31中容納有形成為二級結(jié)構(gòu)的多個發(fā)送地數(shù)據(jù)。例如，在IDl “美國”下面還關(guān)聯(lián)有帶著“母發(fā)送地ID1”的值的ID4 “X公司”以及ID5 “Y公司”。進一步地，在該ID5 “Y公司”下面還關(guān)聯(lián)有帶著“母發(fā)送地ID5”的值的ID6 “Y公司Yl工廠”以及ID7 “Y公司Y2工廠”。因此，通過參照發(fā)送地數(shù)據(jù)層131，能夠自動確定與I個發(fā)送地數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的I個至多個發(fā)送地數(shù)據(jù)。此外，不僅可以如“美國”一“Y公司”一“Y公司Yl工廠”、“Y公司Y2工廠”這樣從上層到下層追溯關(guān)聯(lián)關(guān)系，也能夠如“Y公司Y2工廠”一“Y公司”一“美國”這樣從下層到上層追溯關(guān)聯(lián)關(guān)系。
[0035]用戶要求數(shù)據(jù)層132容納有來自用戶的與基板處理裝置相關(guān)的典型的要求，來作為用戶要求數(shù)據(jù)。如圖4所示，該用戶要求數(shù)據(jù)是例如“在通常用一種藥液進行處理時，想要用兩種藥液進行處理”或者“想要通過使軸的驅(qū)動在中途變速，來提高晶圓清洗能力”這樣的內(nèi)容。將本數(shù)據(jù)層132中所容納的數(shù)據(jù)也層級結(jié)構(gòu)化，以使得能夠掌握各用戶要求數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)性。例如，由于就實現(xiàn)ID2的“軸的驅(qū)動中途變速”來講，不可缺少ID3的“軸的低速驅(qū)動”，所以將ID2的用戶要求和ID3的用戶要求通過母要求-子要求的關(guān)系進行關(guān)聯(lián)。即，在母要求無效的狀態(tài)下，也無法使子要求有效。如這樣，通過使用戶要求數(shù)據(jù)層級結(jié)構(gòu)化，只通過選擇I個用戶要求，就能夠自動設(shè)定與該用戶要求相關(guān)聯(lián)的I個至多個用戶要求。
[0036]另外，因各個發(fā)送地而不同而用戶要求也多有不同。因此，在本實施方式中，將與發(fā)送地相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)分配到與用戶要求相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的上級的位置，發(fā)送地數(shù)據(jù)層131與用戶要求數(shù)據(jù)層132以層級結(jié)構(gòu)化的狀態(tài)存儲于存儲部130中。
[0037]進一步地，例如圖6的(a)部分所示，將發(fā)送地與用戶要求關(guān)聯(lián)起來的信息匯總到發(fā)送地-用戶要求關(guān)聯(lián)信息表(以下，僅稱為“上級表”)135中，并存儲于存儲部130。例如，如圖6的(a)部分的IDl的行所示，將用戶要求ID2與發(fā)送地ID4(圖3的ID4 “X公司”)關(guān)聯(lián)在一起。因此，在由操作者選擇了發(fā)送地ID4的情況下，要求ID2的用戶要求數(shù)據(jù)變?yōu)橛行?。另外，將用戶要求ID3與發(fā)送地ID7(圖3的ID7 “Y公司Y2工廠”)關(guān)聯(lián)在一起。因此，在由操作者選擇了發(fā)送地ID7的情況下，要求ID3的用戶要求數(shù)據(jù)變?yōu)橛行?。如這樣，當指定發(fā)送地時,能夠基于上級表135，自動決定用戶所要求的內(nèi)容。
[0038]從經(jīng)驗上可知，若決定了用戶要求，則能夠在某種程度(或者，某種范圍)上決定與此相對應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)格。因此，在本實施方式中，將與用戶要求相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)分配到與產(chǎn)品規(guī)格相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的上級的位置，“用戶要求數(shù)據(jù)層132”和“產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133”以層級結(jié)構(gòu)化的狀態(tài)存儲于存儲部130。在產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133中，包含選項的部件、功能，并對這些部件、功能進行數(shù)據(jù)庫管理，這些部件、功能是指，產(chǎn)品(基板處理裝置)由什么樣的部件構(gòu)成、各個部件具有什么樣的功能這樣的事項(針對產(chǎn)品(基板處理裝置)由什么樣的部件構(gòu)成、各部件具有什么樣的功能這樣的事項，將選項(備選)的部件、功能包含在內(nèi)進行數(shù)據(jù)庫管理)。
