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容器收納裝置的制作方法

文檔序號:12071436閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種容器收納裝置,其收納多個存積有半導(dǎo)體制造用的處理液的容器,所述容器收納裝置的特征在于,包括:

載置所述容器的多個載置臺;和

移動部件,其配置在阻礙為了更換所述載置臺上的所述容器而使該容器從所述載置臺移動的位置,且規(guī)定的條件成立時相對于所述載置臺上的容器的相對位置發(fā)生變化,從阻礙用于更換所述容器的移動的位置退避。

2.如權(quán)利要求1所述的容器收納裝置,其特征在于:

所述規(guī)定的條件在所述容器內(nèi)的處理液的液量低于規(guī)定的值時成立。

3.如權(quán)利要求2所述的容器收納裝置,其特征在于:

還具有檢測所述容器內(nèi)的處理液的液量的液量檢測機構(gòu),

根據(jù)由所述液量檢測機構(gòu)檢測的液量,所述移動部件相對于所述載置臺上的容器的相對位置發(fā)生變化。

4.如權(quán)利要求3所述的容器收納裝置,其特征在于:

所述液量檢測機構(gòu)是根據(jù)載置于所述載置臺的容器的重量而使高度方向的位置發(fā)生位移的位移機構(gòu),

所述位移機構(gòu)連接有位移傳遞部件,所述位移傳遞部件將該位移機構(gòu)的位置變化傳遞至所述移動部件而使該移動部件移動。

5.如權(quán)利要求3所述的容器收納裝置,其特征在于:

所述液量檢測機構(gòu)包括根據(jù)載置于所述載置臺的容器的重量而使內(nèi)部的氣體體積發(fā)生變化的空氣氣囊,

所述空氣氣囊與氣缸機構(gòu)連接,所述氣缸機構(gòu)根據(jù)該空氣氣囊內(nèi)部的氣體體積使所述移動部件移動。

6.如權(quán)利要求1所述的容器收納裝置,其特征在于:

所述移動部件是在所述容器的側(cè)方在上下方向上移動的阻擋件。

7.如權(quán)利要求3所述的容器收納裝置,其特征在于:

所述移動部件在所述容器內(nèi)的處理液的液量為規(guī)定的值以上時,以阻礙所述容器的上下方向的移動的方式位于所述容器的上方,在所述容器內(nèi)的處理液的液量低于規(guī)定的值時,移動到從所述容器的上方退避的位置。

8.一種容器收納裝置,其收納多個存積有半導(dǎo)體制造用的處理液的容器,所述容器收納裝置的特征在于,包括:

載置所述容器的多個載置臺;

移動部件,其配置在阻礙為了更換所述載置臺上的所述容器而使該容器從所述載置臺移動的位置;

驅(qū)動機構(gòu),其使所述移動部件移動;

流量檢測機構(gòu),其檢測從所述容器向外部供給的處理液的流量;和

控制部,其在所述流量檢測機構(gòu)的檢測流量低于規(guī)定的值時,以使所述移動部件從阻礙用于更換所述容器的移動的位置退避的方式控制所述驅(qū)動機構(gòu)。

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