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大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像的二值化方法和系統(tǒng)與流程

文檔序號(hào):12118687閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像的二值化方法,其特征在,所述方法包括:

基于所述大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像,利用Gabor濾波器,構(gòu)建線段探測(cè)單元;其中,所述線段探測(cè)單元包括Lc、Ll和Lr,其中,所述Lc表示所述圖像中待檢測(cè)像素點(diǎn)的灰度值之和;所述Ll表示與所述待檢測(cè)像素點(diǎn)左側(cè)相距wu大小的灰度值之和;所述Lr表示與所述待檢測(cè)像素點(diǎn)右側(cè)相距wu大小的灰度值之和;所述wu表示所述線段探測(cè)單元的寬度;

根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

I(u,v)>T1,Lc>Ll+T2且Lc>Lr+T2;

其中,所述I(u,v)表示所述大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像中像素點(diǎn)(u,v)的灰度值;所述u表示所述像素點(diǎn)的橫坐標(biāo);所述v表示所述像素點(diǎn)的縱坐標(biāo);所述T1表示第一閾值;所述T2表示第二閾值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述利用Gabor濾波器,構(gòu)建線段探測(cè)單元具體包括:

利用所述Gabor濾波器,構(gòu)建0°、45°、90°和135°方向的線段探測(cè)單元;

將所述線段探測(cè)單元的形狀確定為與所述Gabor濾波器的明暗條紋一致;

將所述線段探測(cè)單元的方向確定為與所述Gabor濾波器的方向一致;

根據(jù)所述線段探測(cè)單元的寬度來(lái)確定所述線段探測(cè)單元的形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一閾值通過(guò)背景采樣來(lái)確定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一閾值通過(guò)背景采樣來(lái)確定具體包括:

根據(jù)下式來(lái)確定所述第一閾值:

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其中,所述W表示大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)子圖像的寬;所述H表示所述大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)子圖像的高;所述n表示水平方向背景采樣的間距;所述m表示豎直方向背景采樣的間距;所述n1表示水平方向背景采樣點(diǎn)的數(shù)目;所述n2表示豎直方向背景采樣點(diǎn)的數(shù)目;所述I表示暗場(chǎng)圖像;所述ξ表示背景灰度的補(bǔ)償值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法還包括:

將|Lc-Ll|或|Lc-Lr|相差最大的方向確定為潛在劃痕的主方向;

在所述主方向下根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

|Ll-Lr|<T3;

其中,所述T3表示第三閾值。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法還包括:

將|Lc-Ll|或|Lc-Lr|相差最大的方向確定為潛在劃痕的主方向;

在所述主方向下根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

Ll>T4且Lr>T4;

其中,所述T4表示第四閾值。

7.一種大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像的二值化系統(tǒng),其特征在,所述系統(tǒng)包括:

構(gòu)建模塊,用于基于所述大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像,利用Gabor濾波器,構(gòu)建線段探測(cè)單元;其中,所述線段探測(cè)單元包括Lc、Ll和Lr,其中,所述Lc表示所述圖像中待檢測(cè)像素點(diǎn)的灰度值之和;所述Ll表示與所述待檢測(cè)像素點(diǎn)左側(cè)相距wu大小的灰度值之和;所述Lr表示與所述待檢測(cè)像素點(diǎn)右側(cè)相距wu大小的灰度值之和;所述wu表示所述線段探測(cè)單元的寬度;

第一二值化模塊,與所述構(gòu)建模塊相連,用于根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

I(u,v)>T1,Lc>Ll+T2且Lc>Lr+T2;

其中,所述I(u,v)表示所述大口徑光學(xué)元件表面劃痕暗場(chǎng)圖像中像素點(diǎn)(u,v)的灰度值;所述u表示所述像素點(diǎn)的橫坐標(biāo);所述v表示所述像素點(diǎn)的縱坐標(biāo);所述T1表示第一閾值;所述T2表示第二閾值。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,所述構(gòu)建模塊具體包括:

構(gòu)建單元,用于利用所述Gabor濾波器,構(gòu)建0°、45°、90°和135°方向的線段探測(cè)單元;

第一確定單元,用于將所述線段探測(cè)單元的形狀確定為與所述Gabor濾波器的明暗條紋一致;

第二確定單元,用于將所述線段探測(cè)單元的方向確定為與所述Gabor濾波器的方向一致;

第三確定單元,用于根據(jù)所述線段探測(cè)單元的寬度來(lái)確定所述線段探測(cè)單元的形狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:

第一確定模塊,用于將|Lc-Ll|或|Lc-Lr|相差最大的方向確定為潛在劃痕的主方向;

第二二值化模塊,用于在所述主方向下根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

|Ll-Lr|<T3

其中,所述T3表示第三閾值。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括:

第二確定模塊,用于將|Lc-Ll|或|Lc-Lr|相差最大的方向確定為潛在劃痕的主方向;

第三二值化模塊,用于在所述主方向下根據(jù)下式對(duì)所述待檢測(cè)像素點(diǎn)進(jìn)行二值化:

Ll>T4且Lr>T4

其中,所述T4表示第四閾值。

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