(關聯(lián)申請的相互參照)

本申請基于2014年9月24日在日本申請的特愿2014-193581號和2015年8月10日在日本申請的特愿2015-158322號，主張優(yōu)先權，將其內容援引在此。

本發(fā)明涉及收納例如存積有抗蝕劑液、顯影液等半導體制造用的處理液的容器的容器收納裝置。

背景技術：

例如在半導體器件的制造工序中的光刻工序中，為了在晶片上涂敷抗蝕劑液形成抗蝕劑膜，或供給顯影液對抗蝕劑膜進行顯影處理，而進行各種液處理。這些一系列的液處理通過搭載有在各種液處理裝置、裝置間搬運晶片的搬運機構等的基板處理系統(tǒng)來進行。

在這樣的基板處理系統(tǒng)中，各種處理液從存積該處理液的容器供給到各種液處理裝置，但處理液中會使用例如抗蝕劑液、顯影液那樣多種處理液，另外，抗蝕劑液、顯影液其自身也會使用各種種類，因此，該基板處理系統(tǒng)中要配置多種處理液的容器。

因此，例如為了防止在更換使用空的容器時錯誤地與不同種類的容器更換的問題，例如專利文獻1中提出了管理各容器的方法。

在專利文獻1的方法中，預先在例如處理液的容器表面粘貼識別用的條形碼，在容器更換時讀取該條形碼，與預先注冊的數(shù)據(jù)進行比較，判定更換的容器的是否適合。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001-217217號公報

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術問題

但是，在上述的基板處理系統(tǒng)中，為了有效地收納多個容器，例如如圖29所示，使用具有在上下方向上設置為多層的擱板200的收納架201。而且，在各層擱板200配置多個容器210。

因此，在容器210變空時，為了從多個容器210中確定需要更換的容器210需要時間。特別是，通常容器210帶有顏色，無法從外部確認處理液的剩余量，另外，容器210的大小、形狀與處理液的種類無關而大致相同，因此，難以通過從外部的視覺辨認來確定變空的容器210。

因此，在容器210的更換作業(yè)時，有可能錯誤地更換與對象不同的容器210。而且，更換錯誤的容器210而處理液混合接觸時，需要進行處理液的系統(tǒng)的清洗等，因此，基板處理系統(tǒng)的恢復會耗費大量的時間和費用。

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于在短時間內確定成為更換對象的處理液的容器，并且防止更換錯誤的容器。

用于解決技術問題的技術方案

為了實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供一種收納多個存積有半導體制造用的處理液的容器的容器收納裝置，其包括：載置上述容器的多個載置臺；和移動部件，其配置在阻礙為了更換上述載置臺上的上述容器而使該容器從上述載置臺移動的位置，且在規(guī)定的條件成立時相對于上述載置臺上的容器的相對位置發(fā)生變化，從阻礙用于更換上述容器的移動的位置退避。

根據(jù)本發(fā)明，在阻礙為了更換容器而使該容器從載置臺移動的位置配置移動部件，該移動部件在規(guī)定條件成立時從阻礙用于更換容器的移動的位置退避。其中，規(guī)定的條件例如是容器內的處理液的液量低于規(guī)定的值，需要進行該容器的更換的情況等。因此，例如在更換處理液的液量低于規(guī)定的值的容器時，能夠防止錯誤更換與更換對象不同的容器、即移動部件沒有從阻礙容器的移動的位置退避的載置臺所對應的容器。另外，移動機構進行移動，因此，通過目測確認該移動機構的位置，能夠容易確定成為更換對象的容器。

另一觀點的本發(fā)明提供一種收納多個存積有導體制造用的處理液的容器的容器收納裝置，其包括：載置上述容器的多個載置臺；移動部件，其配置在阻礙為了更換上述載置臺上的上述容器而使該容器從上述載置臺移動的位置；驅動機構，其使上述移動部件移動；流量檢測機構，其檢測從上述容器向外部供給的處理液的流量；和控制部，其在上述流量檢測機構的檢測流量低于規(guī)定的值的情況下，以使上述移動部件從阻礙用于更換上述容器的移動的位置退避的方式控制上述驅動機構。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠在短時間內確定成為更換對象的處理液的容器，并且防止更換錯誤的容器。

