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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號:12473978閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括:

一中介層,具有一第一面及相對于第一面的第二面;

至少一有源芯片,通過多個第一凸塊安裝到所述第一面的一芯片接合區(qū)域內(nèi);

至少一虛設(shè)芯片,安裝到所述第一面的所述芯片接合區(qū)域旁的一周邊區(qū)域內(nèi);

一成型模料,設(shè)置在所述第一面上,并且所述成型模料覆蓋至少一所述有源芯片與至少一所述虛設(shè)芯片;以及

多個焊接凸塊,設(shè)置在所述第二面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述中介層包括一重布線層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述重布線層包括至少一介電層與至少一金屬層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述中介層不包括一穿硅通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述有源芯片為一具有特定功能的有源集成電路芯片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述有源芯片包括一繪圖處理器、一中央處理器,或一存儲器芯片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述虛設(shè)芯片為一虛設(shè)硅芯片。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述虛設(shè)芯片通過多個設(shè)置在所述周邊區(qū)域的虛設(shè)接墊上的第二凸塊安裝到所述第一面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述虛設(shè)芯片通過一黏著劑直接安裝到所述第一面上。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,另包括一鈍化層位于所述第二面上。

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