[0039]圖5示出在本實施方式中采用的產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層的一個例子。特別是，該圖5的(a)部分是用于說明產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層的類圖，按照統(tǒng)一建模語言(UML:Unified ModelingLanguage,統(tǒng)一建模語言)來記載,該統(tǒng)一建模語言是為了軟件工程學(xué)中的對象建模而標準化的規(guī)格表述語言。在圖5的(a)部分中，附圖標記133a?133c分別是“項目類”、“部件類”以及“功能類”。項目類133a是作為產(chǎn)品的構(gòu)成要素的部件的型號，能夠具有多個部件、功能，具有“名稱”作為屬性。在本實施方式中，如該圖5的(b)部分所示，作為構(gòu)成基板處理裝置的項目的名稱包括“半導(dǎo)體清洗裝置”、“旋轉(zhuǎn)處理單元”等。另外，部件類133b是產(chǎn)品的構(gòu)成要素，具有“名稱”、“母項目”、“型號項目”以及“選擇類別(必需、可選)”作為屬性。如該圖5的(c)部分所示，在本實施方式中的部件，以品種作為母項目，且名稱為“產(chǎn)品001”、“單元001”等。功能類133c具有“名稱”、“母項目/功能”以及“選擇類別(必需、可選)”作為屬性。如該圖5的(d)部分所示，在本實施方式中的功能，具有品種和功能來作為母項目，且名稱為“功能001”、“功能002”等。
[0040]在產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133中規(guī)定了，在基板處理裝置中有可能采用的部件或者功能的相互關(guān)系、必需/可選的區(qū)別。在產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133中，如部件表(圖5的(c)部分)所示，將項目與部件關(guān)聯(lián)在一起。例如，將2種旋轉(zhuǎn)處理單元，S卩，“單元001”(ID6)以及“單元002”(ID7)與半導(dǎo)體清洗裝置(ID1，名稱:“產(chǎn)品001”)關(guān)聯(lián)在一起。如在ID6的選擇類別列中所示，“單元001”為必需要素，而“單元002”為可選要素。另外，將“器件001 (ID8，名稱:馬達)”和“器件002(ID9，名稱:馬達)”分別作為可選部件，與在旋轉(zhuǎn)處理單元(ID2)關(guān)聯(lián)在一起。進一步地，如功能表(圖5的(d)部分)所示，在產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133中，將項目與功能關(guān)聯(lián)在一起。例如，將“功能001”作為必需要素，與半導(dǎo)體清洗裝置關(guān)聯(lián)在一起。另外，將“功能002”作為可選功能，與該“功能001”關(guān)聯(lián)在一起。如這樣，功能表通過多層結(jié)構(gòu)來保持數(shù)據(jù)。
[0041]另外，如圖6的(b)部分所示，將關(guān)聯(lián)用戶要求與產(chǎn)品規(guī)格的信息匯總到用戶要求-產(chǎn)品規(guī)格關(guān)聯(lián)信息表(以下，僅稱為“中間表”)136中，并存儲于存儲部130中。例如，如IDl的行中所示，在要求IDl “有效”的情況下，設(shè)定為采用規(guī)格ID5(圖5的(c)部分所示的“產(chǎn)品001”)與規(guī)格ID7( “單元002”)的組合作為產(chǎn)品規(guī)格。同樣地，如ID2的行所示，在要求ID2 “有效”的情況下，設(shè)定為采用規(guī)格ID5( “產(chǎn)品001”)和規(guī)格ID6( “單元002”)和規(guī)格ID8( “器件001”)的組合作為產(chǎn)品規(guī)格。另外，如ID3的行所示，在要求ID2 “有效”的情況下，設(shè)定為不采用規(guī)格ID5( “產(chǎn)品001”)和規(guī)格ID6( “單元002”)和規(guī)格ID9( “器件002”)的組合作為產(chǎn)品規(guī)格。如這樣，能夠基于用戶要求和中間表136自動地決定產(chǎn)品規(guī)格。