附圖說明

圖1是表示本實施方式的容器收納裝置的構成的概略的正面圖。

圖2是表示載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖3是表示阻擋件的形狀的橫截面圖。

圖4是表示載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖5是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖6是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖7是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖8是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖9是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖10是表示保持部件的形狀的平面圖。

圖11是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖12是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖13是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖14是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖15是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖16是表示另一實施方式的保持部件的形狀的平面圖。

圖17是表示另一實施方式的保持部件的形狀的平面圖。

圖18是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖19是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖20是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖21是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖22是表示另一實施方式的保持部件的形狀的平面圖。

圖23是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的正面圖。

圖24是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的右側圖。

圖25是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖26是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖27是表示另一實施方式的載置臺附近的構成的概略的側面說明圖。

圖28是表示其他的本實施方式的容器收納裝置的構成的概略的正面圖。

圖29是表示現(xiàn)有的收納架的構成的概略的立體圖。

具體實施方式

以下，對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1是本實施方式的容器收納裝置1的正面圖。容器收納裝置1所收納的容器10存積例如半導體制造用的處理液。此外，作為處理液例如是抗蝕劑液、顯影液、用于形成防反射膜的藥液等。

容器收納裝置1包括收納架11、在收納架11內多層設置的擱板12和配置在擱板12的上表面的多個載置臺13。此外，在圖1中繪制了擱板12在上下方向上設置2層，在各擱板12的上表面沿著水平方向各自設置有4個載置臺13的狀態(tài)，但是，收納架11的形狀、擱板12、載置臺13的數(shù)量和配置不限于本實施方式的內容，能夠任意設定。另外，在上層側的擱板12的上方設置有頂板14。

在各載置臺13分別載置有存積處理液的容器10。在容器10的上方的開口部安裝有與插入容器10內部的供給管20一體連接的帽21。容器10內的處理液經由供給管20和帽21供給到容器10的外部。

例如如圖2所示，載置臺13包括：設置在擱板12的上表面的例如上表面開口的大致圓筒形狀的載置板30；在載置板30上表面在上下方向上延伸設置的彈簧31；設置在彈簧31的與載置板30相反一側的端部的、支承容器10的下表面的支承板32；與支承板32的下表面連接的作為位移傳遞部件的凸輪機構33；和通過凸輪機構33進行升降移動的作為移動部件的阻擋件34。支承板32的側面由例如圓筒形狀的引導件35可滑動地支承。因此，在支承板32載置容器10時，彈簧31根據(jù)該容器10內的處理液的液量進行伸縮而支承板32在上下方向上移動，該上下移動傳遞至凸輪機構33。

凸輪機構33例如包括與支承板32的下表面連接的連結棒40和可滑動地支承該連結棒40的軸承41。連結棒40具有多個可轉動的關節(jié)，以軸承41為視點可自由旋轉。連結棒40的與支承板32相反一側的端部與例如橢圓形的凸輪部件42可滑動地連接。因此，伴隨支承板32的上下移動，凸輪部件42經由連結棒40進行移動。

在凸輪部件42的上表面，例如經由與阻擋件34的下方連接的支承棒43支承阻擋件34。因此，通過使凸輪機構33動作，能夠使阻擋件34移動。此外，在圖2中繪制了例如容器10內的處理液充滿，阻擋件34移動至大致上限位置的狀態(tài)。另外，阻擋件34例如如圖3所示，具有覆蓋更換容器10時作業(yè)員接觸的面(圖3的左方向)的半圓筒形狀。此外，作為阻擋件34的形狀不限于本實施方式的形狀，例如可以為覆蓋容器10的外周的圓筒形狀，也可以為平板狀的部件。

