技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片運(yùn)輸箱，包括箱體和與箱體配合的箱蓋，所述箱體內(nèi)凹設(shè)有多個(gè)第一容置槽，每個(gè)第一容置槽旁設(shè)置有與其相交的第一勾取槽，所述箱體由海綿或泡沫塑料制得。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有良好的抗沖擊破壞能力的同時(shí)，具有良好的緩沖性，且便于晶圓盒的取出，省時(shí)省力。

技術(shù)研發(fā)人員：張菊;紀(jì)雪英
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州同冠微電子有限公司
文檔號(hào)碼：201621173085
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.02
技術(shù)公布日：2017.08.08