劑的種類和含量以及填料的種類和含量 等來控制半導體背面用膜相對于切割帶的壓敏粘合劑層的剝離力。
[0059] 在本發(fā)明中，半導體背面用膜可由樹脂組合物形成，優(yōu)選由含有熱塑性樹脂和熱 固性樹脂的樹脂組合物構成。在這點上，半導體背面用膜可由不使用熱固性樹脂的熱塑性 樹脂組合物構成或可由不使用熱塑性樹脂的熱固性樹脂組合物構成。
[0060] 熱塑性樹脂的實例包括天然橡膠、丁基橡膠、異戊二烯橡膠、氯丁橡膠、乙烯-乙 酸乙烯酯共聚物、乙烯_丙烯酸共聚物、乙烯-丙烯酸酯共聚物、聚丁二烯樹脂、聚碳酸酯樹 月旨、熱塑性聚酰亞胺樹脂、聚酰胺樹脂如6-尼龍和6, 6-尼龍、苯氧基樹脂、丙烯酸類樹脂、 飽和聚酯樹脂如PET(聚對苯二甲酸乙二酯）和PBT(聚對苯二甲酸丁二醇酯）、聚酰胺酰亞 胺樹脂或氟碳樹脂。熱塑性樹脂可以單獨使用或以其兩種以上組合使用。在這些熱塑性樹 脂中，優(yōu)選僅包含少量離子性雜質、具有高耐熱性和能夠確保半導體元件可靠性的丙烯酸 類樹脂。
[0061] 丙烯酸類樹脂不特別限定，其實例包括包含一種或兩種以上具有30個以下碳原 子，優(yōu)選4至18個碳原子的具有直鏈或支化烷基的丙烯酸或甲基丙烯酸的酯作為組分的 聚合物。即，在本發(fā)明中，丙烯酸類樹脂具有還包括甲基丙烯酸類樹脂的寬的含義。所述 烷基的實例包括甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、異丁基、戊基、異戊基、己基、庚 基、2-乙基己基、辛基、異辛基、壬基、異壬基、癸基、異癸基、十一烷基、十二烷基（月桂基）、 十三烷基、十四烷基、硬脂基和十八烷基。
[0062] 此外，形成丙烯酸類樹脂的其它單體（除具有30個以下碳原子的烷基的丙烯酸或 甲基丙烯酸的烷基酯以外的單體）沒有特別限制，其實例包括含羧基單體如丙烯酸、甲基 丙稀酸、丙稀酸羧乙酯、丙稀酸羧戊酯、衣康酸、馬來酸、富馬酸和巴豆酸（crotonicacid); 酸酐單體如馬來酸酐和衣康酸酐；含羥基單體如（甲基）丙烯酸2-羥乙酯、（甲基）丙烯酸 2_羥丙酯、（甲基）丙烯酸4-羥丁酯、（甲基）丙烯酸6-羥己酯、（甲基）丙烯酸8-羥辛 酯、（甲基）丙烯酸10-羥癸酯、（甲基）丙烯酸12-羥月桂酯和（4-羥甲基環(huán)己基）-甲基 丙烯酸酯；含磺酸單體如苯乙烯磺酸、烯丙基磺酸、2-(甲基）丙烯酰氨基-2-甲基丙磺酸、 (甲基）丙烯酰氨基丙磺酸、（甲基）丙烯酸磺丙酯和（甲基）丙烯酰氧基萘磺酸；和含磷 酸基單體如2-輕乙基丙稀?；姿狨ィ?-hydroethylacryloylphosphate)。
[0063] 這些樹脂可根據已知方法合成或可使用商購可得的產品。
[0064] 此外，熱固性樹脂的實例包括環(huán)氧樹脂和酚醛樹脂以及氨基樹脂、不飽和聚酯樹 月旨、聚氨酯樹脂、硅酮樹脂和熱固性聚酰亞胺樹脂。熱固性樹脂可以單獨使用或以其兩種以 上組合使用。作為熱固性樹脂，僅包含少量腐蝕半導體元件的離子性雜質的環(huán)氧樹脂是合 適的。此外，優(yōu)選將酚醛樹脂用作環(huán)氧樹脂的固化劑。
[0065] 環(huán)氧樹脂沒有特別限定，例如，可使用雙官能環(huán)氧樹脂或多官能環(huán)氧樹脂如雙酚A 型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、溴化雙酚A型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型 環(huán)氧樹脂、雙酚AF型環(huán)氧樹脂、聯苯型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂、芴型環(huán)氧樹脂、可溶可熔 酸醛（phenolNovolak)型環(huán)氧樹脂、鄰甲酸可溶酸醛（o-cresolNovolak)型環(huán)氧樹脂、三輕 基苯甲燒型環(huán)氧樹脂或四輕苯基乙燒（tetraphenylolethane)型環(huán)氧樹脂，或環(huán)氧樹脂如 乙內酰脲型環(huán)氧樹脂、三縮水甘油基異氰脲酸酯型環(huán)氧樹脂或縮水甘油基胺型環(huán)氧樹脂。