本實施方式所涉及的容器收納裝置1如以上方式構成，接著，對容器收納裝置1中的容器10的更換作業(yè)進行說明。

如圖2所示，在容器10內充滿處理液的狀態(tài)下，根據(jù)該容器10的重量隔著支承板32將彈簧31按下。此時，作為位移機構的彈簧31和支承板32作為檢測容器內的處理液的剩余量的液量檢測機構發(fā)揮作用。而且，在彈簧31和支承板32被壓下的狀態(tài)下，通過凸輪部件42阻擋件34成為被推到上方的狀態(tài)。如上述方式，在阻擋件34被推到上方時，該阻擋件34成為障礙物，例如上方的擱板12或頂板14與該阻擋件34的上端之間的間隙變小，無法使容器10從載置臺13移動。換言之，阻擋件34成為配置在阻礙為了更換載置臺13上的容器10而使該容器10從載置臺13移動的位置的狀態(tài)。

然后，在容器10內的藥液減少時，伴隨容器10的重量的減少，支承板32被彈簧31逐漸推起。由此，例如如圖4所示，凸輪部件42經由連結棒40進行移動，阻擋件34下降。然后，在規(guī)定的條件成立時，具體來說在容器10內的處理液大致變空時，作為障礙物的阻擋件34下降至下限位置。換言之，阻擋件34從阻礙用于更換容器10的移動的位置退避。其結果是，成為確保阻擋件34的上端與擱板12或頂板14之間的間隙為使容器10從載置臺13移動的程度的狀態(tài)，能夠更換該容器10。另外，通過阻擋件34下降，該阻擋件34的上下方向的位置就成為不同于沒有變空的其它容器10的狀態(tài)，因此，就成為通過確認該阻擋件34的位置，作業(yè)員能夠通過目測容易確定變空的容器10的狀態(tài)。

然后，作業(yè)員確認阻擋件34的位置確定變空的容器10時，進行該容器10的更換。在更換容器10后，因新的容器10的自重，彈簧31和支承板32下降，伴隨于此，通過凸輪機構33再次將阻擋件34推升至上限的位置。由此，載置臺13的容器10再次成為無法由阻擋件34取下的狀態(tài)。

通過以上實施方式，阻擋件34根據(jù)容器10內的液量而相對于容器相對地上下移動，在液量低于規(guī)定的值的情況下、例如變空的情況下，從阻礙用于更換載置臺13上的容器10而使其移動的位置退避，因此，能夠防止在容器10的更換作業(yè)時錯誤更換不同于更換對象的容器10、即阻擋件34沒有從阻礙容器10移動的位置退避的載置臺13所對應的容器10。

另外，在通常的容器10的更換作業(yè)中，例如確認附在容器10上的標簽等而確定變空的容器10，但是，標簽那樣的識別物不限于總是朝向作業(yè)者側。因此，確定空的容器10需要時間。對此，在本發(fā)明中，通過目測確認阻擋件34的位置，能夠容易確定成為更換對象的容器10。并且，阻擋件34根據(jù)容器10內的液量進行動作，因此，例如作業(yè)員在現(xiàn)場確認阻擋件的高度方向的位置，能夠知道容器10內的大致的液量。因此，有助于把握容器10的大概的更換時期。因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠防止更換失誤，且有效地進行容器10的更換作業(yè)。

并且，能夠利用凸輪機構33、彈簧31等不需要電驅動裝置的機構使阻擋件上下移動，因此，例如在使用容器收納裝置1的基板處理系統(tǒng)(未圖示)的控制裝置等中不需要特別的控制。因此，沒有控制裝置的負載增加或產生配線作業(yè)的問題，能夠以低成本實現(xiàn)容器收納裝置1。

但是，并不否定容器收納裝置1使用例如電動致動器等的電動的驅動設備，可以使用例如電式、空氣動作式的驅動機構等，該驅動機構利用電測定彈簧31的位移量的測定機構、測定容器10的重量的壓電元件，檢測容器10內的液量，基于該檢測信號，使阻擋件34移動。

另外，在電測定容器10內的液量的情況下，例如可以在容器10內的供給管20設置流量計、液面計，例如在流量計的檢測值為零，液面計的檢測值達到零水平之后，判定為容器10的更換時期，使阻擋件34移動。

