO的濃度變化,直到-NCO含量為初始含量的50%,得二異氯 酸醋的半加成物A;所述丙締酸徑基醋與二異氯酸醋的摩爾比為1:1~1:1.05,二月桂酸二 下基錫與丙締酸徑基醋的質(zhì)量比為0.9:100~1.1:100; (2) 將多元醇溶于甲苯中,于40~60°C下滴加酷氯化劑Ξ氯氧憐反應(yīng)2~化,反應(yīng)獲得 環(huán)狀憐酸醋B;所述多元醇與Ξ氯氧憐的摩爾比為2:1~4:3; (3) 將步驟(2)中環(huán)狀憐酸醋B與步驟(1)中二異氯酸醋的半加成物A及阻聚劑加入到反 應(yīng)器中,升溫至70~80°C,滴加用丙酬溶解的催化劑二月桂酸二下基錫,直至反應(yīng)混合物紅 外光譜中2274cnfi吸收峰完全消失,反應(yīng)獲得含憐環(huán)狀結(jié)構(gòu)的聚氨醋丙締酸醋;所述環(huán)狀憐 酸醋B與二異氯酸醋的半加成物A的摩爾比為1:1~3.1:1;催化劑二月桂酸二下基錫與二異 氯酸醋的半加成物A的質(zhì)量比為0.5:100~0.8:100;阻聚劑與二異氯酸醋的半加成物A的質(zhì) 量比為 0.5:100 ~1.0:100。3. 權(quán)利要求2所述含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物的合成方法,其特征在于:所述步驟 (1)中丙締酸徑基醋選自丙締酸徑乙醋、甲基丙締酸徑乙醋、丙締酸徑丙醋、甲基丙締酸徑 丙醋、Ξ徑甲基丙烷二丙締酸醋中的一種或多種。4. 權(quán)利要求2所述含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物的合成方法,其特征在于:所述步驟 (1) 中二異氯酸醋為異佛爾酬二異氯酸醋、2,4-甲苯二異氯酸醋、2,6-甲苯二異氯酸醋或六 亞甲基二異氯酸醋的一種或多種。5. 權(quán)利要求2所述含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物的合成方法,其特征在于:所述步驟 (2) 中多元醇為Ξ徑甲基丙烷、新戊二醇、丙Ξ醇和季戊四醇的一種或多種。6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述含憐的聚氨醋丙締酸醋低聚物的合成方法,其特征在于:所述步 驟(3)中阻聚劑為對(duì)徑基苯甲酸和/或?qū)Ρ蕉摇?. -種光可成像組成物,其特征在于,所述光可成像組成物包含權(quán)利要求1所述的含憐 的聚氨醋丙締酸醋低聚物。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述光可成像組成物,其特征在于,所述光可成像組成物還包含高分 子黏合劑、多官能團(tuán)丙締酸醋、光引發(fā)劑及添加物;W光可成像組成物為100重量份計(jì),含憐 環(huán)狀結(jié)構(gòu)的聚氨醋丙締酸醋低聚物為30-50重量份,高分子黏合劑為40-60重量份,多官能 團(tuán)丙締酸醋為5-20重量份,光引發(fā)劑1-5重量份,添加物為1-10重量份;所述添加物選自孔 雀綠、全氣辛基橫酸鐘和乙二醇單甲酸乙酸醋中的一種或多種。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述光可成像組成物,其特征在于,所述高分子黏合劑選自聚丙締酸 醋類,聚丙締酸甲醋、聚甲基丙締酸甲醋、聚丙締酸徑乙醋、聚甲基丙締酸徑乙醋、聚丙締酸 乙醋、聚甲基丙締酸乙醋、聚丙締酸正下醋、聚甲基丙締酸正下醋、聚丙締酸第Ξ下醋、聚甲 基丙締酸第Ξ下醋、聚丙締酸正己醋、聚甲基丙締酸正己醋、聚丙締酸辛醋、聚甲基丙締酸 辛醋、聚丙締酸2-乙氧基乙醋、聚甲基丙締酸2-乙氧基乙醋、聚丙締酸2-乙基己醋、聚1,5- 戊二醇二丙締酸醋、聚丙締酸N,N-二乙胺基乙醋、聚乙二醇二丙締酸醋、聚1,3-丙二醇二丙 締酸醋、聚癸二醇-丙締酸醋、聚癸二醇二甲基丙締酸醋、聚1,4-環(huán)己燒二醇二丙締酸醋、聚 2,2-二甲醇基丙締二丙締酸醋、聚甘油二丙締酸醋、聚Ξ丙二醇二丙締酸醋、聚甘油-Ξ丙 締酸醋、2,2-二(對(duì)-徑基苯基)-丙烷二甲基丙締酸醋、聚Ξ甘醇二甲基丙締酸醋、聚聚氧丙 