技術(shù)總結(jié)
一種薄膜晶體管的制造方法包括下列步驟。提供基板。形成柵極于基板。形成第一源極于基板。形成信道，其中信道的一端與第一源極接觸。形成阻擋層，阻擋層至少覆蓋信道與第一源極接觸的一端且暴露出信道的另一端。形成漏極，漏極與信道的另一端接觸。此外，一種利用上述方法所制作的薄膜晶體管亦被提出。

技術(shù)研發(fā)人員：黃彥余;張錫明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華映視訊（吳江）有限公司;中華映管股份有限公司
文檔號(hào)碼：201310342961
技術(shù)研發(fā)日：2013.08.08
技術(shù)公布日：2016.12.28