此外，在以上的實施方式中，使阻擋件34上下移動，但是，阻擋件34的移動的方向不限于本實施方式的內容，在不需要更換容器10的狀態(tài)下，只要以阻礙該容器10從載置臺13移動的方式進行移動時，其移動的方向能夠任意設定。并且，使阻擋件34等移動部件移動的機構也不限于凸輪機構33，能夠使用公知的各種機構。

作為另一實施方式，例如如圖5所示，作為使阻擋件34移動的機構，可以替代凸輪機構33而使用空壓氣缸50等。在使用空壓氣缸50的情況下，例如在支承板32的下方設置內部填充有氣體的在上下方向上自由伸縮的空氣氣囊51，該空氣氣囊51和空壓氣缸50通過供氣管52連接。而且，伴隨支承板32的上下，空氣氣囊51內的氣體的體積發(fā)生變化，其體積變化經由供氣管52傳遞至空壓氣缸，由此，通過空壓氣缸50經由支承棒43進行阻擋件34的上下移動。

此外，在使用空壓氣缸50的情況下，并不一定要設置空氣氣囊51。例如可以以由支承板32和引導件35包圍的空間A能夠氣密地維持的方式構成支承板32和引導件35，與由該支承板32和引導件35包圍的空間A連通地設置供氣管52。在該情況下，空間A也作為空氣氣囊發(fā)揮作用，并且，從供氣管52向空壓氣缸50傳遞空間A的體積變化，所以能夠利用空壓氣缸使阻擋件34上下移動。此外，其它的構成與圖2的情況相同，因此，省略說明。

另外，作為另一實施方式，例如如圖6所示，作為將支承板32的動作傳遞至阻擋件34的位移傳遞部件，可以使用齒條和齒輪60。在該情況下，例如將一個齒條61與支承板32連接，例如隔著設置在引導件35的外側的齒輪62再設置另一個齒條63。此外，齒輪62的高度方向的位置被固定地設置。另外，在圖6中，例如另一個齒條63直接固定于阻擋件34。

而且，例如如圖7所示，在更換容器10后，齒條61與支承板32一起向下方移動，由此，隔著齒輪62設置的另一個齒條63上升，阻擋件34上升至阻礙容器10的更換的位置為止。此外，其它的構成與圖2的情況相同，因此，省略說明。

此外，作為用于阻礙容器10的移動的部件不限于阻擋件34，能夠使用各種部件。例如如圖8所示，可以在引導件35與載置板30之間的空間作為替代阻擋件34的移動部件設置空氣氣囊70。在該情況下，氣密地構成由支承板32和引導件35包圍的空間A，與空間A和空氣氣囊70連通地設置供氣管52。此外，其它的構成與圖2的情況相同。

而且，如圖8所示，在容器10內充滿處理液的狀態(tài)下，空間A被壓縮而空間A內的氣體向空氣氣囊70移動，空氣氣囊70向上方擴展。由此，空氣氣囊70發(fā)揮作用以阻礙用于更換的容器10的移動。另外，在容器10內的處理液減少時，利用彈簧31將支承板32向上方推升，空間A的容積增加。由此，氣體經由供氣管52從空氣氣囊70流入空間A側，如圖9所示，空氣氣囊70收縮而成為能夠進行容器10的更換的狀態(tài)。此外，在替代阻擋件34而使用空氣氣囊的情況下，也并不一定否定電動的驅動設備、電測量設備的使用。例如與使阻擋件34電移動的情況相同，例如可以電測定容器10內的處理液的剩余量，根據(jù)該剩余量利用例如空氣壓縮機等向空氣氣囊70內供給氣體使空氣氣囊70擴展，使用電磁閥等將氣體排氣而使空氣氣囊70收縮。

在以上的實施方式中，作為以阻礙容器10的更換的方式進行移動的移動部件使用阻擋件34，但是，作為移動部件所使用的部件不限于阻擋件。例如如圖10、圖11所示，可以設置以在比容器10的帽21低的位置夾著該帽21的方式保持容器10的、形成為大致U字狀的保持部件80，使該保持部件80與支承板32的上下移動連動地進行動作。

