層、產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層的數(shù)據(jù)時(shí)，也能夠在顯示部220上顯示以此作為起點(diǎn)并向正方向波及的影響。
[0065]另外，在本畫面中，也能夠變更各種規(guī)格。例如，使得由操作者將發(fā)送地從發(fā)送地E變更為發(fā)送地B。在該情況下，如圖11所示，按順序改寫發(fā)送地?cái)?shù)據(jù)層131的下級(jí)的數(shù)據(jù)層，并且利用可視化程序，向操作者直觀地顯示用戶要求數(shù)據(jù)層132中的規(guī)格變更的連鎖式影響。另外，在本畫面中也能夠進(jìn)行如在圖7的步驟S6中說(shuō)明的用戶要求、產(chǎn)品規(guī)格的設(shè)定變更，在該情況下也能夠使操作者直觀地理解如圖11那樣的連鎖式影響。
[0066]圖12是概念性地示出圖1的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)中的反方向的可視化功能的圖。在該數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)I中，當(dāng)操作者操作客戶終端200的操作部230以執(zhí)行反方向的可視化功能時(shí)，系統(tǒng)服務(wù)器100的控制單元110根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器的反方向可視化程序而工作。更詳細(xì)地，執(zhí)行與正方向剛好相反的方向的可視化。即，當(dāng)操作者通過(guò)WEB瀏覽器選擇希望可視化的數(shù)據(jù)(例如在圖12中是配置數(shù)據(jù)層中的配置數(shù)據(jù)B)時(shí)，在顯示部220上僅顯示該選擇數(shù)據(jù)以及受到來(lái)自該選擇數(shù)據(jù)的影響的上級(jí)數(shù)據(jù)層的數(shù)據(jù)(圖12)。通過(guò)這樣，根據(jù)在顯示部220上顯示的圖表，能夠直觀且容易地理解在起點(diǎn)上向反方向波及選擇數(shù)據(jù)的影響。此外，在圖12所示的一個(gè)例子中選擇了配置數(shù)據(jù)，但在選擇用戶要求數(shù)據(jù)層、產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層的數(shù)據(jù)時(shí)，也能夠在顯示部220上顯示以此作為起點(diǎn)并向反方向波及的影響。
[0067]此外，在本畫面中還能夠變更各種規(guī)格，以及變更用戶要求、產(chǎn)品使用的設(shè)定。例如，當(dāng)操作者利用鼠標(biāo)等將配置數(shù)據(jù)從數(shù)據(jù)B變更為數(shù)據(jù)E時(shí)，反方向可視化程序?qū)D12的畫面變更為圖13的畫面。
[0068]可知，當(dāng)在起點(diǎn)上向反方向追溯配置數(shù)據(jù)E時(shí)，不需要取得配置數(shù)據(jù)B，而需要產(chǎn)品規(guī)格E。另外，還可知不與用戶要求B相對(duì)應(yīng)。創(chuàng)建/編輯配置數(shù)據(jù)的操作者通過(guò)參照?qǐng)D13的畫面，能夠直觀地理解配置數(shù)據(jù)的修正會(huì)給上游側(cè)帶來(lái)什么樣的變更。
[0069]如以上所述，通過(guò)設(shè)置可視化功能，即使是沒(méi)有技巧的操作者，也能夠直觀地理解某個(gè)層的選擇數(shù)據(jù)會(huì)怎樣對(duì)其他層的數(shù)據(jù)造成影響。因此，操作者能夠正確地設(shè)定項(xiàng)目。另夕卜，利用可視化功能，能夠很容易判斷關(guān)聯(lián)信息的正誤、缺失等，并適當(dāng)?shù)馗玛P(guān)聯(lián)信息。進(jìn)一步地，利用可視化功能，當(dāng)對(duì)知識(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中設(shè)定的數(shù)據(jù)進(jìn)行微調(diào)整時(shí)，能夠使用在顯示部220上顯示的圖表作為參考。通過(guò)這樣，能夠高效地刷新知識(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)。
[0070]此外，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，只要不脫離其主旨，除了上述的以外還能夠進(jìn)行各種變更。例如，雖然在上述實(shí)施方式中，以XML格式表述配置數(shù)據(jù)，但是數(shù)據(jù)格式并不限定于此，也可以使用CSV(Comma Separated Values,逗號(hào)分隔值)格式、INI格式等其他的格式。另外，若配置數(shù)據(jù)是CSV格式或者INI格式，則優(yōu)選使用關(guān)系型數(shù)據(jù)庫(kù)，但是數(shù)據(jù)庫(kù)的種類也不限定于上述的XML數(shù)據(jù)庫(kù)、關(guān)系型數(shù)據(jù)庫(kù)，數(shù)據(jù)庫(kù)的種類也與數(shù)據(jù)格式同樣，是任意的。
