技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供薄膜晶體管。上述薄膜晶體管包括：基板；活性圖案，配置于上述基板上，包括氮化物；保護圖案，配置于上述活性圖案上，包括非氮化物；柵電極，與上述活性電極重疊；以及柵極絕緣膜，形成于上述柵電極及上述活性圖案之間。

技術(shù)研發(fā)人員：樸鎮(zhèn)成;玉敬喆;鄭賢浚
受保護的技術(shù)使用者：漢陽大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團
文檔號碼：201580049981
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.14
技術(shù)公布日：2017.05.31