在該情況下，保持部件80設置在載置臺13的更換容器10時作業(yè)員接觸一側(圖10、圖11的左方向)的相反側。而且，設置伴隨與支承板32的下表面連接的連結棒40的上下移動，使保持部件80在圖11的θ方向上可動的可動機構81，保持部件80的保持容器10側相反一側的端部由可動機構81支承。由此，例如如圖11所示，在剛更換之后的容器10載置在載置臺13時，保持部件80以從上方抑制容器10的方式進行移動，以阻礙容器10的移動的方式發(fā)揮作用。

而且，在容器10內的處理液減少時，保持部件80以可動機構81為支點從水平方向逐漸向鉛垂方向立起地進行動作，在容器10變空時，例如如圖12所示，移動至從容器10的上方退避的位置。由此，容器10的移動不被保持部件80阻礙，能夠實施容器10的更換作業(yè)。

此外，在以上的實施方式中，根據(jù)容器10內的處理液的液量經由凸輪機構33、可動機構81使阻擋件34、保持部件80移動，但是，也可以構成為例如容易取下凸輪機構33、可動機構81等的位移傳遞部件等，在非常規(guī)時取下，使得能夠取下沒有變空的容器10。

另外，與利用電驅動裝置使阻擋件34移動的情況同樣，例如可以使用電測定容器10內的處理液的剩余量，根據(jù)該剩余量使保持部件80移動的、圖13所示的電驅動機構90來替換可動機構81。作為驅動機構90例如能夠使用電動致動器、氣缸等。在該情況下，在更換容器10時利用驅動機構90使保持部件80以在鉛垂方向上立起的方式轉動，除此以外的情況、即不進行容器10的更換的情況下，通過保持部件80以朝向水平方向的方式轉動，能夠防止更換錯誤的容器10。此外，在使用電驅動的驅動機構90的情況下，如圖13所示，不需要凸輪機構33、彈簧31等的機構，另外，支承板32也不需要進行升降。在該情況下，可以將容器10直接載置在載置板30上。

此外，在電測定容器10內的液量的情況下，例如如圖13所示，在供給管20的大致頂端的、接近容器10的底面的位置設置液面計91，檢測容器10底面附近中的處理液的有無，或者例如如圖13所示，在從容器10對需要目標供給處理液的外部供給管100設置作為流量檢測機構的流量計101，通過檢測在外部供給管100內流動的處理液的有無，可以檢測容器10內的處理液的有無。在使用液面計91的情況下，例如液面計91的檢測值成為零水平之后能夠判斷為容器10的更換時期。另外，在使用流量計101的情況下，也在該流量計101的檢測值成為零之后能夠判定為容器10的更換時期。此外，液面計91的檢測值、流量計101的檢測值被輸入控制裝置102，在控制裝置102中，基于上述的檢測值進行驅動機構90的動作的控制。

此外，在圖13中圖示了利用驅動機構90使保持部件80在鉛垂方向和水平方向之間轉動的情況，但是，使保持部件80如何移動不限于本實施方式的內容，例如能夠如圖14所示，設置使保持為水平的狀態(tài)的保持部件80在水平方向上往復移動的驅動機構110，通過使保持部件80移動例如至圖14的左方，阻礙用于容器10的更換的移動，通過移動至圖14的右方，能夠設為可更換容器10的狀態(tài)。另外，例如如圖15所示，設置使保持為水平的狀態(tài)的保持部件80在鉛垂方向上往復移動的驅動機構120，通過使保持部件80例如向圖15的下方移動，阻礙用于容器10的更換的移動，通過使其向圖15的上方移動，能夠設為可更換容器10的狀態(tài)。此外，在圖14、圖15中省略了控制裝置102、液面計91、流量計101的繪制，但是，上述的設備在以下所示的其它的實施方式中也可以根據(jù)需要適當設置。