[0066] 作為環(huán)氧樹脂，在以上示例的那些中，可溶可熔酚醛型環(huán)氧樹脂、聯苯型環(huán)氧樹 月旨、三羥基苯甲烷型環(huán)氧樹脂和四羥苯基乙烷型環(huán)氧樹脂是優(yōu)選的。這是因為這些環(huán)氧樹 脂與作為固化劑的酚醛樹脂的反應性高，且耐熱性等優(yōu)異。
[0067] 所述環(huán)氧樹脂可根據已知方法合成或可使用商購可得的產品。
[0068] 此外，酚醛樹脂起到環(huán)氧樹脂的固化劑的作用，其實例包括可溶可熔型酚醛樹脂 如可溶可熔酚醛樹脂、苯酚芳烷基樹脂、甲酚可溶酚醛樹脂、叔丁基可溶可熔酚醛樹脂和壬 基可溶可恪酸醛樹脂；甲階型酸醛樹脂；和聚氧苯乙?。╬olyoxystyrenes)如聚對氧苯乙 烯。酚醛樹脂可單獨或以其兩種以上組合使用。在這些酚醛樹脂中，可溶可熔酚醛樹脂和 苯酚芳烷基樹脂是優(yōu)選的。這是因為可提高半導體器件的連接可靠性。
[0069] 所述酚醛樹脂可根據已知方法合成或可使用商購可得產品。
[0070] 環(huán)氧樹脂與酚醛樹脂的混合比優(yōu)選使得例如酚醛樹脂中的羥基變?yōu)?. 5至2. 0當 量，基于每當量環(huán)氧樹脂組分中的環(huán)氧基團。其更優(yōu)選0.8至1.2當量。即，當混合比變?yōu)?在該范圍之外時，固化反應不能充分進行，環(huán)氧樹脂固化產物的特性趨于劣化。
[0071] 環(huán)氧樹脂和酚醛樹脂的熱固化促進催化劑沒有特別限定，可適當選自已知的熱固 化促進催化劑并使用。熱固化促進催化劑可單獨或兩種以上的組合使用。作為熱固化促進 催化劑，例如，可使用胺類固化促進催化劑、磷類固化促進催化劑、咪唑類固化促進催化劑、 硼類固化促進催化劑或磷-硼類固化促進催化劑。
[0072] 在本發(fā)明中，半導體背面用膜特別優(yōu)選由包含環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂和丙烯酸類樹 脂的樹脂組合物形成。由于這些樹脂僅包含少量離子性雜質并具有高的耐熱性，因此能夠 確保半導體元件的可靠性。在該情況下的混合比不特別限定，但例如，環(huán)氧樹脂與酚醛樹脂 的混合量可適當選自10至300重量份的范圍，基于100重量份丙烯酸類樹脂。
[0073] 重要的是半導體背面用膜具有對半導體晶片背面（非電路形成面）的緊密粘合 性。此類具有緊密粘合性的半導體背面用膜例如可由包含環(huán)氧樹脂的樹脂組合物形成。為 了交聯，可將能夠與在聚合物分子鏈末端的官能團等反應的多官能化合物作為交聯劑添加 至半導體背面用膜。由于此構成，能夠提高在高溫下的緊密粘合性并能夠實現耐熱性的改 進。
[0074] 交聯劑沒有特別限定，可以適當使用已知的交聯劑。具體地，交聯劑的實例不僅包 括異氰酸酯類交聯劑、環(huán)氧類交聯劑、三聚氰胺類交聯劑和過氧化物類交聯劑，而且還包括 脲類交聯劑、金屬醇鹽類交聯劑、金屬螯合物類交聯劑、金屬鹽類交聯劑、碳二亞胺類交聯 劑、噁唑啉類交聯劑、氮丙啶類交聯劑和胺類交聯劑。作為交聯劑，異氰酸酯類交聯劑和環(huán) 氧類交聯劑是合適的。交聯劑可以單獨使用或兩種以上組合使用。
[0075] 異氰酸酯類交聯劑的實例包括低級脂肪族多異氰酸酯例如1，2-亞乙基二異氰酸 酯、1，4-亞丁基二異氰酸酯和1，6-六亞甲基二異氰酸酯；脂環(huán)族多異氰酸酯例如亞環(huán)戊 基二異氰酸酯、亞環(huán)己基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、氫化甲苯二異氰酸酯和氫化苯 二甲撐二異氰酸酯；和芳香族多異氰酸酯例如2, 4-甲苯二異氰酸酯、2, 6-甲苯二異氰酸 酯、4,4'-二苯甲烷二異氰酸酯和苯二甲撐二異氰酸酯。此外，也使用三羥甲基丙烷/甲 苯二異氰酸酯三聚體加合物[商品名"C0L0NATEL"，由NipponPolyurethaneIndustry Co.，Ltd.制造]和三羥甲基丙烷/六亞甲基二異氰酸酯三聚體加合物[商品名"C0L0NATE HL"，由NipponPolyurethaneIndustryCo. ,Ltd.