[0071]另外，在上述實(shí)施方式中，雖然設(shè)有客戶終端200，并通過(guò)該客戶終端200啟動(dòng)WEB瀏覽器以進(jìn)行各種數(shù)據(jù)選擇、數(shù)據(jù)編輯等，但是客戶終端200不是本發(fā)明的必要結(jié)構(gòu)。即，也可以構(gòu)成為在系統(tǒng)服務(wù)器100上裝備有顯示部、操作部，并由系統(tǒng)服務(wù)器100執(zhí)行全部處理。
[0072]另外，在上述實(shí)施方式中，設(shè)定發(fā)送地、用戶要求以及產(chǎn)品規(guī)格并作為基板處理裝置的規(guī)格，雖然使這3種規(guī)格層級(jí)結(jié)構(gòu)化并存儲(chǔ)，但是對(duì)基板處理裝置的規(guī)格的種類、層數(shù)來(lái)講是任意的。但是，在基板處理裝置的規(guī)格由2種或者4種以上構(gòu)成的情況下，與上述實(shí)施方式同樣地，需要事先創(chuàng)建表示層級(jí)之間的規(guī)格關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息，并將其存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部130 中。
[0073]進(jìn)一步地，在上述實(shí)施方式中，暫時(shí)地保存在步驟S6等中生成的沒(méi)有轉(zhuǎn)化為知識(shí)的關(guān)聯(lián)性信息，而并不作為永久信息來(lái)存儲(chǔ)。但是，也可以將該信息作為永久信息反映在發(fā)送地-用戶要求關(guān)聯(lián)信息表135等表中。
[0074]產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
[0075]本發(fā)明能夠普遍地適用于，用于與基板處理裝置的規(guī)格相對(duì)應(yīng)地生成使基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)生成技術(shù)。
[0076]附圖標(biāo)記的說(shuō)明
[0077]L...數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)
[0078]100…系統(tǒng)服務(wù)器
[0079]110…控制單元
[0080]111…顯示控制部
[0081]112…規(guī)格取得部
[0082]113…數(shù)據(jù)生成部
[0083]114…選擇數(shù)據(jù)取得部
[0084]130…存儲(chǔ)部
[0085]131…發(fā)送地?cái)?shù)據(jù)層
[0086]132…用戶要求數(shù)據(jù)層
[0087]133…產(chǎn)品規(guī)格數(shù)據(jù)層
[0088]134…配置數(shù)據(jù)層
[0089]135…發(fā)送地-用戶要求關(guān)聯(lián)信息表
[0090]136…用戶要求-產(chǎn)品規(guī)格關(guān)聯(lián)信息表
[0091]137…產(chǎn)品規(guī)格-配置數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)信息表
[0092]220…顯示部
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，用于與基板處理裝置的規(guī)格相對(duì)應(yīng)地生成使所述基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)，其特征在于，具有: 存儲(chǔ)部，以層級(jí)結(jié)構(gòu)存儲(chǔ)互不相同的多個(gè)規(guī)格以及互不相同的多個(gè)配置數(shù)據(jù)，并且存儲(chǔ)表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級(jí)之間的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息， 規(guī)格取得部，取得所述基板處理裝置的規(guī)格， 數(shù)據(jù)生成部，基于所述關(guān)聯(lián)信息，從所述多個(gè)配置數(shù)據(jù)中選擇與由所述規(guī)格取得部取得的規(guī)格相對(duì)應(yīng)的配置數(shù)據(jù)，生成用于使具有由所述規(guī)格取得部取得的規(guī)格的基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于， 所述存儲(chǔ)部，還以層級(jí)結(jié)構(gòu)存儲(chǔ)所述多個(gè)規(guī)格，并且存儲(chǔ)表示層級(jí)之間的規(guī)格的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于，還具有: 顯示部，顯示所述多個(gè)規(guī)格與所述多個(gè)配置數(shù)據(jù)的層級(jí)結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于， 