數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)生成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)生成方法，生成用于與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)地使基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)(configurat1n data)。此外，在基板處理裝置中具有對基板實施刻蝕、顯影、清洗以及干燥等處理的裝置。另外，該基板包括:半導(dǎo)體晶圓、光掩模用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、FED (FieldEmiss1n Display,場發(fā)射顯示)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板等各種基板。
【背景技術(shù)】
[0002]為了制造半導(dǎo)體裝置、液晶顯示裝置等電子部件，而提供了各種基板處理裝置?；逄幚硌b置是按訂單設(shè)計生產(chǎn)型的產(chǎn)品，即使是同一機型，各個產(chǎn)品的硬件、機構(gòu)等也經(jīng)常不同。因此，當生成用于控制基板處理裝置的軟件時，例如專利文獻I所記載的那樣，生成配置數(shù)據(jù)。即，使作為軟件核心的計算機程序通用于各種基板處理裝置，另一方面，通過配置，根據(jù)各裝置的發(fā)送地、用戶要求、產(chǎn)品規(guī)格等來切換計算機程序的各個功能。此處，“產(chǎn)品規(guī)格”是由構(gòu)成產(chǎn)品的構(gòu)成部件和各部件的功能來決定的。而且，在本說明書中，將包含有“產(chǎn)品規(guī)格”、“發(fā)送地”以及“用戶要求”的事項僅稱為“規(guī)格”。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻I JP特表2007-523407號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明想要解決的問題
[0007]但是，隨著產(chǎn)品數(shù)量的增多，規(guī)格數(shù)量也變多，據(jù)此配置數(shù)據(jù)中所包含的設(shè)定項目的數(shù)量也變得巨大。因此，產(chǎn)生如下的問題。產(chǎn)生的第一個問題就是生成數(shù)據(jù)需要大量的工作量。另外，當生成數(shù)據(jù)時容易產(chǎn)生表述錯誤，也變得難以判斷數(shù)據(jù)的合理性。因此，現(xiàn)狀是就生成高品質(zhì)的配置數(shù)據(jù)來講，要求高度的專業(yè)性。
[0008]為了解決如這樣的問題，已經(jīng)考慮到對生成的配置數(shù)據(jù)進行知識管理(knowledgemanagement)。但是,完全沒有與基板處理裝置的軟件開發(fā)相適合的知識管理技術(shù)。
[0009]本發(fā)明鑒于上述問題，其目的在于，提供一種數(shù)據(jù)生成技術(shù)，利用較少的操作工作量，與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)地生成使該基板處理裝置工作的高品質(zhì)的配置數(shù)據(jù)。
[0010]用于解決問題的手段
[0011]本發(fā)明的一個實施方式為一種數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，用于與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)地生成使基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)，具有:存儲部，以層級結(jié)構(gòu)存儲互不相同的多個規(guī)格以及互不相同的多個配置數(shù)據(jù)，并且存儲表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級之間的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息；規(guī)格取得部，取得基板處理裝置的規(guī)格；數(shù)據(jù)生成部，基于關(guān)聯(lián)信息，從多個配置數(shù)據(jù)中選擇與由規(guī)格取得部取得的規(guī)格相對應(yīng)的配置數(shù)據(jù)，生成用于使具有由規(guī)格取得部取得的規(guī)格的基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)。
[0012]另外，本發(fā)明的另一個實施方式為一種數(shù)據(jù)生成方法，用于與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)地生成使基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)，包括:生成知識數(shù)據(jù)庫的工序，知識數(shù)據(jù)庫包含層級化信息和關(guān)聯(lián)信息，層級化信息用于預(yù)先使互不相同的多個規(guī)格以及互不相同的多個配置數(shù)據(jù)成為層級結(jié)構(gòu)，關(guān)聯(lián)信息表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級之間的關(guān)聯(lián)；選擇配置數(shù)據(jù)的工序，基于關(guān)聯(lián)信息，從知識數(shù)據(jù)庫中選擇與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)的配置數(shù)據(jù)；將選擇出的配置數(shù)據(jù)作為用于使基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)的工序。
[0013]此外，在本說明書中的“知識”是指，用于決定數(shù)據(jù)的對應(yīng)關(guān)系的總體知識的意思(見識的總體)。例如這樣的知識:“在基板處理裝置中，為了實現(xiàn)A功能，該基板處理裝置需要有X單元”的知識；“在使用X單元的情況下，需要關(guān)聯(lián)的部件a、b，而不需要部件c”的知識；“就交付給X國的Y工廠的基板處理裝置而言，雖然Zl要求是可選擇的，但是Z2要求在安全規(guī)格上是無法選擇的”的知識等。上述關(guān)聯(lián)信息相當于知識。另外，將上述關(guān)聯(lián)信息與規(guī)格以及配置數(shù)據(jù)一起包含在內(nèi)的數(shù)據(jù)庫相當于“知識數(shù)據(jù)庫”。
[0014]發(fā)明的效果
[0015]如上述，在本發(fā)明中，配置數(shù)據(jù)與基板處理裝置的規(guī)格相關(guān)聯(lián)在一起并層級結(jié)構(gòu)化。如這樣，以軟件的開發(fā)者(以下，稱為“操作者”)容易理解的形態(tài)，將規(guī)格和配置數(shù)據(jù)形成知識數(shù)據(jù)庫。另外，在該知識數(shù)據(jù)庫中包含表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級之間的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息。然后，基于關(guān)聯(lián)信息，從知識數(shù)據(jù)庫中選擇與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)的配置數(shù)據(jù)。因此，能夠削減當生成數(shù)據(jù)時的操作者的工作量以及表述錯誤。另外，也變得容易判斷數(shù)據(jù)的合理性。因此，能夠利用較少的操作工作量來生成高品質(zhì)的配置數(shù)據(jù)。