制造]等。此外，環(huán)氧類交聯劑的實例包 括N，N,N' ,N'-四縮水甘油基-間-苯二甲胺、二縮水甘油基苯胺、1,3-雙（N,N-縮水甘 油基氨甲基）環(huán)己烷、1，6-己二醇二縮水甘油醚、新戊二醇二縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘 油醚、丙二醇二縮水甘油醚、聚乙二醇二縮水甘油醚、聚丙二醇二縮水甘油醚、山梨糖醇多 縮水甘油醚、甘油多縮水甘油醚、季戊四醇多縮水甘油醚、聚甘油多縮水甘油醚、脫水山梨 糖醇多縮水甘油醚、三羥甲基丙烷多縮水甘油醚、己二酸二縮水甘油酯、鄰苯二甲酸二縮水 甘油酯、三縮水甘油基-三（2-羥乙基）異氰脲酸酯、間苯二酚二縮水甘油醚和雙酚-S-二 縮水甘油醚，以及在分子中具有兩個以上環(huán)氧基團的環(huán)氧類樹脂。
[0076] 交聯劑的用量不特別限定，可依賴于交聯程度適當選擇。具體地，優(yōu)選交聯劑的用 量為例如0. 05至7重量份，基于100重量份樹脂組分（聚合物組分）（特別地，在分子鏈末 端具有官能團的聚合物）。當交聯劑的量基于I00重量份樹脂組分為〇. 05至7重量份時， 能夠高水平地顯示緊密粘合性和內聚特性。
[0077] 在本發(fā)明中，代替使用交聯劑或與使用交聯劑一起，也可以通過用電子束或紫外 線等照射進行交聯處理。
[0078](著色劑）
[0079] 在本發(fā)明中，優(yōu)選將半導體背面用膜著色。如上所述，在將半導體背面用膜著色的 情況（在該膜既不是無色的也不是透明的情況）下，通過著色顯示的顏色不特別限制，但例 如優(yōu)選為暗色如黑色、藍色或紅色，更優(yōu)選黑色。
[0080] 在本發(fā)明中，暗色主要指具有60以下（0至60)，優(yōu)選50以下（0至50)，更優(yōu)選40 以下（0至40)的在L*a*b*顏色空間中定義的L*的暗色。
[0081] 此外，黑色主要是指具有35以下（0至35)，優(yōu)選30以下（0至30)，更優(yōu)選25以下 (0至25)的在L*a*b*顏色空間中定義的L*的黑色系顏色。在這點上，在黑色中，在L*a*b* 顏色空間中定義的各a*和b*可根據L*的值適當選擇。例如，a*和b*兩者均在優(yōu)選-10 至10,更優(yōu)選-5至5,進一步優(yōu)選-3至3 (特別地0或約0)的范圍內。
[0082] 在本發(fā)明中，在L*a*b*顏色空間中定義的L*、a*和b*可通過用色差計（商品 名"CR-200"，由MinoltaLtd制造；色差計）測量來確定。L*a*b*顏色空間為在1976 年由CommissionInternationalede1'Eclairage(CIE)建議的顏色空間，是指稱為 CIE1976(L*a*b*)顏色空間的顏色空間。此外，在日本工業(yè)標準（JapaneseIndustrial Standards)JISZ8729 中定義了L*a*b* 顏色空間。
[0083] 在半導體背面用膜著色時，根據目標顏色，可使用著色劑（著色試劑）。作為此類 著色劑，可適合使用各種暗色系著色劑如黑色著色劑、藍色著色劑和紅色著色劑，黑色著色 劑是更合適的。著色劑可為顏料和染料的任一種。著色劑可單獨使用或兩種以上組合使用。 在這點上，作為染料，可以使用任何形式的染料如酸性染料、反應性染料、直接染料、分散染 料和陽離子染料。此外，同樣關于顏料，其形式不特別限制，可在已知顏料中適當選擇。
[0084] 特別地，當將染料用作著色劑時，染料變?yōu)樘幱谕ㄟ^溶解在半導體背面用膜中均 勻或幾乎均勻地分散的狀態(tài)，從而可容易地生產具有均勻或幾乎均勻的顏色濃度的半導體 背面用膜（結果，半導體背面用切割帶集成膜）。因此，當將染料用作著色劑時，半導體背面 用切割帶集成膜中的半導體背面用膜可具有均勻或幾乎均勻的顏色濃度，并可提高標識性 和外觀性。