如果所述規(guī)格取得部取得了規(guī)格，則所述顯示部選擇性地僅顯示由所述規(guī)格取得部取得的該規(guī)格以及與該規(guī)格相關(guān)聯(lián)的配置數(shù)據(jù)的層級(jí)結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求3所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于， 還具有數(shù)據(jù)選擇部，該數(shù)據(jù)選擇部從所述多個(gè)配置數(shù)據(jù)中接受一個(gè)選擇出的配置數(shù)據(jù)， 如果所述數(shù)據(jù)選擇部接受了從配置數(shù)據(jù)中選擇出的配置數(shù)據(jù)，則所述顯示部?jī)H選擇性地顯示出由所述數(shù)據(jù)選擇部接受的配置數(shù)據(jù)以及與該配置數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的規(guī)格的層級(jí)結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于， 當(dāng)與所述規(guī)格取得部所取得的規(guī)格相對(duì)應(yīng)的配置數(shù)據(jù)沒(méi)有被包含于所述存儲(chǔ)部中時(shí)，所述數(shù)據(jù)生成部允許編輯與該規(guī)格相對(duì)應(yīng)的配置數(shù)據(jù)。
7.如權(quán)利要求6所述的數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)，其特征在于，包括: 所述數(shù)據(jù)生成部，將編輯過(guò)的該配置數(shù)據(jù)以及該配置數(shù)據(jù)與所述規(guī)格取得部取得的規(guī)格的關(guān)聯(lián)信息寫入所述存儲(chǔ)部。
8.一種數(shù)據(jù)生成方法，用于與基板處理裝置的規(guī)格相對(duì)應(yīng)地生成使所述基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)，其特征在于，包括: 生成知識(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)的工序，所述知識(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)包含層級(jí)化信息和關(guān)聯(lián)信息，所述層級(jí)化信息用于預(yù)先使互不相同的多個(gè)規(guī)格以及互不相同的多個(gè)配置數(shù)據(jù)成為層級(jí)結(jié)構(gòu)，所述關(guān)聯(lián)信息表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級(jí)之間的關(guān)聯(lián)， 選擇配置數(shù)據(jù)的工序，基于所述關(guān)聯(lián)信息，從所述知識(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)中選擇與所述基板處理裝置的規(guī)格相對(duì)應(yīng)的配置數(shù)據(jù)， 將選擇出的配置數(shù)據(jù)作為用于使所述基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)的工序。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)生成方法，利用較少的操作工作量，生成用于與基板處理裝置的規(guī)格相對(duì)應(yīng)并使該基板處理裝置工作的高品質(zhì)的配置數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)生成系統(tǒng)具有：存儲(chǔ)部，以層級(jí)結(jié)構(gòu)存儲(chǔ)互不相同的多個(gè)規(guī)格以及互不相同的多個(gè)配置數(shù)據(jù)，并且存儲(chǔ)表示規(guī)格與配置數(shù)據(jù)的層級(jí)之間的關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)信息；規(guī)格取得部，取得基板處理裝置的規(guī)格；數(shù)據(jù)生成部，基于關(guān)聯(lián)信息，從多個(gè)配置數(shù)據(jù)中選擇與由規(guī)格取得部取得的規(guī)格相對(duì)應(yīng)的配置數(shù)據(jù)，生成用于使具有由規(guī)格取得部取得的規(guī)格的基板處理裝置工作的配置數(shù)據(jù)。
【IPC分類】G06F9-44, G05B19-042, H01L21-027
【公開(kāi)號(hào)】CN104685468
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380051038
【發(fā)明人】古田智靖
【申請(qǐng)人】斯克林集團(tuán)公司
【公開(kāi)日】2015年6月3日
【申請(qǐng)日】2013年5月30日
【公告號(hào)】US20150253763, WO2014050207A1