【附圖說明】
[0016]圖1是示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)的一個實施方式的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0017]圖2是概念性地示出圖1的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中所存儲的知識數(shù)據(jù)庫的結(jié)構(gòu)的圖。
[0018]圖3是示出知識數(shù)據(jù)庫中所包含的發(fā)送地數(shù)據(jù)層的一個例子的圖。
[0019]圖4是示出知識數(shù)據(jù)庫中所包含的用戶要求數(shù)據(jù)層的一個例子的圖。
[0020]圖5是示出知識數(shù)據(jù)庫中所包含的產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層的一個例子的圖。
[0021]圖6是示出知識數(shù)據(jù)庫中所包含的關(guān)聯(lián)信息表的一個例子的圖。
[0022]圖7是示出圖1所示的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)的工作的流程圖。
[0023]圖8是示出圖1所示的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)的工作的流程圖。
[0024]圖9是示出由圖1所示的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)生成的配置數(shù)據(jù)的一個例子的圖。
[0025]圖10是概念性地示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中的正方向的可視化功能的圖。
[0026]圖11是概念性地示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中的正方向的可視化功能的圖。
[0027]圖12是概念性地示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中的逆方向的可視化功能的圖。
[0028]圖13是概念性地示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中的逆方向的可視化功能的圖。
【具體實施方式】
[0029]圖1是示出本發(fā)明的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)的一個實施方式的結(jié)構(gòu)的框圖。數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I具有:用于與基板處理裝置的規(guī)格相對應(yīng)地生成使該裝置工作的配置數(shù)據(jù)的系統(tǒng)服務(wù)器100 ;搭載有WEB瀏覽器的客戶終端200。這些系統(tǒng)服務(wù)器100和客戶終端200能夠經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)300進行通信，該通信網(wǎng)絡(luò)300例如是使用TCP/IP (Transmiss1n Control Protocol/Internet Protocol,傳輸控制協(xié)議/互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議)等標準規(guī)范化的通信協(xié)議的互聯(lián)網(wǎng)。
[0030]客戶終端200具有:終端王體210,液晶顯不器等顯不部220,具有鍵盤、鼠標等的操作部230。在終端主體210中內(nèi)置有:控制單元211、用于與系統(tǒng)服務(wù)器100之間進行通信的通信 I/F (Interface:接口)212?？刂茊呜?11 以具有CPU (Central Processing Unit,中央處理器)以及存儲器等的計算機作為主體，根據(jù)預(yù)先存儲于存儲器中的程序來啟動WEB瀏覽器，將由系統(tǒng)服務(wù)器100創(chuàng)建的顯示信息反映在顯示部220上。此外，雖然在圖1所示的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I中，對應(yīng)于系統(tǒng)服務(wù)器100設(shè)有2臺客戶終端200，但是客戶終端200的臺數(shù)并不限定于此，而是任意的。
[0031]系統(tǒng)服務(wù)器100具有:控制單元110、用于與客戶終端200之間進行通信的通信I/F120、存儲知識數(shù)據(jù)庫的存儲部130。
[0032]圖2是概念性地示出在圖1的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中所存儲的知識數(shù)據(jù)庫的結(jié)構(gòu)的圖。此外，圖2中的附圖標記CD表示配置數(shù)據(jù)，在其他的附圖中適當?shù)貙⑴渲脭?shù)據(jù)省略表示為“CD”。
[0033]知識數(shù)據(jù)庫具有4個數(shù)據(jù)層131?134以及3個表135?137 (圖1)。在這些數(shù)據(jù)層中，配置數(shù)據(jù)層134由存儲于存儲部130的多個配置數(shù)據(jù)形成。剩下的數(shù)據(jù)層131?133由生成配置數(shù)據(jù)所必需的，與基板處理裝置的各種規(guī)格相關(guān)的數(shù)據(jù)形成。在本實施方式中，設(shè)定“發(fā)送地”、“用戶要求”以及“產(chǎn)品規(guī)格”這3種基板處理裝置的規(guī)格，作為配置數(shù)據(jù)的生成對象。與這些發(fā)送地、用戶要求以及產(chǎn)品規(guī)格相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)分別劃分為發(fā)送地數(shù)據(jù)層131 (圖3)、用戶要求數(shù)據(jù)層132 (圖4)以及產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133 (圖5)，并存儲于存儲部130中。這樣，數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I分層級保存與上述規(guī)格相關(guān)的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I通過顯示可選擇的規(guī)格數(shù)據(jù)以供操作者選擇，自動決定并連鎖顯示與由操作者指定的規(guī)格數(shù)據(jù)相符合的其他規(guī)格數(shù)據(jù)，與操作者協(xié)作生成配置數(shù)據(jù)。詳細情況后述。
[0034]例如圖3所示，在發(fā)送地中，包含設(shè)置基板處理裝置的國家、公司、工廠等。在圖3的發(fā)送地數(shù)據(jù)層1