[0085] 黑色著色劑不特別限制，可例如適合選自無機黑色顏料和黑色染料。此外，黑色著 色劑可為其中將青色著色劑（藍-綠著色劑）、品紅色著色劑（紅-紫著色劑）和黃色著色 劑（黃著色劑）混合的著色劑混合物。黑色著色劑可單獨使用或以兩種以上的組合使用。 當然，可將黑色著色劑與除黑色以外的顏色的著色劑組合使用。
[0086] 黑色著色劑的具體實例包括炭黑（如爐黑、槽黑、乙炔黑、熱裂炭黑或燈黑）、石墨 (石墨（blacklead))、氧化銅、二氧化錳、偶氮型顏料（如偶氮甲堿偶氮黑）、苯胺黑、茈黑、 鈦黑、花青黑、活性炭、鐵素體（如非磁性鐵素體或磁性鐵素體）、磁鐵礦、氧化鉻、氧化鐵、 二硫化鉬、鉻配合物、復合氧化物型黑色顏料和蒽醌型有機黑色顏料。
[0087] 作為黑色著色劑，可利用黑色染料如C.I.溶劑黑3、7、22、27、29、34、43、70， C.I.直接黑 17、19、22、32、38、51、71，C.I.酸性黑 1、2、24、26、31、48、52、107、109、110、119、 154,和C.I.分散黑1、3、10、24 ;黑色顏料如C.I.顏料黑1、7 ;等。
[0088] 作為此類黑色著色劑，例如，商品名〃OilBlackBY〃、商品名〃OilBlackBS〃、商 品名〃OilBlackHBB〃、商品名〃OilBlack803〃、商品名〃OilBlack860〃、商品名〃Oil Black5970〃、商品名〃OilBlack5906〃、商品名〃OilBlack5905〃（由OrientChemical IndustriesCo. ,Ltd?制造）等是商購可得的。
[0089] 除黑色著色劑以外的著色劑的實例包括青色著色劑、品紅色著色劑和黃色著色 劑。
[0090] 青色著色劑的實例包括青色染料如C.I.溶劑藍25、36、60、70、93、95 ;C.I.酸性 藍 6 和 45 ;青色顏料如C.I.顏料藍 1、2、3、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、16、17、 17:1、18、22、25、56、60、63、65、66;(：.1.甕藍4、60 ;和(：.1.顏料綠7。
[0091] 此外，在品紅色著色劑中，品紅色染料的實例包括C.I.溶劑紅1、3、8、23、24、25、 27、30、49、52、58、63、81、82、83、84、100、109、111、121、122 ;C.I.分散紅 9 ;C.I.溶劑紫 8、 13、14、21、27 ;C.I.分散紫I;C.I.堿性紅 1、2、9、12、13、14、15、17、18、22、23、24、27、29、 32、 34、35、36、37、38、39、40 ;C.I.堿性紫 1、3、7、10、14、15、21、25、26、27 和 28。
[0092] 在品紅色著色劑中，品紅色顏料的實例包括C.I.顏料紅1、2、3、4、5、6、7、8、9、 10、 11、12、13、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、39、40、41、42、48:1、48:2、 48:3、48:4、49、49:1、50、51、52、52:2、53:1、54、55、56、57:1、58、60、60:1、63、63:1、63:2、 64、64:1、67、68、81、83、87、88、89、90、92、101、104、105、106、108、112、114、122、123、139、 144、146、147、149、150、151、163、166、168、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、 187、190、193、202、206、207、209、219、222、224、238、245;C.I.顏料紫3、9、19、23、31、32、 33、 36、38、43、50 ;C.I?甕紅 1、2、10、13、15、23、29 和 35。
[0093] 此外，黃色著色劑的實例包括黃色染料如C.I.溶劑黃19、44、77、79、81、82、93、 98、103、104、112和162;黃色顏料如(：.1.顏料橙31、43 ;(：.1.顏料黃1、2、3、4、5、6、7、10、 11、 12、1