1.一種硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,包括箱體和與箱體配合的箱蓋,所述箱體內(nèi)凹設(shè)有多個(gè)第一容置槽,每個(gè)第一容置槽旁設(shè)置有與其相交的第一勾取槽,所述箱體由海綿或泡沫塑料制得。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,所述箱蓋上設(shè)置有分別與第一容置槽和第一勾取槽對(duì)應(yīng)的第二容置槽和第二勾取槽,所述箱蓋由海綿或泡沫塑料制得。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,所述箱體上還設(shè)置有定位孔,所述箱蓋上設(shè)置有與所述定位孔對(duì)應(yīng)的定位柱。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,所述定位孔至少為兩個(gè),所述定位孔和定位柱數(shù)量相同。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,所述箱體外側(cè)還設(shè)置有外箱體,所述箱蓋外側(cè)設(shè)置有外箱蓋。
6.如權(quán)利要求5所述的硅片運(yùn)輸箱,其特征在于,所述外箱體上設(shè)置有卡環(huán),所述外箱蓋上設(shè)置有與卡環(huán)匹配的卡扣。