另外，保持部件80的形狀不限于本實施方式的內容，只要為在容器10的更換時以阻礙該容器10的移動的方式發(fā)揮作用的形狀，則能夠任意設定。例如可以如圖16所示，將在俯視時半圓形狀的保持部件130a、130b在比容器10的帽21低的位置以夾著該帽21附近的方式配置，使各保持部件130a、130b分別通過驅動機構131在水平方向(圖16的上下方向)上移動。

另外，保持部件80不需要保持容器10其自身，例如可以如圖17所示，將大致平板狀的保持部件140配置在俯視時覆蓋容器10的帽21的位置且帽21上方的附近的位置，來限制容器10的上下方向的移動，來阻礙用于容器10的更換的移動。在該情況下，作為保持部件140的動作，例如可以使用圖14所示的驅動機構110使其在圖17的左右方向上移動，例如也可以使用圖15所示的驅動機構120使其在鉛垂方向上移動，還可以使用圖16所示的驅動機構131使其在圖17的上下方向上移動。

此外，在圖17中繪制了將大致平板狀的保持部件140設置在帽21的上方附近的樣子，但也可以替代保持部件140，例如利用圖18所示的、底面開口的蓋體141包圍帽21來限制容器10的上下方向的移動，根據(jù)需要通過驅動機構120使帽21向上方退避，保持部件、蓋體的形狀不限于本實施的內容，能夠任意設定。另外，從使容器10和保持部件80、140、蓋體141相對移動的觀點出發(fā)，并不一定需要使保持部件80、140、蓋體141移動，例如可以將圖15所示的驅動機構120與支承板32連接，使容器10其自身相對于保持部件80、140、蓋體141移動。

在使容器10其自身移動的情況下，例如如圖19所示，將彈簧31配置在偏離容器10的中心的位置，并且，例如利用鉸鏈142將支承板32的被彈簧31支承側相反一側的端部自由轉動地固定于引導件35，在容器10的帽21的上方設置保持部件140。此外，圖19的鉸鏈142側是接觸面。在該情況下，容器10內的處理液減少時，支承板32的與鉸鏈142相反一側的端部被彈簧31逐漸推起，例如如圖20所示，容器10向接觸面的方向傾斜。這樣一來，例如帽21移動至在俯視時不與保持部件140干涉的位置為止，能夠將容器10從載置臺13在斜方向上抽出?？梢岳斫庠谠撉闆r下，彈簧31、支承板32、鉸鏈142等使容器10移動為傾斜的機構，也在以阻礙容器10的更換的方式移動的本發(fā)明的移動部件的范圍內。

另外，作為使用阻擋件的情況的另一實施方式，可以替代已述的半圓筒形狀的阻擋件34，例如將圖21、圖22所示的具有規(guī)定的高度的平板狀的阻擋件150a、150b設置在作業(yè)員接觸的面(圖21的左方向、圖22的左方向)，并且，在該阻擋件150a、150b的端部設置鉸鏈等的旋轉軸151，能夠以打開門的方式進行開閉。在該情況下，例如在不需要更換容器10的情況下，利用電磁制動器(未圖示)將旋轉軸151固定而使其不能開合阻擋件150a、150b，在由液面計91、流量計101檢測到需要更換的情況下，解除電磁制動器，作業(yè)員打開阻擋件150a、150b能夠接觸容器10。

另外，在以上的實施方式中，將阻擋件34、阻擋件150a、150b等的阻礙容器10的移動的部件配置在例如載置板30的內側，但是，它們的配置也不限于本實施方式的內容。例如如圖23所示，也可以在從作業(yè)員接觸側的面觀察的容器10的跟前設置阻礙該容器10的移動的具有大致U形狀的棒狀的棒狀部件152和使該棒狀部件152以例如如圖24所示向作業(yè)員接觸側的面轉動的驅動機構153。此外，圖24繪制了從圖23的右側面觀察容器10的狀態(tài)，圖24的左方向是作業(yè)員的接觸面。另外，在使棒狀部件152轉動的情況下，例如可以如圖25所示，從圖6所示的載置臺13取下其它的齒條63和阻擋件34，將高度方向的位置被固定的齒輪62與棒狀部件152連接，利用齒輪62的旋轉使棒狀部件152轉動。