[0042]進一步地，如果決定了產(chǎn)品規(guī)格，則能夠自動決定與此相對應(yīng)的配置數(shù)據(jù)。因此，將與產(chǎn)品規(guī)格相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)分配到配置數(shù)據(jù)的上級的位置，“產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層133”和“配置數(shù)據(jù)層134”以層級結(jié)構(gòu)化的狀態(tài)存儲于存儲部130中。另外，將關(guān)聯(lián)產(chǎn)品規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的信息匯總到產(chǎn)品規(guī)格-配置數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)信息表(以下，僅稱為“下級表”)137中，并存儲于存儲部130中。因此，能夠基于產(chǎn)品規(guī)格和下級表137自動地決定配置數(shù)據(jù)。
[0043]在本實施方式中，例如圖2所示，按照發(fā)送地、用戶要求、產(chǎn)品規(guī)格以及配置數(shù)據(jù)的順序進行層級結(jié)構(gòu)化，并且基于發(fā)送地-用戶要求關(guān)聯(lián)信息、用戶要求-產(chǎn)品規(guī)格關(guān)聯(lián)信息以及產(chǎn)品規(guī)格-配置數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)信息，將各規(guī)格以及配置數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)在一起。
[0044]返回圖1，繼續(xù)說明數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I的結(jié)構(gòu)?？刂茊卧?10以具有CPU以及存儲器等的計算機作為主體，根據(jù)預(yù)先存儲于存儲器中的程序，實現(xiàn)顯示控制部111、規(guī)格取得部112、數(shù)據(jù)生成部113以及選擇數(shù)據(jù)取得部114的功能。在控制單元110中，WWW(fforIdWide Web，互聯(lián)網(wǎng)、萬維網(wǎng))服務(wù)器程序工作，使得能夠從客戶終端200的WEB瀏覽器閱覽存儲于存儲器的顯示信息。
[0045]顯示控制部111控制上述顯示信息，以切換顯示于WEB瀏覽器上的顯示內(nèi)容。例如，當操作者操作客戶終端200的WEB瀏覽器要求整體顯示知識數(shù)據(jù)庫時，顯示控制部111基于存儲于存儲部130中的數(shù)據(jù)層131?134以及表135?137，例如圖2所示，創(chuàng)建將知識數(shù)據(jù)庫分層轉(zhuǎn)化為圖表的顯示信息。這樣，利用WEB瀏覽器在顯示部220上顯示如圖2所示的圖表。此外，圖2是概念性地示出知識數(shù)據(jù)庫的圖，為了容易理解概念，示出大幅度地縮減各數(shù)據(jù)層中的數(shù)據(jù)數(shù)量還有各關(guān)聯(lián)信息的數(shù)量的狀態(tài)。另外，根據(jù)需要，能夠切換為僅顯示轉(zhuǎn)化為圖表的與由規(guī)格取得部112取得的規(guī)格相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)、信息(圖10)，或者切換為僅顯示轉(zhuǎn)化為圖表的與由選擇數(shù)據(jù)取得部114取得的配置數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)、信息(圖12)。這樣，精確地使知識數(shù)據(jù)庫的一部分視覺化，對于所謂的數(shù)據(jù)庫的可視化，在后文詳述。
[0046]規(guī)格取得部112取得操作者通過客戶終端200輸入的與規(guī)格相關(guān)的信息，并將該規(guī)格信息賦予數(shù)據(jù)生成部113。另外，選擇數(shù)據(jù)取得部114取得操作者通過客戶終端200選擇的與配置數(shù)據(jù)相關(guān)的信息，并將該選擇數(shù)據(jù)信息賦予數(shù)據(jù)生成部11