本實(shí)用新型涉及機(jī)械領(lǐng)域，特別是，涉及一種硅片運(yùn)輸箱。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的硅片運(yùn)輸?shù)陌b方式是將數(shù)百片硅片放置在晶圓盒中，然后讓數(shù)個(gè)晶圓盒放入紙箱中進(jìn)行運(yùn)輸。由于晶圓盒外除紙箱外沒有額外的防護(hù)層，防外力沖擊破壞的能力較差，且缺少相應(yīng)的緩沖措施，導(dǎo)致運(yùn)輸過程中硅片容易產(chǎn)生碎片現(xiàn)象，運(yùn)輸損耗一直較高。運(yùn)達(dá)用戶處時(shí)，晶圓盒不便于的取出，拆卸費(fèi)時(shí)費(fèi)力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片運(yùn)輸箱，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有良好的抗沖擊破壞能力的同時(shí)，具有良好的緩沖性，且便于晶圓盒的取出，省時(shí)省力。

為解決上述問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種硅片運(yùn)輸箱，包括箱體和與箱體配合的箱蓋，所述箱體內(nèi)凹設(shè)有多個(gè)第一容置槽，每個(gè)第一容置槽旁設(shè)置有與其相交的第一勾取槽，所述箱體由海綿或泡沫塑料制得。

優(yōu)選的，所述箱蓋上設(shè)置有分別與第一容置槽和第一勾取槽對(duì)應(yīng)的第二容置槽和第二勾取槽，所述箱蓋由海綿或泡沫塑料制得。

優(yōu)選的，所述箱體上還設(shè)置有定位孔，所述箱蓋上設(shè)置有與所述定位孔對(duì)應(yīng)的定位柱。

優(yōu)選的，所述定位孔至少為兩個(gè)，所述定位孔和定位柱數(shù)量相同。

優(yōu)選的，所述箱體外側(cè)還設(shè)置有外箱體，所述箱蓋外側(cè)設(shè)置有外箱蓋。

優(yōu)選的，所述外箱體上設(shè)置有卡環(huán)，所述外箱蓋上設(shè)置有與卡環(huán)匹配的卡扣。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，海綿或泡沫塑料結(jié)構(gòu)的箱體具有良好的抗沖擊破壞能力的同時(shí)，具有良好的緩沖性，第一容置槽保證晶圓盒固定的穩(wěn)定性，第一勾取槽便于晶圓盒的取出，省時(shí)省力。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1中硅片運(yùn)輸箱的箱體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1中硅片運(yùn)輸箱的箱蓋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例2中硅片運(yùn)輸箱的箱體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例2中硅片運(yùn)輸箱的箱蓋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例3中硅片運(yùn)輸箱的箱體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例3中硅片運(yùn)輸箱的箱蓋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例3中硅片運(yùn)輸箱的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，1為箱體、11為第一容置槽、12為第一勾取槽、13為定位孔、14為外箱體、15為卡環(huán)、16為第一提手、2為箱蓋、21為第二容置槽、22為第二勾取槽、23為定位柱、24為外箱蓋、25為卡扣、26為第二提手。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

實(shí)施例1

如圖1、2所示，硅片運(yùn)輸箱包括箱體1和與箱體1配合的箱蓋2，箱體1內(nèi)凹設(shè)有四個(gè)第一容置槽11，第一容置槽11內(nèi)用于疊放晶圓盒。每個(gè)第一容置槽11旁設(shè)置有與其相交的第一勾取槽12，第一勾取槽12用于手指勾取晶圓盒，便于晶圓盒的取出。箱體1由海綿材質(zhì)制得，海綿具有良好的緩沖性能，因此也具有良好的抗沖擊破壞能力，可提供良好的抗震效果，避免劇烈震動(dòng)對(duì)晶圓盒內(nèi)硅片的影響，保證硅片運(yùn)輸過程中的穩(wěn)定性。

箱蓋2上設(shè)置有分別與第一容置槽11和第一勾取槽12對(duì)應(yīng)的第二容置槽21和第二勾取槽22，箱蓋2由海綿制得。第二容置槽21和第二勾取槽22與第 一容置槽11和第一勾取槽12位置對(duì)應(yīng)，作用也相同。

實(shí)施例2

如圖3、4所示，與實(shí)施例1中硅片運(yùn)輸箱不同的是，本實(shí)施例中箱體1上還設(shè)置有四個(gè)定位孔13，箱蓋2上設(shè)置有與定位孔13對(duì)應(yīng)的四個(gè)定位柱23。通過定位孔13和定位柱23相匹配，使得箱體1和箱蓋2配合時(shí)更加嚴(yán)密和整齊，進(jìn)一步保證內(nèi)部晶圓盒的穩(wěn)定。

實(shí)施例3

如圖5-7所示，與實(shí)施例2中硅片運(yùn)輸箱不同的是，本實(shí)施例中箱體1外側(cè)還設(shè)置有外箱體14，箱蓋2外側(cè)設(shè)置有外箱蓋24，外箱體14和外箱蓋24采用硬質(zhì)塑料制得，具有更佳的抗撞擊能力。

外箱體14上設(shè)置有卡環(huán)15，外箱蓋24上設(shè)置有與卡環(huán)15匹配的卡扣25。卡環(huán)15和卡扣相匹配，方便箱體1和箱蓋2之間的結(jié)合，使得箱體1和箱蓋2的開合更加便捷。

可以理解的，上述實(shí)施例中，箱體1也可以選用泡沫塑料制得，第一容置槽11、定位孔13的數(shù)量可以根據(jù)需要調(diào)整。實(shí)施例3中，外箱體14和外箱蓋24可以采用木質(zhì)或金屬材質(zhì)制得，外箱體14上還可以設(shè)置第一提手16，外箱蓋24上還可以設(shè)置第二提手26，使用時(shí)，第一提手16和第二提手26相互配合，使得箱體1和箱蓋2之間的結(jié)合更加穩(wěn)定，保證搬運(yùn)過程中的安全性。

對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。