另外，從防止錯誤更換不需要更換的容器10的觀點出發(fā)，并不一定需要阻礙容器10其自身的移動。通常在帽21例如如圖26所示設置有旋轉防止用的支架160。因此，例如如圖26所示，設置用于固定支架160的固定部件161和使固定部件161移動的驅動機構162，在不需要更換容器10的情況下，使固定部件161移動至固定支架160的位置，在需要更換的情況下，以解除支架160的固定的方式使固定部件161移動。如上所述可以理解，阻礙將帽21從容器10取下的固定部件161、驅動機構162，也在以阻礙容器10的更換的方式進行移動的本發(fā)明的移動部件的范圍內。

此外，在以上的實施方式中，通過使空氣氣囊70伸縮作為阻擋件34的替代來使用，但是也可以例如如圖27所示，在沿載置板30的內周面配置例如環(huán)狀的空氣氣囊170，利用液面計91、流量計101檢測到需要更換容器10的情況下，經由供氣管52對空氣氣囊170從未圖示的氣體供給源供給氣體。通過供給氣體，容器10被空氣氣囊170夾持，能夠阻礙用于更換的容器10的移動。

另外，在利用電機構的情況下，除了使保持部件80電移動或電檢測容器10內的處理液的剩余量之外，可以考慮例如還設置用于識別成為更換對象的容器10的顯示燈180。在該情況下，例如如圖28所示，在各載置臺13的附近設置顯示燈180，使能夠移動到容器更換位置的容器10所對應的顯示燈180點亮。另外，使用容器收納裝置1的基板處理系統(tǒng)(未圖示)通常在潔凈室內設置多個，因此，容器收納裝置1也設置多個。因此，有時難以一眼判斷哪個容器收納裝置1的容器10是更換對象。在該情況下，例如如圖28所示，在容器收納裝置1的頂板14等容易目測確認的任意部位設置顯示燈181，能夠一眼判斷哪個容器收納裝置1是否有成為更換對象的容器10。此外，顯示燈180、181的點亮、熄滅例如由控制裝置102控制。

此外，在以上的實施方式中，作為使容器10成為能夠更換的狀態(tài)的規(guī)定的條件，以容器10內的處理液的液量低于規(guī)定量而需要更換該容器10的情況為例進行了說明，但是，使容器10成為需要更換的狀態(tài)的規(guī)定的條件不限于本實施方式的內容。例如像改變在基板處理系統(tǒng)(未圖示)中使用的處理液的種類的情況那樣，有時與容器10內的處理液的剩余量無關地需要更換容器10。在該情況下，例如如圖13所示，在控制裝置102設置開關102a，與液面計91的檢測值、流量計101的檢測值無關地，能夠從該開關102a直接操作驅動機構90。同樣，顯示燈180、181的點亮、熄滅也可以設為能夠由開關102a控制。

以上，一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式進行了說明，但是本發(fā)明不限于該例。可以理解對于本領域技術人員而言，在權利要求書所記載的思想的范圍內，能夠想到各種變形例或修正例，它們當然也屬于本發(fā)明的技術的范圍。本發(fā)明不限于該例，能夠采用各種方式。在以上的實施方式中，以容器收納裝置1收納存積半導體晶片制造用的處理液的容器的情況為例進行了說明，但是，作為處理液不限于半導體晶片制造用的處理液，例如在收納將半導體晶片彼此貼合的粘接處理所使用的粘接劑的容器等的情況下當然也能夠適用。

工業(yè)上的可利用性

本發(fā)明在收納處理液存積用的容器時有用。

附圖標記說明

1 容器收納裝置

10 容器

11 收納架

12 架

13 載置臺

14 頂板

20 供給管

21 帽

30 載置板

31 彈簧

32 支承板

33 凸輪機構

34 阻擋件

35 引導件

40 連結棒

41 軸承

42 凸輪部件

50 空壓氣缸

60 齒條和齒輪

70 空氣氣囊

80 保持部件