基Ξ甲醇基丙烷Ξ丙締酸醋、聚乙二醇-二甲基丙締酸醋、聚下二醇二甲基丙締醋、聚1,3- 丙二醇二甲基丙締酸醋、聚下二醇二甲基丙締酸醋、聚1,3-丙二醇二甲基丙締酸醋、聚1,2, 4-下Ξ醇Ξ甲基丙締酸醋、聚2,2,4-Ξ甲基-1,3-戊二醇二甲基丙締酸醋、聚季戊四醇Ξ甲 基丙締酸醋、聚1-苯基伸乙基-1,2二甲基丙締酸醋、聚季戊四醇四甲基丙締酸醋、聚Ξ甲醇 基丙烷Ξ甲基丙締酸醋、聚1,5-戊二醇二甲基丙締酸醋和1,4-苯二醇二甲基丙締酸醋中的 一種或多種; 所述多官能團(tuán)丙締酸醋選自Ξ徑甲基丙烷Ξ丙締酸醋、Ξ乙二醇二甲基丙締酸醋、聚 氧化丙締 Ξ徑甲基丙烷Ξ丙締酸醋、乙二醇二甲基丙締酸醋、下二醇二甲基丙締酸醋、1,3- 丙二醇二甲基丙締酸醋、1,2,4-下Ξ醇Ξ甲基丙締酸醋、2,2,4-Ξ甲基-1,3-戊二醇二甲基 丙締酸醋、季戊四醇Ξ甲基丙締酸醋、1-苯基伸乙基-1,2-二甲基丙締酸醋、季戊四醇四甲 基丙締酸醋、Ξ徑甲基丙烷Ξ甲基丙締酸醋、1,5-戊二醇二甲基丙締酸醋、二締丙基富馬酸 醋、苯乙締、1,4-苯二醇二甲基丙締酸醋、1,4-二異丙締基苯、1,3,5-Ξ異丙締基苯、乙氧基 改質(zhì)之Ξ甲醇丙烷Ξ丙締酸醋、Ξ甲醇丙烷Ξ丙締酸醋、Ξ甲醇丙烷Ξ甲基丙締酸醋和標(biāo) 準(zhǔn)雙酪-Α-環(huán)氧二丙締酸醋中的一種或多種; 所述光引發(fā)劑選自2,2-二氯-4-苯氧苯乙酬、二苯甲酬、η-苯基甘胺酸、9-苯基日丫晚、安 息香類、苯甲基二甲基縮酬、2-(對(duì)-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2-(鄰-氯化苯 基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2-(鄰-氯化苯基)-4,5-二(間-甲氧基苯基)咪挫二聚物、2- (鄰-氯化苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2-(鄰-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2, 4-二(對(duì)-甲氧基苯基)-5-苯基咪挫二聚物和2-(2,4-二甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚 物中的一種或多種。10. -種干膜光阻抗蝕劑,其特征在于,所述干膜光阻抗蝕劑包含權(quán)利要求7所述的光 可成像組成物。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種含磷的聚氨酯丙烯酸酯低聚物及其制備方法與應(yīng)用。制備時(shí),在氮?dú)獗Wo(hù)下,將丙烯酸羥基酯和二月桂酸二丁基錫滴加到二異氰酸酯中,控制反應(yīng)溫度,監(jiān)測體系中‐NCO的濃度變化,得二異氰酸酯的半加成物A;將多元醇溶于甲苯中,滴加酰氯化劑三氯氧磷反應(yīng),得環(huán)狀磷酸酯B;將環(huán)狀磷酸酯B與二異氰酸酯的半加成物A及阻聚劑升溫,滴加用丙酮溶解的催化劑,反應(yīng)獲得含磷環(huán)狀結(jié)構(gòu)的聚氨酯丙烯酸酯;該產(chǎn)品可應(yīng)用于光可成像組成物。本發(fā)明在分子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中引入環(huán)狀磷酸酯基團(tuán),增加干膜光阻抗蝕劑在金屬基材上的附著力;本發(fā)明合成路線簡單,副反應(yīng)較少,無污染,反應(yīng)過程中無需提純即可得到具有良好性能的產(chǎn)品。
【IPC分類】G03F7/033, G03F7/004, C07F9/6574
【公開號(hào)】CN105566396
【申請?zhí)枴緾N201511029387
【發(fā)明人】楊明雄, 林耿弘, 鄭裕正, 李利, 涂偉萍, 盧明
【申請人】長興(廣州)電子材料有限公司, 華南理工大學(xué)
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月30日